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公開番号2024056246
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-23
出願番号2022162992
出願日2022-10-11
発明の名称めっき処理用治具
出願人株式会社日立パワーデバイス
代理人ポレール弁理士法人
主分類C23C 18/31 20060101AFI20240416BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】
ウェハの片面にめっき処理する際に、保護テープが不要で、ウェハの挟持と開放を一括して行えるめっき処理用治具の提供。
【解決手段】
ウェハを載置する複数の載置部と、載置部に対向して配置され載置部との間でウェハを挟み込む上蓋部と、載置部または上蓋部に設けられウェハの表面の一部を露出させるための開口と、載置部と上蓋部とでウェハを挟んだときにウェハに接しウェハの裏面へのめっき液侵入を防止する弾性部材と、複数の載置部を互いに連結する載置部連結部材と、複数の上蓋部を互いに連結する上蓋部連結部材と、を備え、載置部と上蓋部は交互に配置され、載置部連結部材と上蓋部連結部材との間の相対的な位置が変更可能であり、複数の載置部と複数の上蓋部とのうち少なくとも一方を、互いに連結された状態で連動して移動させることにより、載置部と上蓋部との間の距離を一括して変更できる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェハの片面にめっき処理するためのめっき処理用治具において、
前記ウェハを載置する複数の載置部と、
前記載置部に対向して配置され、前記載置部との間で前記ウェハを挟み込む上蓋部と、
前記載置部または前記上蓋部に設けられ、前記ウェハの表面の一部を露出させるための開口と、
前記載置部と前記上蓋部とで前記ウェハを挟んだときに前記ウェハに接し、前記ウェハの裏面へのめっき液侵入を防止する弾性部材と、
複数の前記載置部を互いに連結する載置部連結部材と、
複数の前記上蓋部を互いに連結する上蓋部連結部材と、を備え、
前記載置部と前記上蓋部は、交互に配置され、
前記載置部連結部材と前記上蓋部連結部材との間の相対的な位置が変更可能であり、
複数の前記載置部と複数の前記上蓋部とのうち少なくとも一方を、互いに連結された状態で連動して移動させることにより、前記載置部と前記上蓋部との間の距離を一括して変更できることを特徴とするめっき処理用治具。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
請求項１において、
前記載置部と前記上蓋部との間の距離を一括して変更する際に、前記載置部の第１の辺における前記載置部と前記上蓋部との間の距離の変化と、前記載置部の前記第１の辺に対向する第２の辺における前記載置部と前記上蓋部との間の距離の変化とが等しいことを特徴とするめっき処理用治具。
【請求項３】
請求項１において、
前記載置部と前記上蓋部との間の距離を一括して変更する際に、前記載置部の第１の辺における前記載置部と前記上蓋部との間の距離の変化と、前記載置部の前記第１の辺に対向する第２の辺における前記載置部と前記上蓋部との間の距離の変化とが異なることを特徴とするめっき処理用治具。
【請求項４】
請求項３において、
複数の前記載置部と複数の前記上蓋部とのうち一方が、前記載置部連結部材と前記上蓋部連結部材とに回動部材を介して連結されていることを特徴とするめっき処理用治具。
【請求項５】
請求項４において、
複数の前記載置部が前記載置部連結部材と前記上蓋部連結部材とに回動部材を介して連結されており、
前記載置部に前記開口を有することを特徴とするめっき処理用治具。
【請求項６】
請求項１において、
前記上蓋部に前記開口を有することを特徴とするめっき処理用治具。
【請求項７】
請求項１において、
前記載置部と前記上蓋部との間の距離を固定する固定治具を有することを特徴とするめっき処理用治具。
【請求項８】
請求項７において、
前記固定治具は、前記載置部と前記上蓋部との間、または、前記載置部と前記上蓋部とのうちの一方と他の部材との間に挟み込まれる治具であることを特徴とするめっき処理用治具。
【請求項９】
請求項７において、
前記固定治具は、前記載置部と前記上蓋部との間の距離を調節するネジ部を有する治具であることを特徴とするめっき処理用治具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき処理用治具に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置を製造する際に、半導体のウェハの片面に無電解めっき処理を行う工程がある。
【０００３】
従来のウェハの無電解めっき処理では、片面めっきの場合、めっきしない領域であるウェハの裏面に保護テープを貼り、無電解めっき処理を行ってから、保護テープをはがすことが主流となっており、保護テープなどの材料や、保護テープを貼る工程とはがす工程が増えることによって、コストアップの原因になっている。
【０００４】
また、保護テープを使用しないでウェハの片面に無電解めっき処理を可能にする技術としては、例えば特許文献１がある。特許文献１の要約には、課題として、「ウェハ治具に対する調整をある程度の数量一括にし、生産効率の向上する無電解めっきを可能とするめっき用ウェハ治具を提供する。」ことが記載されており、その解決手段として、「めっき用ウェハ治具１０は、半導体ウェハＷＦと互いに電気的に絶縁関係を保つウェハ載置板１１とウェハ周縁部近傍に密着する上蓋部材１２とで、ウェハＷＦに関しその主表面領域を露出させながら狭持するそれぞれの治具ユニット１０１～１０３を有する。治具ユニット１０１～１０３は、スペーサーとなる弾性部材１４をそれぞれ介して連なり、各々の治具ユニットがまとめて狭持されるための共有締め付け機構１５が構成される。」ことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－３３９０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、ウェハの出し入れをする際の開放について十分な考慮がされておらず、開放の際には、共有締め付け機構１５を緩めてから治具ユニット１０１～１０３ごとにばらばらに開放する必要があると考えられ、作業性が悪いという課題がある。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、ウェハの片面にめっき処理する際に、保護テープが不要で、ウェハの挟持と開放を一括して行えるめっき処理用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のめっき処理用治具は、例えば、ウェハの片面にめっき処理するためのめっき処理用治具において、前記ウェハを載置する複数の載置部と、前記載置部に対向して配置され、前記載置部との間で前記ウェハを挟み込む上蓋部と、前記載置部または前記上蓋部に設けられ、前記ウェハの表面の一部を露出させるための開口と、前記載置部と前記上蓋部とで前記ウェハを挟んだときに前記ウェハに接し、前記ウェハの裏面へのめっき液侵入を防止する弾性部材と、複数の前記載置部を互いに連結する載置部連結部材と、複数の前記上蓋部を互いに連結する上蓋部連結部材と、を備え、前記載置部と前記上蓋部は、交互に配置され、前記載置部連結部材と前記上蓋部連結部材との間の相対的な位置が変更可能であり、複数の前記載置部と複数の前記上蓋部とのうち少なくとも一方を、互いに連結された状態で連動して移動させることにより、前記載置部と前記上蓋部との間の距離を一括して変更できることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のめっき処理用治具によれば、ウェハの片面にめっき処理する際に、保護テープが不要で、ウェハの挟持と開放を一括して行える。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施例１のめっき処理用治具の開放時の断面図。
実施例１のめっき処理用治具の開放時の斜視図。
実施例１のめっき処理用治具の挟持時の断面図。
実施例１のめっき処理用治具の挟持時の斜視図。
実施例２のめっき処理用治具の開放時の断面図。
実施例２のめっき処理用治具の挟持時の断面図。
実施例２のめっき処理用治具の挟持時の斜視図。
実施例３のめっき処理用治具の開放時の断面図。
実施例３のめっき処理用治具の挟持時の断面図。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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