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公開番号2024078930
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-11
出願番号2022191555
出願日2022-11-30
発明の名称加工装置及びキーパターンの登録方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240604BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加工すべき新しい被加工物の品種が増えるごとに適切なキーパターンを登録する煩わしさを低減することができる加工装置及びキーパターンの登録方法を提供すること。
【解決手段】加工装置1の制御ユニット70は、分割予定ライン検出条件が登録される分割予定ライン検出条件登録部71と、新たな被加工物100において分割予定ライン検出条件を登録する際、分割予定ライン検出条件登録部71に記憶された過去のキーパターンの画像を表示ユニット50に一覧で表示する画像表示部73と、新たな被加工物100の表面を撮像ユニット30で撮像し、画像表示部73が一覧で表示するキーパターンの画像から作業者が選択して入力したキーパターンを探すキーパターン探索部74と、キーパターン探索部74がキーパターンを見つけた場合にキーパターン候補として作業者に提案するキーパターン候補提案部75と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、
該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
該撮像ユニットで撮像した画像を表示する表示ユニットと、
情報を入力する入力インターフェースと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、
を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、
該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を撮像して記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される分割予定ライン検出条件登録部と、
新たな被加工物において該分割予定ライン検出条件を登録するために該保持テーブルに保持された該被加工物の該キーパターンを特定する際、該分割予定ライン検出条件登録部に記憶された過去の該キーパターンの画像を該表示ユニットに一覧で表示する画像表示部と、
該画像表示部が一覧で表示する該キーパターンの画像から作業者が少なくとも一つの該キーパターンの画像を該入力インターフェースによって選択して入力した際、該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して選択された該キーパターンを探すキーパターン探索部と、
該キーパターン探索部が該キーパターンを見つけた際は、該撮像ユニットで撮像した該キーパターンを該表示ユニットに表示してキーパターン候補として作業者に提案し、該キーパターン探索部が該キーパターンを見つけられなかった際は、該画像表示部によって一覧で表示する過去の該キーパターンの画像のうち選択された該キーパターンの画像に該キーパターン候補として不適切であることを識別する識別マークを表示するキーパターン候補提案部と、
を有することを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
該制御ユニットは、該分割予定ライン検出条件と紐付けて該被加工物のチップサイズを記憶するチップサイズ記憶部と、をさらに有し、
該画像表示部は、該保持テーブルに保持された新たな被加工物の該チップサイズと、該チップサイズ記憶部に記憶された過去の該被加工物の該チップサイズと、が同一または近似する順番に、該分割予定ライン検出条件登録部に記憶された過去の該キーパターンの画像を該表示ユニットに一覧で表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、
該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
該撮像ユニットで撮像した画像を表示する表示ユニットと、
情報を入力する入力インターフェースと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、
を備える加工装置を用いて、該被加工物のキーパターンを登録するキーパターンの登録方法であって、
該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を撮像して記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される分割予定ライン検出条件登録ステップと、
新たな被加工物において該分割予定ライン検出条件を登録するために該保持テーブルで該被加工物を保持する保持ステップと、
該保持ステップで保持された該被加工物の該キーパターンを特定する際、該分割予定ライン検出条件登録ステップで記憶された過去の該キーパターンの画像を該表示ユニットに一覧で表示する画像表示ステップと、
該画像表示ステップにおいて一覧で表示する該キーパターンの画像から作業者が少なくとも一つの該キーパターンの画像を該入力インターフェースによって選択して入力した際、該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して選択された該キーパターンを探すキーパターン探索ステップと、
該キーパターン探索ステップにおいて該キーパターンを見つけた際は、該撮像ユニットで撮像した該キーパターンを該表示ユニットに表示してキーパターン候補として作業者に提案し、該キーパターン探索ステップにおいて該キーパターンを見つけられなかった際は、該画像表示ステップによって一覧で表示する過去の該キーパターンの画像のうち選択された該キーパターンの画像にキーパターン候補として不適切であることを識別する識別マークを表示するキーパターン候補提案ステップと、
を備えることを特徴とするキーパターンの登録方法。
【請求項４】
該分割予定ライン検出条件と紐付けて該被加工物のチップサイズを記憶するチップサイズ記憶ステップをさらに備え、
該画像表示ステップは、該保持ステップで保持された該被加工物の該チップサイズと、該チップサイズ記憶ステップにおいて記憶された過去の該被加工物の該チップサイズと、が同一または近似する順番に、該分割予定ライン検出条件登録ステップで記憶された過去の該キーパターンの画像を該表示ユニットに一覧で表示することを特徴とする請求項３に記載のキーパターンの登録方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の分割予定ライン（ストリート）を検出するために被加工物の表面に形成されたキーパターンを記憶して登録する加工装置及びキーパターンの登録方法に関する。
続きを表示（約 3,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウェーハ（被加工物）の表面に格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等の同一回路が形成されている半導体ウェーハを分割予定ラインに沿って切断することによって回路毎に分割して個々の半導体チップを製造している。この分割は、切削ブレードを備えた切削装置やレーザー照射装置等のダイシング装置（加工装置）によって行われている。
