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公開番号2024041428
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-27
出願番号2022146247
出願日2022-09-14
発明の名称エッチング装置
出願人TOPPANホールディングス株式会社
代理人
主分類C23F 1/08 20060101AFI20240319BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】簡易な設備改造でエッチング液の気泡を除去することによって、比重測定にかかわる工数を増やすことなく、比重の測定精度が向上するエッチング装置を提供すること。
【解決手段】少なくともエッチング処理槽とエッチング液貯留タンクとエッチング液貯留タンク後に配置される比重測定エリアからなるエッチング装置において、比重測定器が、前記比重測定エリアに設置され、気泡除去用メッシュ板が、前記エッチング液貯留タンクと前記比重測定エリアの間に設置され、前記気泡除去用メッシュ板は、エッチング液の流れる領域の底面から液面の中間地点より上部にメッシュ板が配置されていることを特徴とするエッチング装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
少なくともエッチング処理槽とエッチング液貯留タンクとエッチング液貯留タンク後に配置される比重測定エリアからなるエッチング装置において、
比重測定器が、前記比重測定エリアに設置され、
気泡除去用メッシュ板が、前記エッチング液貯留タンクと前記比重測定エリアの間に設置され、
前記気泡除去用メッシュ板は、エッチング液の流れる領域の底面から液面の中間地点より上部にメッシュ板が配置されていることを特徴とするエッチング装置。
続きを表示（約 73 文字）【請求項２】
前記メッシュポリエステル系繊維またはポリ塩化ビニリデン系繊維であることを特徴とする請求項１に記載のエッチング装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属のエッチング装置に関する。更に詳しくは、気泡除去による比重管理の精度を向上させたエッチング装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
金属のエッチング加工は、プリント配線板、ＩＣリードフレーム、金属遮光板、カメラの手振れ補正用のばね部材などの精密金属部品を生産するうえで、重要な役割を担っている。そして、鉄系や銅系の材料のエッチング液としては、塩化第二鉄液が主流となっている。フォトレジストと呼ばれる感光性樹脂を用いて加工材表面の残したい部分のみに高精度なマスキングを施してから、不必要な部分を塩化第二鉄液になるエッチング液を用いてエッチングすることにより、目的の形状を得ている。
【０００３】
塩化第二鉄水溶液によるエッチングでは、エッチング対象に応じて適切に調製された液組成のエッチング液が、エッチング液貯留タンクに貯留されて、繰り返し循環用ポンプで循環して使用されている。塩化第二鉄水溶液による銅のエッチングは、エッチングが進行するに従ってエッチング液中の銅イオンおよび第一鉄イオンが増加してエッチングスピードを低下させるなど、エッチング液の性能を悪化させる。このため、エッチング液の液組成は経時的に変動して安定しない。
【０００４】
エッチング液の比重管理においては、一般的に比重測定器となるガラス比重計やフロート（錘）を、比重測定エリア内に設けられた比重測定用容器の中に設置し、エッチング液に浸漬して測定が行われている。比重測定では温度を一定に保ち、測定器内の液更新が常時必要となるため、その供給は、装置内の循環経路等から行われる。しかしながら、エッチング液を循環させて使用する場合、エッチング液が比重測定エリアに戻る過程や循環用ポンプ等によりエッチング液内部に気泡が取り込まれることがある。このエッチング液の気泡により比重測定器であるガラス比重計やフロート（錘）の浮力が変化し誤検知を生じてしまう。そのため、比重を正確に測定できない場合が生じる。
【０００５】
このような場合、通常はガラス比重計やフロート（錘）の測定までに泡が抜けるように流路を長く持たせたりすることなどで対応している。
【０００６】
特許文献１では、エッチング液を静置する方法が開示されている。比重検出器をエッチング液に浸漬し、所定期間エッチング液を静置してエッチング液中の気泡を除去した後に、エッチング液の比重を測定することからなる操作を反復することにより行なわれるエッチング液の比重管理方法を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開平９－５３１９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記の比重管理方法では、設備の大型化の必要性や、工程数が増えて製造工程時間が長くなり、生産性低下の要因となる。従って、本発明の課題は、簡易な設備改造でエッチング液の気泡を除去することによって、比重測定にかかわる工数を増やすことなく、比重の測定精度が向上するエッチング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するための手段として、本発明の第１の態様は、
少なくともエッチング処理槽とエッチング液貯留タンクとエッチング液貯留タンク後に配置される比重測定エリアからなるエッチング装置において、比重測定器が、前記比重測定エリアに設置され、気泡除去用メッシュ板が、前記エッチング液貯留タンクと前記比重測定エリアの間に設置され、前記気泡除去用メッシュ板は、エッチング液の流れる領域の底面から液面の中間地点より上部にメッシュ板が配置されていることを特徴とするエッチング装置である。
【００１０】
また、本発明の第２の態様は、
前記メッシュ板は、ポリエステル系繊維またはポリ塩化ビニリデン系繊維であってよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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