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公開番号2024005996
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-17
出願番号2022106518
出願日2022-06-30
発明の名称透明導電性フィルムの製造方法
出願人日東電工株式会社
代理人個人,個人
主分類C23C 14/08 20060101AFI20240110BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】生産性に優れる透明導電層を形成できる透明導電性フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】透明導電性フィルム3の製造方法は、長尺の基材1を準備する第1工程と、真空雰囲気下で、基材1の厚み方向一方面に、透明導電層2を形成する第2工程と、真空雰囲気下で、加熱ロール22を用いて、透明導電層2を加熱する第3工程とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
長尺の基材を準備する第１工程と、
真空雰囲気下で、前記基材の厚み方向一方面に、透明導電層を形成する第２工程と、
真空雰囲気下で、加熱ロールを用いて、前記透明導電層を加熱する第３工程とを備える、透明導電性フィルムの製造方法。
続きを表示（約 80 文字）【請求項２】
前記第１工程、前記第２工程および前記第３工程が、ロールトゥロール方式で実施される、請求項１に記載の透明導電性フィルムの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電性フィルムの製造方法に関する。
続きを表示（約 990 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、ロールトゥロール方式により、基材フィルム上に透明導電層を積層して、導電性フィルムを製造する方法が知られている。
【０００３】
このような方法として、例えば、ロールトゥロール方式により、長尺の透明フィルム基材を搬送しながら、真空雰囲気下、かつ、アルゴンガスの存在下で、非晶質の透明導電層をスパッタリングにより形成して、その後、真空雰囲気下で、非晶質の透明導電層が形成された透明フィルム基材を、赤外線ヒーターで加熱して、透明導電層を結晶化させ、透明導電性フィルムを製造する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－０５６４２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、透明導電性フィルムの製造方法には、より一層、高い生産性が要求される。
【０００６】
本発明は、生産性に優れる透明導電層を形成できる透明導電性フィルムの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明［１］は、長尺の基材を準備する第１工程と、真空雰囲気下で、前記基材の厚み方向一方面に、透明導電層を形成する第２工程と、真空雰囲気下で、加熱ロールを用いて、前記透明導電層を加熱する第３工程とを備える、透明導電性フィルムの製造方法である。
【０００８】
本発明［２］は、前記第１工程、前記第２工程および前記第３工程が、ロールトゥロール方式で実施される、上記［１］に記載の透明導電性フィルムの製造方法を含んでいる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の透明導電性フィルムの製造方法では、第３工程において、真空雰囲気下で、加熱ロールを用いて、透明導電層を加熱する。これにより、透明導電層を十分に結晶化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、本発明の透明導電性フィルムの製造方法の一実施形態で用いられるフィルム製造装置の一実施形態の概略図を示す。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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