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公開番号2024058243
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165478
出願日2022-10-14
発明の名称冷却水路のエア抜き機構、加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B23Q 11/12 20060101AFI20240418BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】冷却水路に流れる冷却水の圧力を不安定化させることなく冷却水路に残存するエアを排出する。
【解決手段】冷却機構において冷却水路中のエアを排除できるエア抜き機構であって、該冷却機構は、冷却水が流れる該冷却水路と、該冷却水が貯留されるタンクと、該タンクに貯留された該冷却水を該冷却水路に流すポンプと、を備え、該冷却水路は、供給経路と、排出経路と、を備え、該エア抜き機構は、流入路と、上向き路と、下向き路と、に分岐する分岐機構と、一端が該上向き路に接続され他端に排気口を備える排気路と、該排気路に流れる気体を検知するセンサと、該排気路を開閉する開閉機構と、を有し、該開閉機構は、該センサが該排気路中のエアを検知したときに該排気路を開状態とし、該センサが該排気路中のエアを検知しないときに該排気路を閉状態とする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
スピンドルに接続され該スピンドルを回転させる駆動源と、該スピンドルと、の一方または両方を冷却する冷却機構において、冷却水が循環する冷却水路中のエアを排除できるエア抜き機構であって、
該冷却機構は、
該冷却水が流れる該冷却水路と、
該冷却水が貯留されるタンクと、
該タンクに貯留された該冷却水を該冷却水路に流すポンプと、を備え、
該冷却水路は、
該ポンプにより該タンクから供給された該冷却水が作用箇所に達する経路となる供給経路と、
該作用箇所で熱を吸収した該冷却水が該タンクに戻る経路となる排出経路と、を備え、
該エア抜き機構は、
該冷却水路の該排出経路中に設けられ、該作用箇所側の該排出経路に接続される流入路と、上向き路と、該タンク側の該排出経路に接続される下向き路と、に分岐する分岐機構と、
一端が該分岐機構の該上向き路に接続され、他端に排気口を備える排気路と、
該排気路中の液体または気体を検知するセンサと、
該排気路中の該センサと、該排気口と、の間に設けられ、該排気路を開閉する開閉機構と、を有し、
該開閉機構は、
該センサが該排気路中のエアを検知したとき、または、該排気路中の該冷却水を検知しないときに該排気路を開状態とし、
該センサが該排気路中のエアを検知しないとき、または、該排気路中の該冷却水を検知するときに該排気路を閉状態とする
ことを特徴とするエア抜き機構。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
該排気路は、光を透過する透過部を有し、
該センサは、該透過部に光を入射させる発光部と、該透過部を抜けた該光を受ける受光部と、を備える光センサであることを特徴とする請求項１に記載のエア抜き機構。
【請求項３】
被加工物を加工する加工装置であって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工具と、該加工具を先端に装着したスピンドルと、該スピンドルに接続され該スピンドルを回転させる駆動源と、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、を備える加工ユニットと、
該スピンドルハウジングの内部を通り冷却水が流れる冷却水路と、該冷却水が貯留されるタンクと、該タンクに貯留された該冷却水を該冷却水路に流すポンプと、を備える冷却機構と、を含み、
該冷却水路は、
該ポンプにより該タンクから供給された該冷却水が該スピンドルハウジングに達する経路となる供給経路と、
該スピンドルハウジングで熱を吸収した該冷却水が該タンクに戻る経路となる排出経路と、
該排出経路に設けられたエア抜き機構と、を備え、
該エア抜き機構は、
該冷却水路の該排出経路中に設けられ、該スピンドルハウジング側の該排出経路に接続される流入路と、上向き路と、該タンク側の該排出経路に接続された下向き路と、に分岐する分岐機構と、
一端が該分岐機構の該上向き路に接続され、他端に排気口を備える排気路と、
該排気路中の液体または気体を検知するセンサと、
該排気路中の該センサと、該排気口と、の間に設けられ、該排気路を開閉する開閉機構と、を有し、
該開閉機構は、
該センサが該排気路中のエアを検知したとき、または、該排気路中の該冷却水を検知しないときに該排気路を開状態とし、
該センサが該排気路中のエアを検知しないとき、または、該排気路中の該冷却水を検知するときに該排気路を閉状態とする
ことを特徴とする加工装置。
【請求項４】
該排気路は、光を透過する透過部を有し、
