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公開番号2024053802
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-16
出願番号2022160230
出願日2022-10-04
発明の名称ワークの加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類B24B 27/06 20060101AFI20240409BHJP(研削;研磨)
要約【課題】表面に感光性部材を配置したワークを、感光性部材に光が当たらないようにした状態で加工する。
【解決手段】表面(11)に感光性部材(14)を配置したワーク(10)を加工するワークの加工方法であって、ワークの表面全面に遮光性の樹脂(15)を配置する遮光性樹脂配置工程と、遮光性の樹脂を配置したワークを加工する加工工程と、を含む。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
表面に感光性部材を配置したワークを加工するワークの加工方法であって、
ワークの表面全面に遮光性の樹脂を配置する遮光性樹脂配置工程と、
該遮光性の樹脂を配置した該ワークを加工する加工工程と、からなる、ワークの加工方法。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
該ワークは、表面にストリートを配置していて、
該加工工程は、
該樹脂を介してチャックテーブルに該ワークを保持させる保持工程と、
表面の該ストリートに沿って裏面側から切削ブレードを切り込ませ切削する切削工程と、からなる、請求項１記載のワークの加工方法。
【請求項３】
該ワークは、表面にストリートを配置していて、
該加工工程は、
該ワークの裏面全面にシート状の支持部材を貼着する支持部材貼着工程と、
該支持部材を介してチャックテーブルに該ワークを保持させる保持工程と、
表面の該ストリートに沿って表面側から切削ブレードを切り込ませ切削する切削工程と、からなる、請求項１記載のワークの加工方法。
【請求項４】
該加工工程は、
該樹脂を介してチャックテーブルに該ワークを保持させる保持工程と、
該ワークの裏面を研削砥石で研削する研削工程と、からなる、請求項１記載のワークの加工方法。
【請求項５】
該遮光性樹脂配置工程は、
遮光性樹脂シートを準備するシート準備工程と、
該遮光性樹脂シートをワークの表面に熱溶着にて貼着するシート貼着工程と、からなる、請求項１記載のワークの加工方法。
【請求項６】
該遮光性樹脂配置工程は、
該ワークの表面全面に遮光性の液状樹脂を塗布する塗布工程と、
該液状樹脂を硬化させる硬化工程と、からなる、請求項１記載のワークの加工方法。
【請求項７】
該遮光性樹脂配置工程は、
該ワークの表面全面に遮光性の液状樹脂を塗布する塗布工程と、
該液状樹脂を硬化させる硬化工程と、
硬化した樹脂の上面を研削砥石で研削またはバイトで旋削し該ワークの表面に平行にする樹脂上面加工工程と、からなる、請求項１記載のワークの加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性部材を配置したワークの加工方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
光通信、光情報処理などに用いる光導波路を製造する際に、常温で固形となる感光性樹脂を用いることがある（例えば、特許文献１）。また、基板の表面上に複数の接触端子を配置したプローブカードを製造する際に、感光性ガラス基板を用いることがある（例えば、特許文献２、３）。このような製品の製造では、感光性部材を配置したワークに対して所定の加工を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－２１５５３１号公報
特開平１－２８７４８４号公報
特開２００８－２９２５００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
感光性部材を表面に配置したワークに対する加工（例えば、切削ブレードによる切削など）を行う際には、感光性部材に光が照射されないようにする必要がある。
【０００５】
例えば、感光性部材が紫外線硬化型の樹脂である場合、紫外線を吸収するイエロールームを準備して、イエロールーム内でワークに対して加工を行うことで、ワーク上の感光性部材に紫外線が照射されることを防ぐ。しかし、加工用装置を備えた広い空間において、イエロールームのような特別な環境を準備することは、多くのコストがかかるという問題があった。
【０００６】
また、イエロールームなどを備えない加工環境下では、感光性部材に光が当たらない暗所で加工を行うなどの対策を行っており、加工作業性が悪いという問題があった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、表面に感光性部材を配置したワークを、感光性部材に光が当たらないようにした状態で加工する加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、表面に感光性部材を配置したワークを加工するワークの加工方法であって、ワークの表面全面に遮光性の樹脂を配置する遮光性樹脂配置工程と、該遮光性の樹脂を配置した該ワークを加工する加工工程と、からなることを特徴とする。
【０００９】
該ワークは、表面にストリートを配置していて、該加工工程は、該樹脂を介してチャックテーブルに該ワークを保持させる保持工程と、表面の該ストリートに沿って裏面側から切削ブレードを切り込ませ切削する切削工程と、からなる。
【００１０】
あるいは、該ワークは、表面にストリートを配置していて、該加工工程は、該ワークの裏面全面にシート状の支持部材を貼着する支持部材貼着工程と、該支持部材を介してチャックテーブルに該ワークを保持させる保持工程と、表面の該ストリートに沿って表面側から切削ブレードを切り込ませ切削する切削工程と、からなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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