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公開番号2024041088
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-27
出願番号2022145712
出願日2022-09-14
発明の名称感光性樹脂組成物
出願人三菱製紙株式会社
代理人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20240319BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】フッ酸又はフッ化アンモニウムを含有するエッチング液への耐性が良好で、解像性および保存安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供することである。
【解決手段】フッ酸又はフッ化アンモニウムを含有するエッチング液で基材をエッチング処理するエッチング方法において使用するネガ型ドライフィルムレジストが有する感光性樹脂層を形成するための感光性樹脂組成物であって、該感光性樹脂組成物は少なくとも(A)酸変性エポキシ(メタ)アクリレート、(B)光重合開始剤、(C)ブロック化イソシアネート化合物、および(D)スチレンアクリル共重合体を含有する。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
フッ酸又はフッ化アンモニウムを含有するエッチング液で基材をエッチング処理するエッチング方法において使用するネガ型ドライフィルムレジストが有する感光性樹脂層を形成するための感光性樹脂組成物であって、少なくとも（Ａ）酸変性エポキシ（メタ）アクリレート、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）ブロック化イソシアネート化合物、および（Ｄ）スチレンアクリル共重合体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ酸又はフッ化アンモニウムを含有するエッチング液を用いたエッチング方法において使用される感光性樹脂組成物に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ガラス、シリコン、チタン等の基材にエッチング処理によってパターンを形成する際には、フッ酸又はフッ化アンモニウムを含有するエッチング液を使用する場合がある（以下、「フッ酸又はフッ化アンモニウムを含有するエッチング液」を「フッ酸エッチング液」と略記する場合がある）。このようなフッ酸エッチング液によるエッチング処理において、基材上にレジストパターンを形成する感光性樹脂組成物としては、従来からネガ型の感光性樹脂組成物が使用されており、一般にはネガ型の感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層と支持体とを積層したネガ型ドライフィルムレジストが使用されている。
【０００３】
フッ酸エッチング液を使用したエッチング方法では、例えば、感光性樹脂層と支持体とを積層したネガ型ドライフィルムレジストの感光性樹脂層の面を基材上に貼り合わせ、該感光性樹脂層に、所望のパターンのフォトマスクを介して活性光線の露光を実施し、感光性樹脂層の硬化膜を形成する。次いで、支持体を剥離した後、非露光部（非硬化部）を現像によって除去し、基材上に、硬化した感光性樹脂層からなるレジストパターンを形成する。続いて、露出した基材に、フッ酸エッチング液を吹き付けて基材を溶解するエッチング処理を行い、基材にエッチングパターンを形成する。
【０００４】
フッ酸エッチング液によるエッチング処理の際に基材から剥がれにくいというフッ酸エッチング液に対する耐性を有するレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物として、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、ブロック化イソシアネート化合物、およびフィラーを含有する感光性樹脂組成物（特許文献１）や、酸変性エポキシアクリレート、光重合開始剤、ブロック化イソシアネート化合物、およびフィラーを含有する感光性樹脂組成物（特許文献２）が開示されている。かかるフィラーは膜を強固にし、フッ酸エッチング液に対する耐性の向上に有効であるものの、該フィラーによってレジストパターンの直線性が失われ、ぎざのあるレジストパターンとなる問題が発生した。そのため、基材上にエッチングによって形成された画線の直線性も失われる場合があった。
【０００５】
基材上の画線の直線性に優れる感光性樹脂組成物として、支持体と第１感光性樹脂層と第２感光性樹脂層とがこの順に積層してなり、該第１感光性樹脂層が、少なくとも酸変性エポキシ（メタ）アクリレート、光重合開始剤、ブロック化イソシアネート化合物、およびフィラーを含有し、且つ、該第２感光性樹脂層が、少なくとも酸変性エポキシ（メタ）アクリレート、光重合開始剤、およびブロック化イソシアネート化合物を含有し、フィラーを含まないことを特徴とするネガ型ドライフィルムレジストが開示されている（特許文献３）。しかしながら、第１感光性樹脂層が含有するフィラーの影響によって、解像性が不十分になる場合があった。一方、第１感光性樹脂層がフィラーを含有しない場合は、該感光性樹脂層が早期に剥がれてしまい、フッ酸エッチング液への耐性が不十分であった。
【０００６】
ガラス基板との密着性に優れ、フッ酸エッチング液への耐性が良好な感光性樹脂組成物として、カルボキシ基含有バインダー用樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、およびオルガノシラン化合物を含有する感光性樹脂組成物が開示されている（特許文献４）。しかしながら、解像性が不十分であり、細線を直線性良くパターニングすることができない場合があった。また、長期保存した場合に、オルガノシラン化合物がバインダー用樹脂のカルボキシ基等と反応し、溶出性が低下する場合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１３－１１７６８２号公報
特開２０１６－１９７２２６号公報
特開２０２１－１５２６２２号公報
特開２００７－３１６２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、フッ酸又はフッ化アンモニウムを含有するエッチング液への耐性が良好で、解像性および保存安定性に優れた感光性樹脂組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題は、以下の手段によって解決できた。
【００１０】
フッ酸又はフッ化アンモニウムを含有するエッチング液で基材をエッチング処理するエッチング方法において使用するネガ型ドライフィルムレジストが有する感光性樹脂層を形成するための感光性樹脂組成物であって、少なくとも（Ａ）酸変性エポキシ（メタ）アクリレート、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）ブロック化イソシアネート化合物、および（Ｄ）スチレンアクリル共重合体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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