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公開番号2024005997
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-17
出願番号2022106519
出願日2022-06-30
発明の名称透明導電性フィルムの製造方法
出願人日東電工株式会社
代理人個人,個人
主分類C23C 14/08 20060101AFI20240110BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】生産性に優れる透明導電性フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】透明導電性フィルム3の製造方法は、長尺の基材1の厚み方向一方面に、透明導電層2を形成する。透明導電性フィルム3の製造方法は、基材1を準備する第1工程と、真空雰囲気下で、基材1の厚み方向一方面に、透明導電層2の一部を形成する第2工程と、真空雰囲気下で、透明導電層2の一部を加熱しながら、透明導電層2の一部の厚み方向一方面に、透明導電層2の残部を形成する第3工程とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
長尺の基材の厚み方向一方面に、透明導電層を形成する透明導電性フィルムの製造方法であって、
前記基材を準備する第１工程と、
真空雰囲気下で、前記基材の厚み方向一方面に、透明導電層の一部を形成する第２工程と、
真空雰囲気下で、前記透明導電層の一部を加熱しながら、前記透明導電層の一部の厚み方向一方面に、前記透明導電層の残部を形成する第３工程とを備える、透明導電性フィルムの製造方法。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記第３工程の後に、前記透明導電層を加熱する第４工程を備える、請求項１に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
【請求項３】
真空雰囲気下で、前記第４工程を実施する、請求項２に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
【請求項４】
大気雰囲気下で、前記第４工程を実施する、請求項２に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記第３工程では、成膜ロールの表面に接触する前記基材に対して、前記透明導電層を形成し、前記成膜ロールを加熱することにより、前記透明導電層の一部を加熱する、請求項１～４のいずれか一項に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
【請求項６】
前記第２工程では、独立した成膜室に配置されたターゲットによって、透明導電層の一部が形成され、
前記第３工程では、独立した成膜室に配置されたターゲットによって、透明導電層の残部が形成される、請求項１～４のいずれか一項に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
【請求項７】
前記第３工程を終了した前記透明導電層が、結晶質である、請求項１～４のいずれか一項に記載の透明導電性フィルムの製造方法。
【請求項８】
クリプトンガスを含む希ガスの存在下において、前記第２工程および／または前記第３工程を実施する、請求項１～４のいずれか一項に記載の透明導電性フィルムの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電性フィルムの製造方法に関する。
続きを表示（約 940 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、ロールトゥロール方式により、基材フィルム上に透明導電層を積層して、導電性フィルムを製造する方法が知られている。
【０００３】
このような方法として、例えば、ロールトゥロール方式により、長尺のＰＥＴフィルム基材を搬送しながら、非晶質の透明導電性膜をスパッタリングにより形成して、その後、非晶質の透明導電性膜が形成されたＰＥＴフィルム基材を加熱して、透明導電性膜を結晶化させ、透明導電性フィルムを製造する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－１４６２４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、透明導電性フィルムの製造方法には、より一層、高い生産性が要求される。
【０００６】
本発明は、生産性に優れる透明導電性フィルムの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明［１］は、長尺の基材の厚み方向一方面に、透明導電層を形成する透明導電性フィルムの製造方法であって、前記基材を準備する第１工程と、真空雰囲気下で、前記基材の厚み方向一方面に、透明導電層の一部を形成する第２工程と、真空雰囲気下で、前記透明導電層の一部を加熱しながら、前記透明導電層の一部の厚み方向一方面に、前記透明導電層の残部を形成する第３工程とを備える、透明導電性フィルムの製造方法である。
【０００８】
本発明［２］は、前記第３工程の後に、前記透明導電層を加熱する第４工程を備える、上記［１］に記載の透明導電性フィルムの製造方法を含んでいる。
【０００９】
本発明［３］は、真空雰囲気下で、前記第４工程を実施する、上記［２］に記載の透明導電性フィルムの製造方法を含んでいる。
【００１０】
本発明［４］は、大気雰囲気下で、前記第４工程を実施する、上記［２］に記載の透明導電性フィルムの製造方法を含んでいる。
（【００１１】以降は省略されています）

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