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公開番号2024114536
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-23
出願番号2023020374
出願日2023-02-13
発明の名称シート剥離装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240816BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被着体にダメージを与えることなく且つ保護シートを被着体から安定して剥離させるシート剥離装置を提供する。
【解決手段】シート剥離装置1は、被着体Wに貼付された保護シートSに剥離テープTを介して剥離力を付与して、保護シートSを剥離するシート剥離装置1であって、被着体Wを保持して所定の移動方向D1に移動可能な搬送テーブル2と、剥離テープTにそれぞれ接触して剥離テープTを保護シートSに向けて押圧するスタンプヘッド43を備え、剥離テープTを保護シートSに接着させるヒートスタンプ42と、を備え、接触面CS1が、移動方向D1の前方側に凸のラウンド状に形成されているとともに幅方向D2に互いに離間して配置された複数の押圧スポットPS1を備えている。
【選択図】図4

特許請求の範囲【請求項１】
被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持して所定の移動方向に移動可能な搬送手段と、
前記剥離テープにそれぞれ接触して前記剥離テープを前記保護シートに向けて押圧するスタンプヘッドを備え、前記剥離テープを前記保護シートに接着させる接着手段と、
を備え、
前記スタンプヘッドの前記剥離テープに接触する接触面は、前記移動方向の前方側に凸のラウンド状に形成されているとともに前記保護シートの周方向に対応する幅方向に互いに離間して配置された複数の押圧スポットを備えていることを特徴とするシート剥離装置。
続きを表示（約 500 文字）【請求項２】
前記複数の押圧スポットは、前記移動方向において互いに離間して設けられるとともに、前記幅方向において互い違いに配置されていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記押圧スポットは、前記移動方向の前方側に凸の略半円状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記押圧スポットは、略円状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記接触面は、前記複数の押圧スポットより前記移動方向の後方に前記複数の押圧スポットに連続して設けられ、前記幅方向において前記複数の押圧スポットより広範に設けられた後方押圧スポットを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項６】
前記接触面は、前記複数の押圧スポットより前記移動方向の後方に離間して設けられ、前記幅方向において前記複数の押圧スポットより広範に設けられた後方押圧スポットを備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置に関するものである。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「被着体」という）の裏面を研削して薄くする工程があり、その工程では被着体の表面に粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて、被着体の表面に形成されたデバイスを保護している。
【０００３】
被着体に貼付された保護シートを剥離するシート剥離装置として、被着体に貼付された保護シートの端部に剥離テープを接着し、被着体を剥離テープに対して相対的に移動させることにより、剥離テープに剥離力を作用させて保護シートを被着体から剥離させる装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１１－１６８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の装置では、剥離テープが大面積で保護シートと接着している場合、剥離テープと保護シートとの間の粘着力が過度に大きくなることがあり、剥離テープが保護シートを上方に引っ張って被着体から剥離させると、被着体が保護シートに追従するように大きく跳ね上がることがあり、被着体に割れ等のダメージを与える虞がある。
【０００６】
一方、剥離テープが小面積で保護シートと接触している場合、剥離テープが保護シートに作用させる張力が剥離テープと保護シートとの粘着力に比べて大きく、剥離テープが保護シートから外れてしまう虞があった。
【０００７】
そこで、被着体にダメージを与えることなく且つ保護シートを被着体から安定して剥離させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るシート剥離装置は、被着体に貼付された保護シートに剥離テープを介して剥離力を付与して、前記保護シートを剥離するシート剥離装置であって、前記被着体を保持して所定の移動方向に移動可能な搬送手段と、前記剥離テープにそれぞれ接触して前記剥離テープを前記保護シートに向けて押圧するスタンプヘッドを備え、前記剥離テープを前記保護シートに接着させる接着手段と、を備え、前記スタンプヘッドの前記剥離テープに接触する接触面は、前記移動方向の前方側に凸のラウンド状に形成されているとともに前記保護シートの周方向に対応する幅方向に互いに離間して配置された複数の押圧スポットを備えている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、被着体にダメージを与えることなく、保護シートを被着体から安定して剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一実施形態に係るシート剥離装置を示す斜視図。
シート剥離装置の側面図。
（ａ）は最縮状態のシリンダを備えている貼付手段を示す斜視図であり、（ｂ）最伸状態のシリンダを備えている貼付手段を示す斜視図である。
（ａ）はヒートスタンプを示す斜視図であり、（ｂ）はヒートスタンプを示す底面図である。
保護シートを剥離する手順を示す模式図。
本発明の第１の変形例に係るヒートスタンプを示す底面図である。
本発明の第２の変形例に係るヒートスタンプを示す底面図である。
本発明の第３の変形例に係るヒートスタンプを示す底面図である。
本発明の第４の変形例に係るヒートスタンプを示す底面図である。
本発明の第５の変形例に係るヒートスタンプを示す底面図である。
本発明の実施例との比較で用いた第１の比較例に係るヒートスタンプを示す底面図である。
本発明の実施例との比較で用いた第２の比較例に係るヒートスタンプを示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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