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公開番号2024054715
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-17
出願番号2022161126
出願日2022-10-05
発明の名称研磨装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類B24B 37/00 20120101AFI20240410BHJP(研削;研磨)
要約【課題】流路に残存した研磨液に起因して流路に詰まりが発生することを抑制できるとともに、仮に流路に詰まりが発生した場合に、この詰まりの発生を検出することができる技術を提供する。
【解決手段】研磨装置1は、制御装置90を備え、制御装置90は、研磨機10が研磨した基板Wfの枚数が所定枚数に達した場合に、洗浄液を流路70aに流通させ、次いで、研磨液を流路70aに流通させる、洗浄処理と、洗浄液が流路を流通しているときに、センサ60,61の検出した洗浄液の圧力又は流量に基づいて、流路に詰まりが発生したことを検出する、詰まり検出処理と、を実行する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を研磨する研磨機と、
研磨液又は洗浄液を前記研磨機に供給する流路と、
前記流路に配置されるとともに、前記研磨液と前記洗浄液とを切換えて前記流路に流通させる切換装置と、
前記流路を流通する前記洗浄液の圧力又は流量を検出するセンサと、
制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記研磨機が研磨した前記基板の枚数が所定枚数に達した場合に、前記切換装置を制御して前記洗浄液を前記流路に流通させ、次いで、前記切換装置を制御して前記研磨液を前記流路に流通させる、洗浄処理と、
前記洗浄液が前記流路を流通しているときに、前記センサの検出した前記洗浄液の圧力又は流量に基づいて、前記流路に詰まりが発生したことを検出する、詰まり検出処理と、を実行する、研磨装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記流路における前記切換装置よりも下流の箇所に配置されて、前記流路を流通する前記洗浄液の流量を所定範囲内に調整する流量調整装置をさらに備え、
前記センサは、前記流路における前記流量調整装置よりも下流の箇所に配置された圧力センサである、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記洗浄液の流量が前記所定範囲内に入っている場合に前記圧力センサが検出した圧力の値の最大値、又は、平均値、又は、最小値に基づいて、前記流路に詰まりが発生したことを検出する、請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記制御装置は、前記圧力センサが検出した圧力の値が予め設定された第１閾値以上の場合に、前記流路に詰まりが発生したと判定し、
前記制御装置は、前記圧力センサが検出した圧力の値が前記第１閾値以上であり、且つ、前記第１閾値よりも大きい第２閾値よりも小さい場合に、前記流路の詰まり度合が小さいと判定し、前記圧力センサが検出した圧力の値が前記第２閾値以上の場合に、前記流路の詰まり度合が大きいと判定する、請求項２に記載の研磨装置。
【請求項５】
報知装置をさらに備え、
前記制御装置は、前記詰まり検出処理において前記流路に詰まりが発生したことが検出された場合に、前記報知装置に、前記流路に詰まりが発生したことを報知させる、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記制御装置は、前記流路の詰まり度合が大きいと判定した場合に、前記研磨機による前記基板の研磨を禁止する、請求項４に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記流路は単一の配管を備え、
前記流路の下流端は、前記配管の端部によって構成されている、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記流路は、単一の配管と、前記配管の下流端に接続された、少なくとも１つの吐出口を有する吐出ノズルと、を備える、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記制御装置は、前記研磨機が前記基板を研磨する毎に、前記研磨機が研磨した前記基板の枚数を記憶し、
前記制御装置は、前記洗浄液を前記流路に流通させた場合に、記憶されている前記基板
の枚数をリセットしてゼロにする、請求項１に記載の研磨装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板を研磨する研磨装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような研磨装置は、基板を研磨する研磨機と、この研磨機に研磨液を供給するための流路と、を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－１６１９２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような従来の研磨装置の場合、研磨機が研磨した基板の枚数が多くなったときに、例えば流路に残存した研磨液が乾燥して堆積物となって流路に一部固着することで、流路に部分的な詰まりが発生し、吐出した砥液が乱れることで研磨性能が低下するおそれがある。また、配管下流に流路より細い吐出口をもつ吐出ノズルを使用する場合、研磨液が吐出口に残留しやすいため、詰まりがより発生しやすい。また、上述したような従来の研磨装置の場合、この流路（吐出ノズルを含む）に詰まりが発生したことを検出できるような構成になっていなかった。この場合、堆積物が成長して、流路が完全に閉塞するおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記のことを鑑みてなされたものであり、流路に残存した研磨液に起因して流路に詰まりが発生することを抑制できるとともに、仮に流路に詰まりが発生した場合に、この詰まりの発生を検出することができる技術を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（態様１）
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る研磨装置は、基板を研磨する研磨機と、研磨液又は洗浄液を前記研磨機に供給する流路と、前記流路に配置されるとともに、前記研磨液と前記洗浄液とを切換えて前記流路に流通させる切換装置と、前記流路を流通する前記洗浄液の圧力又は流量を検出するセンサと、制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記研磨機が研磨した前記基板の枚数が所定枚数に達した場合に、前記切換装置を制御して前記洗浄液を前記流路に流通させ、次いで、前記切換装置を制御して前記研磨液を前記流路に流通させる、洗浄処理と、前記洗浄液が前記流路を流通しているときに、前記センサの検出した前記洗浄液の圧力又は流量に基づいて、前記流路に詰まりが発生したことを検出する、詰まり検出処理と、を実行する。
【０００７】
この態様によれば、研磨機が研磨した基板の枚数が所定枚数に達した場合に、流路を洗浄液で洗浄することができる。これにより、流路に残存した研磨液に起因して流路に詰まりが発生することを抑制することができる。さらに、この態様によれば、仮に、流路に詰まりが発生した場合であっても、詰まり検出処理によって、この詰まりの発生を検出することができる。
【０００８】
（態様２）
上記の態様１は、前記流路における前記切換装置よりも下流の箇所に配置されて、前記
流路を流通する前記洗浄液の流量を所定範囲内に調整する流量調整装置をさらに備え、前記センサは、前記流路における前記流量調整装置よりも下流の箇所に配置された圧力センサであってもよい。
【０００９】
この態様によれば、上記の流量調整装置を備えているので、流路に詰まりが発生した場合に、流路における流量調整装置よりも下流の箇所の圧力を効果的に上昇させることができる。これにより、流量調整装置よりも下流の箇所に配置された圧力センサによって、この流路の圧力の上昇を効果的に検出することができる。この結果、流路に詰まりが発生したことを効果的に検出することができる。
【００１０】
（態様３）
上記の態様２において、前記制御装置は、前記洗浄液の流量が前記所定範囲内に入っている場合に前記圧力センサが検出した圧力の値の最大値、又は、平均値、又は、最小値に基づいて、前記流路に詰まりが発生したことを検出してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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