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公開番号2024053985
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-16
出願番号2022160540
出願日2022-10-04
発明の名称切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 49/12 20060101AFI20240409BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削装置における切削水噴射ノズルの位置を記録して所望の位置からズレていることをいち早く検知することで、品質管理を容易にするとともに切削不良を低減できる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削装置1は、切削ユニット20と、制御ユニット70と、切削ユニット20の切削水噴射ノズル26と切削ブレード21との撮像画像を形成する撮像ユニット110と、撮像ユニット110をこの撮像画像を撮像する撮像位置に位置付ける位置付け手段120と、を備える。制御ユニット70は、撮像ユニット110が撮像した撮像画像を記憶する記憶部71と、この撮像画像と予め記憶部71に記憶しておいた基準画像との間に所定以上の差異があるか否かを判定する判定部72と、判定部72にて所定以上の差異があると判定した場合に報知する報知部73と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を切削する切削ユニットと、制御ユニットと、を備える切削装置であって、
該切削ユニットは、
切削ブレードと、該切削ブレードを支持するマウントと、該マウントに連結されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに固定され該切削ブレードを覆うブレードカバーと、該ブレードカバーに配設され該切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する切削水噴射ノズルと、を備え、
該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとの撮像画像を形成する撮像ユニットと、
該撮像ユニットを該マウントと対面し該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとを撮像する撮像位置と、該マウントから離間した退避位置と、に位置付ける位置付け手段と、を更に有し、
該制御ユニットは、
所定のタイミングで該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとの撮像画像を形成し記憶する記憶部と、
所定のタイミングで形成された該撮像画像と、予め記憶部に記憶しておいた該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとの基準画像と、の間に所定以上の差異があるか否かを判定する判定部と、
該判定部にて所定以上の差異があると判定した場合に報知する報知部と、を備えることを特徴とする切削装置。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
該位置付け手段は、
切削ブレードを該マウントに着脱して交換する切削ブレード交換装置を更に備え、
該切削ブレード交換装置は、
該切削ブレードを保持する保持部と、該保持部を該マウントに対して進退自在に移動させる移動ユニットと、含むことを特徴とする、請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
該制御ユニットは、
該切削ブレード交換装置で切削ブレードを交換した後、該撮像ユニットを撮像位置に位置づけて該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとの撮像画像を形成し記憶部に記憶することを特徴とする、請求項２に記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物は、切削ブレードを備える切削装置によって個々のデバイスに分割される。こうした切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードが装着された切削手段と、から概ね構成されており、ウエーハを分割予定ラインに沿って高精度に切削することができる。
【０００３】
また、切削手段には、切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する切削水噴射ノズルが配設されており、切削ブレードの切刃外周部に切削水を噴射させて切削ブレードの切削点を冷却するとともに洗浄することで、切削ブレードによる切削効率の向上を図っている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－２７３５２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、切削ブレードに対する切削水噴射ノズルの位置が変わると加工精度が変わることから、被加工物の加工において不良が発生した際に切削水噴射ノズルの位置を確認することがある。しかしながら、もし切削水噴射ノズルの位置が何らかの理由で所望の位置からズレてしまっていたとしても、いつからズレていたのかを把握できないため、原因究明や対策の検討が困難になるという課題があった。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削装置における切削水噴射ノズルの位置を記録して所望の位置からズレていることをいち早く検知することで、品質管理を容易にするとともに切削不良を低減できる切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を切削する切削ユニットと、制御ユニットと、を備える切削装置であって、該切削ユニットは、切削ブレードと、該切削ブレードを支持するマウントと、該マウントに連結されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに固定され該切削ブレードを覆うブレードカバーと、該ブレードカバーに配設され該切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する切削水噴射ノズルと、を備え、該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとの撮像画像を形成する撮像ユニットと、該撮像ユニットを該マウントと対面し該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとを撮像する撮像位置と、該マウントから離間した退避位置と、に位置付ける位置付け手段と、を更に有し、該制御ユニットは、所定のタイミングで該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとの撮像画像を形成し記憶する記憶部と、所定のタイミングで形成された該撮像画像と、予め記憶部に記憶しておいた該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとの基準画像と、の間に所定以上の差異があるか否かを判定する判定部と、該判定部にて所定以上の差異があると判定した場合に報知する報知部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
該位置付け手段は、切削ブレードを該マウントに着脱して交換する切削ブレード交換装置を更に備え、該切削ブレード交換装置は、該切削ブレードを保持する保持部と、該保持部を該マウントに対して進退自在に移動させる移動ユニットと、含んでもよい。
【０００９】
該制御ユニットは、該切削ブレード交換装置で切削ブレードを交換した後、該撮像ユニットを撮像位置に位置づけて該切削水噴射ノズルと該切削ブレードとの撮像画像を形成し記憶部に記憶してもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、種々の好適なタイミングで撮像ユニットにより切削水噴射ノズルと切削ブレードとの撮像画像を保存して蓄積するとともに、判定部によりこの撮像画像と基準画像との間に所定以上の差異があるか否かの判定に基づいて切削水噴射ノズルの位置が所望の位置からズレてしまったか否かを判定し、切削水噴射ノズルの位置が所望の位置からズレてしまった場合には、報知部によりその旨を報知できる。このため、本発明は、切削水噴射ノズルの位置を記録して所望の位置からズレていることをいち早く検知することで、品質管理を容易にするとともに切削不良を低減できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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