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公開番号2024031458
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-07
出願番号2022135017
出願日2022-08-26
発明の名称蒸着装置及び蒸着方法
出願人株式会社ブイ・テクノロジー
代理人個人
主分類C23C 14/50 20060101AFI20240229BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】マスクフレームの平面度の影響を受けずにマスクと基板とを密着させることができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】当接面30aを有する板状の被蒸着対象物保持部30と、当接面に隣接するマスク組立体40と、マスク組立体を挟んで被蒸着対象物の反対側に、マスク組立体に隣接して設けられた押圧部50と、押圧部を挟んでマスク組立体の反対側に設けられた蒸着源を備える。マスク組立体は、枠状のマスクフレームと、第1中空部を覆う被蒸着対象物保持部に沿うマスクとを有し、押圧部は、本体部と、第1当接部とを有し、本体部は、被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第1方向から見て被蒸着対象物より小さい中空部である第2中空部と、マスクに沿って延設された対向面を有する。本体部は、マスクと被蒸着対象物との間に隙間がある第1形態と、第1当接部がマスクを押し上げてマスクを被蒸着対象物に押圧する第2形態との間で移動可能である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
板状の被蒸着対象物が当接する当接面を有する板状の被蒸着対象物保持部と、
前記当接面に隣接して設けられたマスク組立体と、
前記マスク組立体を挟んで前記被蒸着対象物の反対側に、前記マスク組立体に隣接して設けられた押圧部と、
前記押圧部を挟んで前記マスク組立体の反対側に設けられた蒸着源と、
を備え、
前記マスク組立体は、枠状のマスクフレームと、前記マスクフレームの中空部である第１中空部を覆うように前記被蒸着対象物保持部に沿って設けられたマスクと、を有し、
前記押圧部は、本体部と、前記本体部に設けられている第１当接部と、を有し、
前記本体部は、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物より小さい中空部である第２中空部と、前記マスクに沿って延設された対向面を有し、
前記第１当接部は、前記第１方向に沿って見たときに前記被蒸着対象物と重なるように前記対向面に設けられており、
前記本体部は、前記マスクと前記被蒸着対象物との間に隙間がある第１形態と、前記第１当接部が前記マスクを押し上げて前記マスクを前記被蒸着対象物に押圧する第２形態との間で前記第１方向に移動可能である
ことを特徴とする蒸着装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記第１当接部は、前記対向面から突出するように、前記対向面に形成された溝に設けられた弾性部材である
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記第１当接部は、前記対向面に設けられたリブ状の凸部であり、
前記本体部は、前記第２中空部が設けられた板状部と、前記板状部に設けられており、前記第１方向に延設されたシャフトと、前記第１方向に移動可能な昇降軸と、前記シャフトと前記昇降軸との間に設けられた第１弾性部材とを有する
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記本体部は、前記板状部と前記シャフトとの間に設けられた球面軸受を有する
ことを特徴とする請求項３に記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記当接面は、前記被蒸着対象物に向けて凸となる曲面を有する、又は、前記被蒸着対象物に向けて凸となる突起を有する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記押圧部は、前記第２中空部を横切るように前記本体部に設けられた棒状のブリッジと、前記ブリッジに設けられた押圧部材と、を有し、
前記ブリッジは、前記対向面よりも前記マスクから離れた位置に、前記マスクと略平行に設けられており、
前記押圧部材は、前記マスクに当接する第２当接部を有し、
前記第２当接部は、前記対向面よりも前記マスク側に位置する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記押圧部材は、前記第２当接部を前記第１方向に移動させる第２弾性部材を有する
ことを特徴とする請求項６に記載の蒸着装置。
【請求項８】
板状の被蒸着対象物を、板状の被蒸着対象物保持部の当接面に当接させる保持ステップと、
前記当接面に隣接して設けられ、枠状のマスクフレーム及びマスクを有するマスク組立体を、前記マスク組立体を挟んで前記被蒸着対象物の反対側に、前記マスク組立体に隣接して設けられた押圧部により押圧して前記被蒸着対象物に前記マスクを密着させる押圧ステップと、
