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公開番号2024057943
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022164950
出願日2022-10-13
発明の名称基板搬送システムの制御方法
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240418BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数の基板を搬送する基板搬送システムの制御方法を提供する。
【解決手段】大気搬送室と、大気搬送室に連結され、基板を載置可能な複数の載置部を有するロードロック室と、ロードロック室に連結される真空搬送室、真空搬送室に連結され、基板を載置可能な複数のステージを有する複数の処理室、大気搬送室に配置され、大気搬送室とロードロック室との間で1枚毎に基板を搬送可能な第1搬送装置及び真空搬送室に配置され、真空搬送室とロードロック室との間及び真空搬送室と処理室との間で複数の基板を同時に搬送可能な第2搬送装置を有し、第1搬送装置及び第2搬送装置を制御して基板を搬送する基板搬送システムの制御方法であって、ロードロック室の載置部から処理室のステージに基板を搬送する第2搬送装置が、ステージの中心に基板を載置可能な第1搬送装置の基板搬送位置である処理室別基板搬送位置を複数の処理室毎に取得する工程を有する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
大気搬送室と、
前記大気搬送室に連結され、基板を載置可能な複数の載置部を有するロードロック室と、
前記ロードロック室に連結される真空搬送室と、
前記真空搬送室に連結され、基板を載置可能な複数のステージを有する複数の処理室と、
前記大気搬送室に配置され、前記大気搬送室と前記ロードロック室との間で１枚ごとに基板を搬送可能に構成される第１搬送装置と、
前記真空搬送室に配置され、前記真空搬送室と前記ロードロック室との間及び前記真空搬送室と前記処理室との間で複数の基板を同時に搬送可能に構成される第２搬送装置と、を有し、
前記第１搬送装置及び前記第２搬送装置を制御して基板を搬送する基板搬送システムの制御方法であって、
前記ロードロック室の前記載置部から前記処理室の前記ステージに基板を搬送する前記第２搬送装置が前記ステージの中心に基板を載置可能な前記第１搬送装置の前記載置部の基板搬送位置である処理室別基板搬送位置を複数の前記処理室ごとに取得する工程を有する、
基板搬送システムの制御方法。
続きを表示（約 870 文字）【請求項２】
複数の前記処理室ごとの前記処理室別基板搬送位置に基づいて、前記第１搬送装置が前記載置部に基板を搬送する基板搬送位置を決定する工程を有する、
請求項１に記載の基板搬送システムの制御方法。
【請求項３】
複数の前記処理室別基板搬送位置と前記基板搬送位置との距離の最大値が最小となる前記基板搬送位置を決定する工程を有する、
請求項２に記載の基板搬送システムの制御方法。
【請求項４】
前記第１搬送装置は、
決定された前記基板搬送位置に基板を搬送する工程を有する、
請求項２または請求項３に記載の基板搬送システムの制御方法。
【請求項５】
前記第１搬送装置は、
複数の前記処理室のうち、前記第２搬送装置が基板を搬送する第１の処理室に対応する前記処理室別基板搬送位置に基板を搬送する工程を有する、
請求項１に記載の基板搬送システムの制御方法。
【請求項６】
前記第１の処理室に基板が搬送可能か否かを判定し前記第１の処理室に基板が搬送可能ではないと判定され、かつ、前記第１の処理室とは異なる第２の処理室に基板が搬送可能か否かを判定し前記第２の処理室に基板が搬送可能であると判定された場合、
前記第２搬送装置は、前記第２の処理室に基板を搬送する工程を有する、
請求項５に記載の基板搬送システムの制御方法。
【請求項７】
前記第１の処理室に基板が搬送可能か否かを判定し前記第１の処理室に基板が搬送可能ではないと判定され、かつ、前記第１の処理室とは異なる第２の処理室に基板が搬送可能か否かを判定し前記第２の処理室に基板が搬送可能でないと判定された場合、
前記第２搬送装置は、前記ロードロック室の前記載置部に基板を搬送する工程と、
前記第１搬送装置は、前記第２の処理室に対応する処理室別基板搬送位置に基板を搬送する工程と、を有する、
請求項５に記載の基板搬送システムの制御方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板搬送システムの制御方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ロードロック室から処理室に複数の基板を搬送する搬送装置を備える基板処理システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－６１４７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一の側面では、本開示は、複数の基板を搬送する基板搬送システムの制御方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、一の態様によれば、大気搬送室と、前記大気搬送室に連結され、基板を載置可能な複数の載置部を有するロードロック室と、前記ロードロック室に連結される真空搬送室と、前記真空搬送室に連結され、基板を載置可能な複数のステージを有する複数の処理室と、前記大気搬送室に配置され、前記大気搬送室と前記ロードロック室との間で１枚ごとに基板を搬送可能に構成される第１搬送装置と、前記真空搬送室に配置され、前記真空搬送室と前記ロードロック室との間及び前記真空搬送室と前記処理室との間で複数の基板を同時に搬送可能に構成される第２搬送装置と、を有し、前記第１搬送装置及び前記第２搬送装置を制御して基板を搬送する基板搬送システムの制御方法であって、前記ロードロック室の前記載置部から前記処理室の前記ステージに基板を搬送する前記第２搬送装置が前記ステージの中心に基板を載置可能な前記第１搬送装置の前記載置部の基板搬送位置である処理室別基板搬送位置を複数の前記処理室ごとに取得する工程を有する、基板搬送システムの制御方法が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
一の側面によれば、本開示は、複数の基板を搬送する基板搬送システムの制御方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
一実施形態に係る基板搬送システム１００の構成を示す概略図の一例。
大気搬送装置の構成を示す概略図の一例。
真空搬送装置の構成を示す概略図の一例。
各処理室のステージに載置された基板を示す平面模式図の一例。
第１実施形態に係る基板搬送システムの制御方法を示すフローチャートの一例。
第１の参考例に係る大気搬送装置の教示位置を示す図の一例。
第２の参考例に係る大気搬送装置の教示位置を示す図の一例。
第１実施形態に係る大気搬送装置の教示位置を示す図の一例。
処理室のステージに載置された基板を示す平面模式図の一例。
第２実施形態に係る基板搬送システムの制御方法を示すフローチャートの一例。
他の基板搬送システムの制御方法を示すフローチャートの一例。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【０００９】
＜基板搬送システム１００＞
一実施形態に係る基板搬送システム１００の全体構成の一例について、図１を用いて説明する。図１は、一実施形態に係る基板搬送システム１００の構成を示す概略図の一例である。
【００１０】
図１に示す基板搬送システム１００は、クラスタ構造（マルチチャンバタイプ）のシステムである。基板搬送システム１００は、複数の処理室（Process Module）１１，１２，１４，１５，１６、真空搬送室（Vacuum Transfer Module）２０Ａ，２０Ｂ、パスモジュール３１、ロードロック室（Load Lock Module）４１，４２、大気搬送室（Loader Module）５０、ロードポート（Load Port）６０及び制御装置９０を備えている。なお、図１において、後述するロードロック室４１の載置部４１１及び載置部４１２に基板Ｗが載置されている状態を図示している。また、以下の説明において、載置部４１１に載置された基板を基板Ｗ１と称し、載置部４１２に載置された基板を基板Ｗ２と称する。
（【００１１】以降は省略されています）

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