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公開番号2024055603
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2022162667
出願日2022-10-07
発明の名称脈動低減装置、冷却装置、リソグラフィー装置および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240411BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】冷却装置が組み込まれる装置の運用効率の向上に有利な技術を提供する。
【解決手段】脈動低減装置は、液体を循環させるためのポンプが設けられた循環経路に連通するように配置され、前記循環経路における液体の脈動が低減されるように液体および気体を貯留する緩衝タンクと、前記緩衝タンクの中の気体の量を調整するための調整機構と、前記緩衝タンクの中の液体の液面の高さを検出する検出器と、前記検出器の出力に基づいて前記液面の高さの変化を推定する演算器と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液体を循環させるためのポンプが設けられた循環経路に連通するように配置され、前記循環経路における液体の脈動が低減されるように液体および気体を貯留する緩衝タンクと、
前記緩衝タンクの中の気体の量を調整するための調整機構と、
前記緩衝タンクの中の液体の液面の高さを検出する検出器と、
前記検出器の出力に基づいて前記液面の高さの変化を推定する演算器と、
を備えることを特徴とする脈動低減装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記演算器は、前記液面の高さが所定高さになるタイミングを推定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の脈動低減装置。
【請求項３】
前記演算器は、前記検出器の出力に基づいて前記タイミングを随時更新する、
ことを特徴とする請求項２に記載の脈動低減装置。
【請求項４】
前記演算器は、前記液面の高さが前記所定高さになる前記タイミングと、前記緩衝タンクの中の気体の量を調整する作業が許容されるかどうかを示す情報とに基づいて、前記調整機構による前記緩衝タンクの中の気体の量の調整を許容する、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の脈動低減装置。
【請求項５】
前記演算器は、前記液面の高さが前記所定高さになる前記タイミングと、前記緩衝タンクの中の気体の量を調整する作業が許容されるかどうかを示す情報とに基づいて、前記緩衝タンクの中の気体の量が調整されるように前記調整機構を制御する、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の脈動低減装置。
【請求項６】
前記演算器は、前記液面の高さの変化に基づいて、前記調整機構によって前記緩衝タンクの中の気体の量を調整するメンテナンスのタイミング、および、前記メンテナンスにおいて前記液面の高さを調整する際の前記液面の目標高さを決定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の脈動低減装置。
【請求項７】
前記演算器は、前記タイミングおよび前記目標高さに応じて、前記メンテナンスのための作業の少なくとも一部の実行を制御する、
ことを特徴とする請求項６に記載の脈動低減装置。
【請求項８】
前記演算器は、前記液面の高さの変化が増加傾向を示す場合には、前記液面の高さが所定範囲の上限に到達するタイミングを推定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の脈動低減装置。
【請求項９】
前記演算器は、前記液面の高さの変化が減少傾向を示す場合には、前記液面の高さが所定範囲の下限に到達するタイミングを推定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の脈動低減装置。
【請求項１０】
前記演算器は、前記液面の高さの変化が減少傾向を示した後に増加傾向を示す場合には、前記減少傾向から前記増加傾向に転じた後に、前記液面の高さが所定範囲の上限に到達するタイミングを推定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の脈動低減装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、脈動低減装置、冷却装置、リソグラフィー装置および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
産業機器において振動の影響を抑制することは、産業機器の性能を維持するために重要である。リソグラフィー装置を例にとると、近年の半導体素子の微細化に伴い、より高い性能が要求されている。例えば、リソグラフィー装置においては、基板と原版との位置合わせ精度や、基板への原版のパターンの転写精度等をより高度化する必要がある。リソグラフィー装置の性能を確保するためには、装置内の各振動源が発生する振動の影響を抑制するとともに、装置への振動伝達を防ぐ必要がある。振動の原因の一例として脈動を挙げることができる。脈動は、ポンプによって発生する圧力変動である。種々の構成要素を冷却するための液冷循環系を備えるリソグラフィー装置では、ポンプの脈動による振動伝達が問題となる。
【０００３】
脈動低減装置としては、液体の循環経路の途中に液体と気体が貯留される空気室を設け、空気室内の空気を緩衝体として利用することで、圧力変動を抑制する手法が実用化されている。しかし、空気室の液面は、液体への気体の溶解、気体の漏洩、液体の気化等によって時間経過とともに変動する。そのため、脈動低減効果を維持するためには、液面を一定の範囲内に維持することが必要である。特許文献１には、液面が上限に達したことを検知する第１液面センサ、および、液面が下限に達したことを検知する第２液面センサを設けて、これらの液面センサの検出信号に基づいて液面を所定の範囲内に制御することが記載されている。しかしながら、特許文献１には、液面の変化を推定することは記載も示唆もされていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－２５８２１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された技術では、液面が上限に達したこと、又は、液面が下限に達したことに応答して液面の制御のための動作が実行されるに過ぎないので、液面の制御のための動作のタイミングを予測することができない。したがって、産業機器が製品の製造のために動作しているときに液面の制御のためのメンテナンスが突発的に要求され、これにより製造工程が停止される可能性がある。これにより、産業機器の運用効率が低下しうる。
【０００６】
本発明は、冷却装置が組み込まれる装置の運用効率の向上に有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの側面は、脈動低減装置に係り、前記脈動低減装置は、液体を循環させるためのポンプが設けられた循環経路に連通するように配置され、前記循環経路における液体の脈動が低減されるように液体および気体を貯留する緩衝タンクと、前記緩衝タンクの中の気体の量を調整するための調整機構と、前記緩衝タンクの中の液体の液面の高さを検出する検出器と、前記検出器の出力に基づいて前記液面の高さの変化を推定する演算器と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、冷却装置が組み込まれる装置の運用効率の向上に有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態の冷却装置および脈動低減装置の構成を示す図。
脈動低減装置の第１動作例を示す図。
脈動低減装置の第２動作例を示す図。
脈動低減装置の第３動作例を示す図。
図５の工程Ｓ２１０の具体例を示す図。
緩衝タンクの中の液体の液面の高さの変化の傾向の一例を示す図。
緩衝タンクの中の液体の液面の高さの変化の傾向の一例を示す図。
緩衝タンクの中の液体の液面の高さの変化の傾向の一例を示す図。
図８に示された例において次のメンテナンスにおける目標高さを決定する例を示す図。
第２実施形態の冷却装置および脈動低減装置の構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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