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公開番号2024050022
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-10
出願番号2022156586
出願日2022-09-29
発明の名称切削装置及び切削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 55/02 20060101AFI20240403BHJP(研削;研磨)
要約【課題】被加工物への切削屑の付着を抑制することができること。
【解決手段】切削装置1は、被加工物200を保持する保持テーブルと、保持テーブルで保持した被加工物200を切削する切削ブレード21が装着されるスピンドル23を有した切削ユニット20と、切削ブレード21に切削液300を供給する切削液供給ユニット25と、を備え、切削液供給ユニット25は、切削ブレード21を挟んで互いに対向して配設され、切削ブレード21に切削液300を供給し加工進行方向13に延在する樋を形成する一対の樋形成ノズル27と、加工進行方向13上流側で切削ブレード21の外周側から切削ブレード21に向かって切削液300を供給する先端ノズル26と、を有し、先端ノズル26は、切削ブレード21が被加工物200に切り込む加工点213に向かって切削液300を供給し、樋によって切削液300を加工進行方向13下流側へと導く。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持した被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、該切削ブレードに切削液を供給する切削液供給ユニットと、を備えた切削装置であって、
該切削液供給ユニットは、該切削ブレードを挟んで互いに対向して配設され、該切削ブレードの表面側と裏面側からそれぞれ切削液を供給し該切削液からなり加工送り方向に延在する樋を形成する一対の樋形成ノズルと、
該加工送り方向上流側で該切削ブレードの外周側から該切削ブレードに向かって切削液を供給する先端ノズルと、を有し、
該先端ノズルは、該切削ブレードが被加工物に切り込む加工点に向かって切削液を供給し、該樋によって切削液を該加工送り方向下流側の被加工物の外へと導く、切削装置。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
該樋形成ノズルから供給される切削液の角度は、水平方向から下向き４５度以上でかつ８５度以下である、請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
該樋形成ノズルから供給される切削液の量は、２．０Ｌ／ｍｉｎ以上でかつ３．０Ｌ／ｍｉｎ以下である、請求項１または請求項２に記載の切削装置。
【請求項４】
被加工物を切削する切削方法であって、
被加工物を保持テーブルで保持する保持ステップと、
回転する切削ブレードに対して該切削ブレードを挟んで互いに対向して配設された樋形成ノズルから該切削ブレードの表面側と裏面側にそれぞれ切削液を供給し切削液からなり加工送り方向に延在する樋を形成する樋形成ステップと、
該樋形成ステップを実施した後、該加工送り方向上流側で該切削ブレードの外周側から該切削ブレードに向かって先端ノズルから切削液を供給しつつ該保持テーブルで保持された被加工物を該切削ブレードで切削し、切削屑を含む切削液を該樋で該加工送り方向下流側の被加工物の外へと導く切削ステップと、を備えた切削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置及び切削方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、切削装置で固体撮像素子デバイスウェーハを切削する場合、異物がデバイスに付着するとデバイス不良となるため、切削で生じる切削屑を付着させないことが重要である。そこで、切削ブレードの外周を覆うブレードカバーに加工点における切削ブレードの回転方向側に切削ブレードと対応配置されたコンタミネーション除去部材が設けられた切削装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－２８９５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、近年ではハイブリッドボンディングと呼ばれるデバイス表面の電極同士を接合する接合方法が採用され始めている。ハイブリッドボンディングでは面と面での接合となるため、デバイス表面に異物が付着していると接合不良となるため、切削後のデバイスウェーハ表面に異物がないことが要求されている。
【０００５】
切削中に付着した切削屑等の異物は、デバイスウェーハ表面が一度乾燥してしまうと後に洗浄しても除去できない。そこで、切削中に異物の付着を極力防ぐことが切望されている。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示された切削装置を利用しても被加工物への切削屑の付着をなくすことは難しく、改善が切望されている。
【０００７】
本発明の目的は、被加工物への切削屑の付着を抑制することができる切削装置及び切削方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持した被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有した切削ユニットと、該切削ブレードに切削液を供給する切削液供給ユニットと、を備えた切削装置であって、該切削液供給ユニットは、該切削ブレードを挟んで互いに対向して配設され、該切削ブレードの表面側と裏面側からそれぞれ切削液を供給し該切削液からなり加工送り方向に延在する樋を形成する一対の樋形成ノズルと、該加工送り方向上流側で該切削ブレードの外周側から該切削ブレードに向かって切削液を供給する先端ノズルと、を有し、該先端ノズルは、該切削ブレードが被加工物に切り込む加工点に向かって切削液を供給し、該樋によって切削液を該加工送り方向下流側の被加工物の外へと導くことを特徴とする。
【０００９】
また、前記切削装置では、該樋形成ノズルから供給される切削液の角度は、水平方向から下向き４５度以上でかつ８５度以下であっても良い。
【００１０】
また、前記切削装置では、該樋形成ノズルから供給される切削液の量は、２．０Ｌ／ｍｉｎ以上でかつ３．０Ｌ／ｍｉｎ以下であっても良い。
（【００１１】以降は省略されています）

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