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公開番号2024040571
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-26
出願番号2022145001
出願日2022-09-13
発明の名称研削ホイール
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24D 7/06 20060101AFI20240318BHJP(研削;研磨)
要約【課題】被加工物を研削中に研削ホイールの内側の様子を確認することが容易な研削ホイールを提供する。
【解決手段】被加工物を研削するための研削ホイールであって、円環状のホイール基台と、ホイール基台の一面に設けられた複数の研削砥石と、を備え、ホイール基台は、透明な材料からなる研削ホイールを提供する。この研削ホイールにおいては、ホイール基台が透明な材料からなる。そのため、この研削ホイールを利用する場合には、被加工物を研削中に研削ホイールの内側の様子、例えば、加工点に供給される研削液の多寡を確認することが容易になる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を研削するための研削ホイールであって、
一面と、該一面の裏面である反対面と、該一面と該反対面とを繋ぐ内側面及び外側面と、を含む円環状のホイール基台と、
該一面に設けられた複数の研削砥石と、を備え、
該ホイール基台は、透明な材料からなる研削ホイール。
続きを表示（約 220 文字）【請求項２】
該反対面には、金属層が設けられている請求項１に記載の研削ホイール。
【請求項３】
該反対面には、ボルトを螺合させるためのねじ穴が形成され、
該ねじ穴の側壁は、金属材料からなる請求項１に記載の研削ホイール。
【請求項４】
該内側面は、第１傾斜部を含み、
該外側面は、縦断面において該第１傾斜部と平行な第２傾斜部を含む請求項１乃至３のいずれかに記載の研削ホイール。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を研削するための研削ホイールに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されたウェーハ等の被加工物を複数のデバイスの境界に沿って分割することで製造される。
【０００３】
さらに、被加工物は、チップの小型化及び軽量化等を目的として、その分割前に薄化されることが多い。被加工物を薄化する方法としては、研削装置による被加工物の裏面側の研削が挙げられる。研削装置は、一般的に、被加工物の表面側を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に設けられ、かつ、研削ホイールが下端部に装着されたスピンドルとを備える。
【０００４】
研削ホイールは、一般的に、環状の溝が形成されている一面を有する環状のホイール基台と、それぞれの一端側が溝において固定されている複数の研削砥石とを含む。さらに、研削ホイールの内部には、複数の研削砥石と被加工物との接触界面（加工点）に純水等の研削液を供給するための流路が形成されることもある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
そして、研削装置においては、例えば、被加工物の表面側を保持するチャックテーブルとスピンドルの下端部に装着された研削ホイールとの双方が回転した状態で、被加工物の裏面に研削液を供給しながら被加工物の裏面に複数の研削砥石を接触させる。これにより、加工点に研削液が供給された状態で被加工物の裏面側が研削されて被加工物が薄化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１４－１２４６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
研削ホイールのホイール基台は、一般的に、アルミニウム等の金属材料からなる。そのため、被加工物を研削中に研削ホイールの内側の様子、例えば、加工点に供給される研削液の多寡を確認することは困難である。この点に鑑み、本発明は、被加工物を研削中に研削ホイールの内側の様子を確認することが容易な研削ホイールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、被加工物を研削するための研削ホイールであって、一面と、該一面の裏面である反対面と、該一面と該反対面とを繋ぐ内側面及び外側面と、を含む円環状のホイール基台と、該ホイール基台の一面に設けられた複数の研削砥石と、を備え、該ホイール基台は、透明な材料からなる研削ホイールが提供される。
【０００９】
さらに、本発明においては、該反対面には、金属層が設けられていることが好ましい。
【００１０】
また、本発明においては、該反対面には、ボルトを螺合させるためのねじ穴が形成され、該ねじ穴の側壁は、金属材料からなることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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