特許ウォッチ

公開番号2024039510
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-22
出願番号2022144119
出願日2022-09-09
発明の名称取付方法及び切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 45/00 20060101AFI20240314BHJP(研削;研磨)
要約【課題】加工前に必要とされる作業に係る手間を抑制することができること。
【解決手段】取付方法は、切削ブレードを収容する収容部が複数形成された収容トレイに複数の切削ブレードを収容する収容ステップ1001と、読み取りユニットで収容トレイに収容された複数の切削ブレードの識別マークを読み取り、切削装置に取り付けるべき切削ブレードが収容トレイのどの収容部に収容されているかを特定する交換品位置特定ステップ1002と、複数の切削ブレードを収容した収容トレイを消耗品交換位置に位置づける位置づけステップ1006と、位置づけステップ1006を実施した後、交換品位置特定ステップ1002で特定した位置に基づいて収容トレイ上から切削装置に取り付けるべき切削ブレードを交換装置で切削装置に取り付ける取付けステップ1008と、を備える。
【選択図】図13
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、該切削ブレードを含む消耗品を交換する交換機構と、を備えた切削装置で消耗品を該切削装置に取付ける取付方法であって、
消耗品は識別マークを有し、
消耗品を収容する収容部が複数形成された収容トレイに複数の消耗品を収容する収容ステップと、
読み取りユニットで該収容トレイに収容された複数の消耗品の該識別マークを読み取り、該切削装置に取り付けるべき消耗品が該収容トレイのどの収容部に収容されているかを特定する交換品位置特定ステップと、
複数の消耗品を収容した該収容トレイを消耗品交換位置に位置づける位置づけステップと、
該位置づけステップを実施した後、該交換品位置特定ステップで特定した位置に基づいて該収容トレイ上から該切削装置に取り付けるべき消耗品を該交換機構で該切削装置に取り付ける取付けステップと、を備えた取付方法。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
該収容ステップでは少なくとも１の収容部に消耗品を収容しない状態で複数の消耗品を該収容トレイに収容し、
該位置づけステップを実施した後、該取付けステップを実施する前に、該交換機構で該切削装置から使用済みの消耗品を取り外し、該収容トレイの消耗品が収容されていない該収容部に収容する取外しステップを備えた、請求項１に記載の取付方法。
【請求項３】
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、該切削ブレードを含む消耗品を交換する交換機構と、少なくとも該切削ユニットと該交換機構を制御するコントローラと、を備えた切削装置であって、
複数の消耗品を収容できる収容トレイに収容された消耗品の識別マークを読み取る読み取りユニットと、を備え、
該コントローラは、該切削装置に取り付けるべき消耗品の情報を記憶する記憶部と、
該読み取りユニットで読み取った該識別マークをもとに該切削装置に取り付けるべき消耗品が該収容トレイのどの収容部に収容されているかを特定し記憶する交換品位置記憶部と、を含み、
該交換品位置記憶部で記憶した位置の消耗品を該交換機構が該切削装置に取り付ける、切削装置。
【請求項４】
被加工物を収容するカセットが載置される昇降可能なカセット載置台と、
該カセットの下方に設けられ該カセット載置台とともに昇降し、複数の消耗品を収容できる収容トレイを収容する収容室と、を備え、
該読み取りユニットは該収容室内に配設される、請求項３に記載の切削装置。
【請求項５】
消耗品は該識別マークが該収容トレイに当接するよう該収容トレイに収容され、
該収容トレイは収容された消耗品の該識別マークに対応する領域が透明部材から構成され、
該読み取りユニットは該収容トレイを介して該識別マークを撮像する撮像カメラを有する、請求項３または請求項４に記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、消耗品の取付方法及び消耗品を含む切削装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハを切削する加工装置として切削ブレードを備えた切削装置が広く利用されている。切削ブレードは、切削によって消耗する消耗品であり、切削ブレードが消耗した場合には新品の切削ブレードに交換する必要がある。
【０００３】
作業者が切削ブレードを交換する際に新品の切削ブレードを破損させてしまう事を防止するために、例えば自動で切削ブレードを交換する交換装置を備えた切削装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、特許文献１では、交換装置を備えた切削装置において複数の消耗品を収容する収容トレイが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－２０４９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１等に示された交換装置を備えた切削装置は、予め収容トレイの各収容部に収容した消耗品の情報を１つずつ登録しておき、登録した情報をもとに装置に取り付けるべき消耗品を交換装置が取りにいっていた。しかし、消耗品毎に情報を登録する等の加工前に必要とされる作業に係る手間がかかり、改善が切望されていた。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工前に必要とされる作業に係る手間を抑制することができる取付方法及び切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の取付方法は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、該切削ブレードを含む消耗品を交換する交換機構と、を備えた切削装置で消耗品を該切削装置に取付ける取付方法であって、消耗品は識別マークを有し、消耗品を収容する収容部が複数形成された収容トレイに複数の消耗品を収容する収容ステップと、読み取りユニットで該収容トレイに収容された複数の消耗品の該識別マークを読み取り、該切削装置に取り付けるべき消耗品が該収容トレイのどの収容部に収容されているかを特定する交換品位置特定ステップと、複数の消耗品を収容した該収容トレイを消耗品交換位置に位置づける位置づけステップと、該位置づけステップを実施した後、該交換品位置特定ステップで特定した位置に基づいて該収容トレイ上から該切削装置に取り付けるべき消耗品を該交換機構で該切削装置に取り付ける取付けステップと、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
前記取付方法では、該収容ステップでは少なくとも１の収容部に消耗品を収容しない状態で複数の消耗品を該収容トレイに収容し、該位置づけステップを実施した後、該取付けステップを実施する前に、該交換機構で該切削装置から使用済みの消耗品を取り外し、該収容トレイの消耗品が収容されていない該収容部に収容する取外しステップを備えても良い。
【０００９】
本発明の切削装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、該切削ブレードを含む消耗品を交換する交換機構と、少なくとも該切削ユニットと該交換機構を制御するコントローラと、を備えた切削装置であって、複数の消耗品を収容できる収容トレイに収容された消耗品の識別マークを読み取る読み取りユニットと、を備え、該コントローラは、該切削装置に取り付けるべき消耗品の情報を記憶する記憶部と、該読み取りユニットで読み取った該識別マークをもとに該切削装置に取り付けるべき消耗品が該収容トレイのどの収容部に収容されているかを特定し記憶する交換品位置記憶部と、を含み、該交換品位置記憶部で記憶した位置の消耗品を該交換機構が該切削装置に取り付けることを特徴とする。
【００１０】
前記切削装置では、被加工物を収容するカセットが載置される昇降可能なカセット載置台と、該カセットの下方に設けられ該カセット載置台とともに昇降し、複数の消耗品を収容できる収容トレイを収容する収容室と、を備え、該読み取りユニットは該収容室内に配設されても良い。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許