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公開番号2024092046
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-05
出願番号2024075408,2022025602
出願日2024-05-07,2020-06-30
発明の名称露光装置、および物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240628BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】光学系における光学要素の曇りを低減するために有利な露光装置を提供する。
【解決手段】基板を露光する露光装置は、前記基板を露光するための光を照射する光学系と、吹出口から吹出方向に第1気体を吹き出す吹出部と、前記吹出口に対して、前記吹出方向にある第1端部と前記吹出方向の反対方向にある第2端部とを含む第1部材を有する案内部材と、を備え、前記案内部材は、前記第1気体と前記第2端部側から取り込まれる第2気体とを含む気体を、前記光学系からの前記光が通過する光路空間に案内する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を露光する露光装置であって、
前記基板を露光するための光を照射する光学系と、
吹出口から吹出方向に第１気体を吹き出す吹出部と、
前記吹出口に対して、前記吹出方向にある第１端部と前記吹出方向の反対方向にある第２端部とを含む第１部材を有する案内部材と、
を備え、
前記案内部材は、前記第１気体と前記第２端部側から取り込まれる第２気体とを含む気体を、前記光学系からの前記光が通過する光路空間に案内する、ことを特徴とする露光装置。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
前記第２端部は、前記第１端部よりも前記光路空間から離れた位置に配置されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記第１部材は、前記吹出口よりも前記光学系からの前記光が照射される方向側に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記吹出口から吹き出される前記第１気体の流速は、前記第２端部側から取り込まれる前記第２気体の流速より大きいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第２端部側から取り込まれる前記第２気体を供給する第１供給部と、
前記吹出口から吹き出される前記第１気体を供給する第２供給部と、
を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記第２供給部は、前記吹出口から吹き出される前記第１気体の温度を調整する温度調整部を含む、ことを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記第２供給部は、前記吹出口から吹き出される前記第１気体の湿度を調整する湿度調整部を含む、ことを特徴とする請求項５又は６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記第１供給部は、第１気体供給源からの気体を前記光学系が配置されるチャンバ内に供給し、
前記第２供給部は、前記第１気体供給源とは異なる第２気体供給源からの気体を前記光路空間に供給する、ことを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記第１端部は前記吹出口より前記光路空間に近く、前記第２端部は前記吹出口より前記光路空間から遠い、ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記第１端部は、前記光学系の前記光が照射される方向側に配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の露光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、および物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶パネルや半導体デバイスなどの製造工程（リソグラフィ工程）で用いられる装置の１つとして、投影光学系により原版のパターン像を基板上に投影して当該基板を露光する露光装置がある。露光装置では、基板上に塗布されたレジスト（感光材）を露光することにより、当該レジストからガス（アウトガス）が発生することが知られている。このアウトガスは、周囲の雰囲気中や光学要素の表膜における酸や塩基、有機物などの不純物と反応することにより、基板の周辺に配置された光学要素を曇らせてしまう。特に、投影光学系の最下端に位置する光学要素は、基板に対面して配置されるため、レジストからのアウトガスによる曇りが発生しやすい。そして、光学要素に曇りが生じると、当該光学要素の光透過率が低下し、露光量不足、照度ムラ、又はフレアが生じうる。特許文献１には、投影光学系の側部に設けられたノズルから下方に吹き出された気体を、コアンダ効果により案内要素の湾曲した表面に沿って案内し、投影光学系と基板との間に供給する構成が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００５－３３３１５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された構成では、案内部材によるコアンダ効果で気体の流れ方向を変更しており、周囲気体を巻き込むという性質を有するため、当該気体は、レジストから発生するアウトガスを巻き込みながら投影光学系の光学要素と基板との間に流れうる。したがって、投影光学系の光学要素へのアウトガスの到達（即ち、光学要素の曇り）を回避することが不十分になりうる。
【０００５】
そこで、本発明は、光学系における光学要素の曇りを低減するために有利な露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光装置は、基板を露光する露光装置であって、前記基板を露光するための光を照射する光学系と、吹出口から吹出方向に第１気体を吹き出す吹出部と、前記吹出口に対して、前記吹出方向にある第１端部と前記吹出方向の反対方向にある第２端部とを含む第１部材を有する案内部材と、を備え、前記案内部材は、前記第１気体と前記第２端部側から取り込まれる第２気体とを含む気体を、前記光学系からの前記光が通過する光路空間に案内する、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、光学系における光学要素の曇りを低減するために有利な露光装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
露光装置の全体構成を示す図
第１実施形態の第２供給部の構成例を示す図
第１実施形態の第２供給部を投影光学系に取り付けたときの構成例を示す図
案内部材の内部における吹出口の配置例および形状例を示す図
第１実施形態の第２供給部の変形例を示す図
第１実施形態の第２供給部の変形例を示す図
第１実施形態の第２供給部の変形例を示す図
第２実施形態の第２供給部の構成例を示す図
第３実施形態の第２供給部の構成例を示す図
第４実施形態の第２供給部の構成例を示す図
第５実施形態の第２供給部の構成例を示す図
第６実施形態の第２供給部の構成例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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