該センサは、該透過部に光を入射させる発光部と、該透過部を抜けた該光を受ける受光部と、を備える光センサであることを特徴とする請求項３に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンドルに接続されスピンドルを回転させる駆動源やスピンドルを冷却する冷却機構において、冷却水が循環する冷却水路中のエアを排除できるエア抜き機構と、該エア抜き機構が組み込まれた冷却水路を有する加工装置と、に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
デバイスチップの製造工程では、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された複数の領域にそれぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成された円板状のウェーハが加工される。このウェーハを裏面側から研削装置で研削して薄化し、切削装置やレーザ加工装置で分割予定ラインに沿ってウェーハを分割すると、個々のデバイスチップを製造できる。デバイスチップは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に搭載される。
【０００３】
研削装置、切削装置、及びレーザ加工装置等の各種の加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルで保持された被加工物を加工する加工ユニットと、チャックテーブルまたは加工ユニットを移動させる移動機構と、を備える。移動機構はモータ等の駆動源を備える。駆動源には、稼働する間に生じる熱を除去するための冷却機構が接続され、冷却水が流される。冷却機構は冷却水が流れる冷却水路を備え、冷却水は冷却水路を通って該駆動源を冷却しつつ加工装置の内部を循環する（特許文献１参照）。
【０００４】
さらに、研削装置、及び切削装置等の各種の加工装置では、加工ユニットは、スピンドルと、スピンドルの基端側に接続されたモータ等の駆動源と、スピンドルの先端側に装着された加工具と、を備える。駆動源を作動させてスピンドルとともに加工具を回転させ、回転する加工具を被加工物に接触させると、加工具により被加工物が加工される。加工装置では加工ユニットにも冷却機構が接続され、稼働する間に駆動源等に生じる熱を除去するための冷却水が冷却機構の冷却水路に流される（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２０－１５１８００号公報
特開２０１１－２１４６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
加工装置を移設する際や、加工装置を長時間にわたり停止させる際、冷却水路に冷却水が残ったままでいると問題となるため、冷却水路に残る冷却水を排出する作業が実施される。そして、加工装置の稼働を開始する際には、冷却水路に入り込んだエアを排除するために、冷却水路に水を流し込む。ただし、エアを完全に冷却水路から排除するのは容易ではない上、従来は冷却水路にエアが残存していないことを確認する手段がなかった。
【０００７】
そこで、冷却水路に残存するエアが自動的に排気されるように、冷却水路に排気用配管を接続することも考えられる。しかしながら、単に排気用配管を冷却水路に設けるだけでは、冷却水の圧力の低下や不安定化が生じる。冷却水路における冷却水の圧力が高い精度で所定の値に維持されなければ、冷却対象物を精密に所定の温度に冷却できない。
【０００８】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、冷却水路に流れる冷却水の圧力を不安定化させることなく冷却水路に残存するエアを排出できるエア抜き機構、及び加工装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、スピンドルに接続され該スピンドルを回転させる駆動源と、該スピンドルと、の一方または両方を冷却する冷却機構において、冷却水が循環する冷却水路中のエアを排除できるエア抜き機構であって、該冷却機構は、該冷却水が流れる該冷却水路と、該冷却水が貯留されるタンクと、該タンクに貯留された該冷却水を該冷却水路に流すポンプと、を備え、該冷却水路は、該ポンプにより該タンクから供給された該冷却水が作用箇所に達する経路となる供給経路と、該作用箇所で熱を吸収した該冷却水が該タンクに戻る経路となる排出経路と、を備え、該エア抜き機構は、該冷却水路の該排出経路中に設けられ、該作用箇所側の該排出経路に接続される流入路と、上向き路と、該タンク側の該排出経路に接続される下向き路と、に分岐する分岐機構と、一端が該分岐機構の該上向き路に接続され、他端に排気口を備える排気路と、該排気路中の液体または気体を検知するセンサと、該排気路中の該センサと、該排気口と、の間に設けられ、該排気路を開閉する開閉機構と、を有し、該開閉機構は、該センサが該排気路中のエアを検知したとき、または、該排気路中の該冷却水を検知しないときに該排気路を開状態とし、該センサが該排気路中のエアを検知しないとき、または、該排気路中の該冷却水を検知するときに該排気路を閉状態とすることを特徴とするエア抜き機構が提供される。
【００１０】
好ましくは、該排気路は、光を透過する透過部を有し、該センサは、該透過部に光を入射させる発光部と、該透過部を抜けた該光を受ける受光部と、を備える光センサである。
（【００１１】以降は省略されています）

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