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公開番号2024057827
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022164757
出願日2022-10-13
発明の名称帯電防止フィルム
出願人グンゼ株式会社
代理人個人
主分類B32B 27/18 20060101AFI20240418BHJP(積層体)
要約【課題】帯電防止機能のばらつきが抑制された帯電防止フィルムを提供する。
【解決手段】帯電防止フィルムは、帯電防止層を備える。帯電防止層は、熱可塑性樹脂と、1種類の高分子型帯電防止剤と、熱可塑性エラストマーとを少なくとも含有する樹脂組成物から構成される。帯電防止層の表面において、所定の方向に沿って1m間隔で200か所測定した表面固有抵抗値(Ω/□)の対数値の最大値と最小値との差は、1.3以下である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
熱可塑性樹脂と、１種類の高分子型帯電防止剤と、熱可塑性エラストマーとを少なくとも含有する樹脂組成物から構成される帯電防止層
を備え、
前記帯電防止層の表面において、所定の方向に沿って１ｍ間隔で２００か所測定した表面固有抵抗値（Ω／□）の対数値の最大値と最小値との差は、１．３以下である、
帯電防止フィルム。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記熱可塑性エラストマーは、水添スチレン系エラストマーである、
請求項１に記載の帯電防止フィルム。
【請求項３】
前記帯電防止層を構成する樹脂組成物は、前記高分子型帯電防止剤を２０重量％以上、４０重量％以下含有する、
請求項１または２に記載の帯電防止フィルム。
【請求項４】
前記帯電防止層を構成する樹脂組成物は、前記熱可塑性エラストマーを５重量％以上、４０重量％以下含有する、
請求項１または２に記載の帯電防止フィルム。
【請求項５】
前記熱可塑性エラストマーの２３０℃におけるメルトフローレートは、１４ｇ／１０分未満である、
請求項１または２に記載の帯電防止フィルム。
【請求項６】
前記帯電防止層の厚みは、２μｍ以上、２０μｍ以下である、
請求項１または２に記載の帯電防止フィルム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電防止フィルムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハや半導体パッケージの加工工程では、フィルム基材の少なくとも片面に粘着剤層が積層された各種の半導体加工用テープが使用される。より具体的には、半導体ウェハを切断して、個々の半導体チップに分割するダイシング工程において半導体ウェハに貼付されるダイシング用テープや、半導体ウェハの薄化を行うグラインディング工程において、パターニング面を保護する目的で半導体ウェハのパターニング面に貼付される、バックグラインド用テープ等がある。特許文献１はダイシング用テープに関する発明を開示し、特許文献２はバックグラインド用テープに関する発明を開示する。これらの半導体加工用テープは、フィルム基材部分において帯電防止機能を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１２５５２１号公報
特開２０２０－０８８２３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フィルム基材は、例えばフィルム基材を構成する樹脂組成物を、長手方向に連続したシート状に押出成形することで得られ、これを巻き取ってロール状としたものが原反となる。上記樹脂組成物において、フィルム基材に帯電防止機能を付与する帯電防止剤が凝集してしまうと、原反において帯電防止機能のばらつきを生じてしまう。
【０００５】
本発明は、帯電防止機能のばらつきが抑制された帯電防止フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１観点に係る帯電防止フィルムは、帯電防止層を備える。帯電防止層は、熱可塑性樹脂と、１種類の高分子型帯電防止剤と、熱可塑性エラストマーとを少なくとも含有する樹脂組成物から構成される。前記帯電防止層の表面において、所定の方向に沿って１ｍ間隔で２００か所測定した表面固有抵抗値（Ω／□）の対数値の最大値と最小値との差は、１．３以下である。
【０００７】
第２観点に係る帯電防止フィルムは、第１観点に係る帯電防止フィルムであって、前記熱可塑性エラストマーは、水添スチレン系エラストマーである。
【０００８】
第３観点に係る帯電防止フィルムは、第１観点または第２観点に係る帯電防止フィルムであって、前記帯電防止層を構成する樹脂組成物は、前記高分子型帯電防止剤を２０重量％以上、４０重量％以下含有する。
【０００９】
第４観点に係る帯電防止フィルムは、第１観点から第３観点のいずれかに係る帯電防止フィルムであって、前記帯電防止層を構成する樹脂組成物は、前記熱可塑性エラストマーを５重量％以上、４０重量％以下含有する。
【００１０】
第５観点に係る帯電防止フィルムは、第１観点から第４観点のいずれかに係る帯電防止フィルムであって、前記熱可塑性エラストマーの２３０℃におけるメルトフローレートは、１４ｇ／１０分未満である。
（【００１１】以降は省略されています）

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