特許ウォッチ

公開番号2024154708
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2023068683
出願日2023-04-19
発明の名称ワークのクリーニング装置と、クリーニング方法
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類G11B 5/60 20060101AFI20241024BHJP(情報記憶)
要約【課題】ワークを気体中で効果的に洗浄することができるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】クリーニング装置1は、ワークとしてのディスク装置用のサスペンション10を支持する支持部材70と、サスペンション10のアクチュエータ搭載部に設けられた圧電素子と、加振信号発生器80と、吹付け吸引ユニット72とを備えている。加振信号発生器80は、前記圧電素子に加振信号を印加する。加振信号によって前記圧電素子を振動させた状態のもとで、吹付け吸引ユニット72によってサスペンション10に空気等の気体を吹き付けるとともに、サスペンション10の周囲の気体を吸入する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを洗浄するクリーニング装置であって、
前記ワークに搭載された圧電素子と、
前記ワークに設けられ前記圧電素子と導通する配線部と、
前記ワークを支持する支持部材と、
前記圧電素子に前記配線部を介して加振信号を出力する加振信号発生器と、
前記加振信号発生器と前記配線部とを電気的に接続する給電接続部と、
前記圧電素子が前記加振信号によって振動している状態において前記ワークに気体を吹き付ける気体噴射機構と、
を具備したことを特徴とするワークのクリーニング装置。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
請求項１に記載のクリーニング装置において、
前記加振信号が前記圧電素子に超音波振動を生じさせる振動周波数であるクリーニング装置。
【請求項３】
請求項１に記載のクリーニング装置において、
前記気体噴射機構が前記気体をイオン化する静電気除去装置を備えたクリーニング装置。
【請求項４】
請求項１に記載のクリーニング装置において、
前記ワークの周囲の気体を吸い込む吸引機構を有したクリーニング装置。
【請求項５】
請求項１に記載のクリーニング装置において、
前記ワークがディスク装置用のサスペンションであり、
前記サスペンションのアクチュエータ搭載部に前記圧電素子が配置されたクリーニング装置。
【請求項６】
ワークを気体中で洗浄するクリーニング方法であって、
前記ワークに圧電素子を取付け、
前記圧電素子が取付けられた前記ワークを支持し、
前記圧電素子に加振信号を印加することにより前記圧電素子を振動させるとともに前記ワークを振動させ、
前記ワークが振動している状態において前記ワークに気体を吹き付けることを特徴とするワークのクリーニング方法。
【請求項７】
請求項６に記載のクリーニング方法において、イオン化された気体を前記ワークに吹き付けるクリーニング方法。
【請求項８】
請求項６に記載のクリーニング方法において、
前記ワークがディスク装置用のサスペンションであり、
前記サスペンションのアクチュエータ搭載部に前記圧電素子を固定し、
前記アクチュエータ搭載部に固定された前記圧電素子に超音波振動のための前記加振信号を印加し、
前記圧電素子に超音波振動を生じさせるとともに前記ワークを振動させるクリーニング方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、清浄であることが求められるディスク装置用のサスペンション等のワークを洗浄するクリーニング装置と、クリーニング方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置にディスク装置が使用されている。ディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームに、ディスク装置用のサスペンション（これ以降、単にサスペンションと称すことがある）が設けられている。
【０００３】
前記サスペンションは、ベースプレートと、ロードビーム(load beam)と、フレキシャ(flexure)などを備えている。前記フレキシャの先端付近に形成されたジンバ部に、スライダが設けられている。スライダには、ディスクに記録されたデータの読取りや書込み等のアクセスを行なうための素子が設けられている。圧電素子からなるアクチュエータ素子を搭載したサスペンションも知られている。
【０００４】
万一、前記サスペンションにパーティクル等の汚染物質が付着していると、ディスク装置に重大な不具合が生じる原因となる。例えばサスペンションの表面に付着したパーティクルが剥がれ落ち、ディスクとスライダとの間に入り込むと、ディスク装置が故障する原因となる。このためディスク装置の製造プロセスにおいて前記サスペンションを十分に洗浄（cleaning）し、サスペンションを清浄な状態に保つ必要がある。洗浄に使用される流体は一般に液体であるが、気体が使用されることもある。
【０００５】
特許文献１に記載された洗浄装置は、液体を用いてディスク装置の洗浄を行なうようにしている。特許文献２に記載された洗浄装置は、液中に配置された超音波振動子を有している。この超音波振動子によって液体を振動させ、被洗浄物を振動させると説明されている。特許文献３に記載された洗浄装置は、流体（気体または液体）を被洗浄物に吹き付けることにより被洗浄物を洗浄する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００９－１５８００４号公報
特開２００６－１１６４０３号公報
特許第５０１０８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１や特許文献２のように液体を用いて洗浄を行なう洗浄装置は、液体を収容する洗浄槽が必要である。しかも被洗浄物に付着した液体を乾燥させる工程が必要である。このため洗浄のための設備が大掛かりとなり、しかも乾燥に時間がかかるという問題がある。特許文献２に記載された洗浄装置は、洗浄のための専用の超音波振動子を洗浄槽の内部に配置する必要がある。また被洗浄物の特に洗浄した部位に超音波振動を有効に作用させることができるとは限らない。
【０００８】
特許文献３のように流体を被洗浄物に吹き付ける洗浄装置では、流体の吹付けにより被洗浄物が変形する可能性がある。このため被洗浄物が微小で薄く、形状が複雑な場合、被洗浄物に付着したパーティクルを効果的に洗浄することが難しいことがある。特に圧電素子が搭載されたディスク装置用のサスペンションでは、圧電素子の搭載部などにパーティクルが付着している可能性があり、高い清浄度が要求されている。
【０００９】
本発明の目的は、ディスク装置用のサスペンションのように高い清浄度が要求されるワークを空気等の気体中で効果的に洗浄することが可能なクリーニング装置と、クリーニング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
１つの実施形態は、ワークを洗浄するクリーニング装置であって、前記ワークに搭載された圧電素子と、前記ワークに設けられ前記圧電素子と導通する配線部とを有している。さらにこのクリーニング装置は、前記ワークを支持する支持部材と、加振信号発生器と、給電接続部と、気体噴射機構とを具備している。前記加振信号発生器は、前記圧電素子に前記配線部を介して加振信号を出力する。前記給電接続部は、前記加振信号発生器と前記配線部とを電気的に接続する。前記気体噴射機構は、前記圧電素子が前記加振信号によって振動している状態において前記ワークに空気等の気体を吹き付ける。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許