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公開番号2024058387
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165717
出願日2022-10-14
発明の名称変形装置、露光装置、および物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240418BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】物体を変形させる際の当該物体の破損を低減するために有利な技術を提供する。
【解決手段】物体を変形させる変形装置は、前記物体における複数の箇所にそれぞれ接続された複数の可動部と、前記複数の可動部をそれぞれ駆動して変位させる複数の駆動部と、前記複数の駆動部の各々を制御することにより前記物体の変形を制御する制御部と、前記複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士の変位差が許容範囲内になるように、前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部同士の相対的な位置ずれを機械的に制限する制限機構と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
物体を変形させる変形装置であって、
前記物体における複数の箇所にそれぞれ接続された複数の可動部と、
前記複数の可動部をそれぞれ駆動して変位させる複数の駆動部と、
前記複数の駆動部の各々を制御することにより前記物体の変形を制御する制御部と、
前記複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士の変位差が許容範囲内になるように、前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部同士の相対的な位置ずれを機械的に制限する制限機構と、
を備えることを特徴とする変形装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記許容範囲は、前記物体の破損を回避することができる前記変位差の範囲に設定されている、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。
【請求項３】
前記制限機構は、前記互いに隣り合う可動部のうち一方に設けられた第１制限部材と、他方に設けられた第２制限部材とを有し、
前記第１制限部材および前記第２制限部材は、前記変位差が前記許容範囲の限界に達したときに互いに突き当たることによって前記位置ずれを機械的に制限するように配置されている、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。
【請求項４】
前記第１制限部材は、前記他方に向かって前記一方から突出するように構成され、
前記第２制限部材は、前記一方に向かって前記他方から突出するように構成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の変形装置。
【請求項５】
前記制限機構は、前記第２制限部材を挟み込むように前記一方に設けられた２つの第１制限部材を有し、前記第２制限部材の移動を２つの前記第１制限部材の間に制限するように構成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の変形装置。
【請求項６】
前記第１制限部材と前記第２制限部材との接触を検知する第１検知部を更に備え、
前記制御部は、前記第１検知部により前記接触が検知された場合に前記物体の変形の制御を停止する、ことを特徴とする請求項３に記載の変形装置。
【請求項７】
前記第１検知部は、前記第１制限部材と前記第２制限部材との接触によって電気的に接続される信号線を含み、前記信号線を流れる信号に基づいて前記接触を検知する、ことを特徴とする請求項６に記載の変形装置。
【請求項８】
前記複数の可動部の各々は、各駆動部により駆動されて第１方向に移動可能な第１構造体と、前記物体に接続され且つ前記第１方向とは異なる第２方向に移動可能な第２構造体と、前記第１方向への前記第１構造体の移動を前記第２方向への前記第２構造体の移動に変換する変換機構とを含み、
前記制限機構は、前記第１構造体に対して設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。
【請求項９】
前記複数の可動部の各々は、各駆動部により駆動されて第１方向に移動可能な第１構造体と、前記物体に接続され且つ前記第１方向とは異なる第２方向に移動可能な第２構造体と、前記第１方向への前記第１構造体の移動を前記第２方向への前記第２構造体の移動に変換する変換機構とを含み、
前記制限機構は、前記第２構造体に対して設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の変形装置。
【請求項１０】
物体を変形させる変形装置であって、
前記物体における複数の箇所にそれぞれ接続された複数の可動部と、
前記複数の可動部をそれぞれ駆動して変位させる複数の駆動部と、
前記複数の駆動部の各々を制御することにより前記物体の変形を制御する制御部と、
前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部の一方に設けられるとともに、前記複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士の変位差が許容範囲の限界に達したときに前記互いに隣り合う可動部の他方が接触するように配置されたスイッチと、
前記スイッチへの前記他方の接触を検知する第２検知部と、
を備え、
前記制御部は、前記第２検知部で前記接触が検知された場合に前記物体の変形の制御を停止する、ことを特徴とする変形装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体を変形させる変形装置、それを用いた露光装置、および物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
物体における複数の箇所の各々を駆動して変位させることで当該物体を所望の形状に変形させる変形装置が知られている。変形装置の１つの例としては、天文分野で用いられる大型望遠鏡等に搭載される可変鏡装置が挙げられる。可変鏡装置は、光の反射面を有するミラーを多点で支え、アクチュエータにより各点を駆動して変位させることによりミラーを所望の形状に変形させるものであり、天文観測時における大気の揺らぎ等の影響を補正する補正光学系の構成要素として用いられる。特許文献１には、複数のアクチュエータを用いてミラーを変形させる可変形鏡が開示されている。
【０００３】
また、変形装置の他の例として、半導体デバイス等を製造するための露光装置に搭載される光学補正装置が挙げられる。光学補正装置は、例えば、露光装置に設けられた光学素子を変形させることによって露光装置の光学特性を補正するものである。特許文献２には、複数のアクチュエータを用いて平行平面板ガラスを変形させることによって、投影光学系の収差や、基板に形成されているパターンの歪みなどによって生じうるオーバーレイ誤差を補正することが開示されている。特許文献３には、複数のアクチュエータを用いて、スリット状の照明光を規定するための可変ブレードを変形することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－１８２９０号公報
特開２０１３－２３６０２６号公報
特許第４５８１６３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、可変鏡装置で変形されるミラーや光学補正装置で変形される光学素子などの物体（以下では、単に「物体」と表記することがある）は、脆性材料で構成され、大きな応力を与えると破損するという性質がある。つまり、アクチュエータを用いて物体を変形させる際、当該物体に生じる応力が破壊応力を超えてしまうと当該物体が破損しうる。通常、物体に生じる応力が破壊応力未満になるようにアクチュエータが制御されるが、この際にアクチュエータの制御エラーなどが生じると、意図せずに大きな変位が当該物体に加わり当該物体が破損することがある。そのため、制御エラーなどが生じた場合であっても物体の破損を防止するためのフェールセーフが設けられるとよい。
【０００６】
特許文献１には、各アクチュエータについて可動端の移動可能な範囲（即ち、駆動ストローク）を個別に制限する機構が開示されている。しかしながら、各アクチュエータの駆動ストロークを個別に制限するだけでは、物体における複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士の変位差によっては当該物体に過度が負荷が掛かり、当該物体が破損することがある。
【０００７】
そこで、本発明は、物体を変形させる際の当該物体の破損を低減するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての変形装置は、物体を変形させる変形装置であって、前記物体における複数の箇所にそれぞれ接続された複数の可動部と、前記複数の可動部をそれぞれ駆動して変位させる複数の駆動部と、前記複数の駆動部の各々を制御することにより前記物体の変形を制御する制御部と、前記複数の箇所のうち互いに隣り合う箇所同士の変位差が許容範囲内になるように、前記複数の可動部のうち互いに隣り合う可動部同士の相対的な位置ずれを機械的に制限する制限機構と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例えば、物体を変形させる際の当該物体の破損を低減するために有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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