前記押圧部を挟んで前記マスク組立体の反対側に設けられた蒸着源から気化した蒸着材を前記被蒸着対象物に向けて噴射する蒸着ステップと、
を含み、
前記マスクは、前記マスクフレームの中空部である第１中空部を覆うように前記被蒸着対象物保持部に沿って設けられており、
前記押圧部は、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物より小さい中空部である第２中空部と、前記マスクに沿って延設された対向面を有する本体部と、前記本体部に設けられている第１当接部と、を有し、
前記第１当接部は、前記第１方向に沿って見たときに前記被蒸着対象物と重なるように前記対向面に設けられており、
前記押圧ステップでは、前記マスクと前記被蒸着対象物との間に隙間がある状態から、前記本体部を前記第１方向に移動させて前記第１当接部により前記マスクを押し上げて、前記被蒸着対象物に前記マスクを密着させる
ことを特徴とする蒸着方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置及び蒸着方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、所定の蒸着パターンを有するマスクを介して蒸着材料を基板に蒸着して有機ＥＬデバイスを製造する有機ＥＬデバイス製造方法において、所定間隔で形成された所定の蒸着パターンの所定間隔の部分を押し付けて蒸着を行う有機ＥＬデバイス製造装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－２４７０４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
有機ＥＬデバイスの製造に、マスクを用いて薄膜の蒸着パターンを形成する真空蒸着法が一般的に用いられている。蒸着において、マスクの密着性は成膜パターンの品質にとって重要であり、マスクと基板とが密着していないと、隙間から蒸着分子が回り込み、蒸着パターンの輪郭がぼやけてしまうという問題がある。特に、高精細マスク（ＦＭＭ）を用いて超小型デバイスの蒸着を行う場合には、パターンが小さく、またパターン間の間隔が狭いため、これまで以上に基板とマスクとの密着性が重要である。
【０００５】
特許文献１に記載の発明は、マスクフレームが基板に接触するため、マスクフレームの平面度が大きく影響する。つまり、たとえマスク押付機構を用いてマスクを基板に密着させようとしても、マスクフレームの凹凸によりマスクフレームと基板との隙間があいてしまうため、この隙間によりマスクと基板とを密着させることができない。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、マスクフレームの平面度の影響を受けずにマスクと基板とを密着させることができる蒸着装置及び蒸着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る蒸着装置は、例えば、板状の被蒸着対象物が当接する当接面を有する板状の被蒸着対象物保持部と、前記当接面に隣接して設けられたマスク組立体と、前記マスク組立体を挟んで前記被蒸着対象物の反対側に、前記マスク組立体に隣接して設けられた押圧部と、前記押圧部を挟んで前記マスク組立体の反対側に設けられた蒸着源と、を備え、前記マスク組立体は、枠状のマスクフレームと、前記マスクフレームの中空部である第１中空部を覆うように前記被蒸着対象物保持部に沿って設けられたマスクと、を有し、前記押圧部は、本体部と、前記本体部に設けられている第１当接部と、を有し、前記本体部は、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物より小さい中空部である第２中空部と、前記マスクに沿って延設された対向面を有し、前記第１当接部は、前記第１方向に沿って見たときに前記被蒸着対象物と重なるように前記対向面に設けられており、前記本体部は、前記マスクと前記被蒸着対象物との間に隙間がある第１形態と、前記第１当接部が前記マスクを押し上げて前記マスクを前記被蒸着対象物に押圧する第２形態との間で前記第１方向に移動可能であることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る蒸着装置によれば、マスクと被蒸着対象物との間に隙間がある第１形態と、第１当接部がマスクを押し上げてマスクを被蒸着対象物に押圧する第２形態との間で本体部が第１方向に移動可能である。これにより、マスクフレームの平面度の影響を受けずにマスクと基板とを密着させることができる。
【０００９】
なお、前記第１中空部を、前記被蒸着対象物保持部の延設方向と直交する第１方向から見て前記被蒸着対象物保持部より大きくし、マスクフレームが被蒸着対象物に当接しないようにしてもよい。
【００１０】
前記第１当接部は、前記対向面から突出するように、前記対向面に形成された溝に設けられた弾性部材であってもよい。これにより、マスクが被蒸着対象物に押圧するときに第１当接部が弾性変形することで、被蒸着対象物や被蒸着対象物保持部の変形や破損を防止することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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