【０００３】
このようなダイシング装置による分割は、その分割に先立ち、半導体ウェーハの表面を複数個の画素からなる撮像素子を備えた撮像ユニットによって撮像し、パターンマッチング等の画像処理によりアライメントが行われ、分割すべき分割予定ラインが検出される。このパターンマッチングによるアライメントシステムは、半導体チップの特徴点をキーパターンとして設定し、このキーパターンと分割予定ラインとの位置関係を予め分割予定ライン検出条件として記憶手段に登録しておく。そして、分割すべき半導体ウェーハの表面を撮像ユニットによって撮像し走査しながら記憶手段に登録された分割予定ライン検出条件によりキーパターンと同一パターンを探し出し、探し出したキーパターンと同一のパターンに基づいて予め登録された分割予定ライン検出条件のキーパターンと分割予定ラインとの位置関係によって分割予定ラインを検出するシステムである（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特公平３－０２７０４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、半導体チップの特徴点をキーパターンとして設定する際、キーパターンはその周囲に類似のパターンを持たない個性的なキーパターンである必要がある。類似のパターンがキーパターンの周囲にある場合、パターンマッチング等の画像処理の際に類似のパターンを設定されたキーパターンとして誤認識することがある。誤認識した場合は、加工すべき分割予定ラインを誤った位置として認識してしまい、分割予定ラインではなく半導体チップの回路部を加工してしまい不良品を発生させてしまう。そのため、キーパターンは慎重に設定すべきであるが、作業者に加工すべき新しい半導体ウェーハの品種が増えるごとに、この周囲に類似のパターンを持たない個性的なキーパターンを設定させることは煩わしいという問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工すべき新しい被加工物の品種が増えるごとに適切なキーパターンを登録する煩わしさを低減することができる加工装置及びキーパターンの登録方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、該撮像ユニットで撮像した画像を表示する表示ユニットと、情報を入力する入力インターフェースと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、該制御ユニットは、該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を撮像して記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される分割予定ライン検出条件登録部と、新たな被加工物において該分割予定ライン検出条件を登録するために該保持テーブルに保持された該被加工物の該キーパターンを特定する際、該分割予定ライン検出条件登録部に記憶された過去の該キーパターンの画像を該表示ユニットに一覧で表示する画像表示部と、該画像表示部が一覧で表示する該キーパターンの画像から作業者が少なくとも一つの該キーパターンの画像を該入力インターフェースによって選択して入力した際、該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して選択された該キーパターンを探すキーパターン探索部と、該キーパターン探索部が該キーパターンを見つけた際は、該撮像ユニットで撮像した該キーパターンを該表示ユニットに表示してキーパターン候補として作業者に提案し、該キーパターン探索部が該キーパターンを見つけられなかった際は、該画像表示部によって一覧で表示する過去の該キーパターンの画像のうち選択された該キーパターンの画像に該キーパターン候補として不適切であることを識別する識別マークを表示するキーパターン候補提案部と、を有することを特徴とする。
【０００８】
該制御ユニットは、該分割予定ライン検出条件と紐付けて該被加工物のチップサイズを記憶するチップサイズ記憶部と、をさらに有し、該画像表示部は、該保持テーブルに保持された新たな被加工物の該チップサイズと、該チップサイズ記憶部に記憶された過去の該被加工物の該チップサイズと、が同一または近似する順番に、該分割予定ライン検出条件登録部に記憶された過去の該キーパターンの画像を該表示ユニットに一覧で表示してもよい。
【０００９】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のキーパターンの登録方法は、表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、該撮像ユニットで撮像した画像を表示する表示ユニットと、情報を入力する入力インターフェースと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置を用いて、該被加工物のキーパターンを登録するキーパターンの登録方法であって、該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域をキーパターンとして特定し該キーパターンの画像を撮像して記憶し、該キーパターンから該分割予定ラインまでの距離を記憶することで該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出条件が登録される分割予定ライン検出条件登録ステップと、新たな被加工物において該分割予定ライン検出条件を登録するために該保持テーブルで該被加工物を保持する保持ステップと、該保持ステップで保持された該被加工物の該キーパターンを特定する際、該分割予定ライン検出条件登録ステップで記憶された過去の該キーパターンの画像を該表示ユニットに一覧で表示する画像表示ステップと、該画像表示ステップにおいて一覧で表示する該キーパターンの画像から作業者が少なくとも一つの該キーパターンの画像を該入力インターフェースによって選択して入力した際、該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して選択された該キーパターンを探すキーパターン探索ステップと、該キーパターン探索ステップにおいて該キーパターンを見つけた際は、該撮像ユニットで撮像した該キーパターンを該表示ユニットに表示してキーパターン候補として作業者に提案し、該キーパターン探索ステップにおいて該キーパターンを見つけられなかった際は、該画像表示ステップによって一覧で表示する過去の該キーパターンの画像のうち選択された該キーパターンの画像にキーパターン候補として不適切であることを識別する識別マークを表示するキーパターン候補提案ステップと、を備えることを特徴とする。
【００１０】
該分割予定ライン検出条件と紐付けて該被加工物のチップサイズを記憶するチップサイズ記憶ステップをさらに備え、該画像表示ステップは、該保持ステップで保持された該被加工物の該チップサイズと、該チップサイズ記憶ステップにおいて記憶された過去の該被加工物の該チップサイズと、が同一または近似する順番に、該分割予定ライン検出条件登録ステップで記憶された過去の該キーパターンの画像を該表示ユニットに一覧で表示してもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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