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公開番号2024035441
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-14
出願番号2022139895
出願日2022-09-02
発明の名称チャックテーブルの修正方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人
主分類B24B 41/06 20120101AFI20240307BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削装置からチャックテーブルを取り外すことなくチャックテーブルの保持面を再生できるチャックテーブルの修正方法を提供する。
【解決手段】研削用ブレード83を切削手段8に装着し、Z軸送り手段を作動して切削手段8をZ軸方向に相対的に加工送りして研削用ブレード83の先端QのZ軸方向の位置をチャックテーブル22の保持面23を研削して修正する研削位置に調整する先端位置調整工程と、研削用ブレード83がチャックテーブル22の回転中心Pを通過する位置に該Y軸送り手段又は該X軸送り手段を作動して調整する中心通過調整工程と、チャックテーブル22を回転すると共に、研削用ブレード83をX軸方向又はY軸方向に相対的に加工送りして保持面23を研削して平坦化する修正工程と、を含み構成される。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
ウエーハを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削ブレードを位置付けて切削加工を施す切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に加工送りするＹ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向に加工送りするＺ軸送り手段と、を含み構成された切削装置の該チャックテーブルの保持面を修正するチャックテーブル修正方法であって、
研削用ブレードを切削手段に装着し、該Ｚ軸送り手段を作動して切削手段をＺ軸方向に相対的に加工送りして該研削用ブレードの先端のＺ軸方向の位置を該チャックテーブルの保持面を研削して修正する研削位置に調整する先端位置調整工程と、
該研削用ブレードが該チャックテーブルの回転中心を通過する位置に該Ｙ軸送り手段又は該Ｘ軸送り手段を作動して調整する中心通過調整工程と、
該チャックテーブルを回転すると共に、該研削用ブレードをＸ軸方向又はＹ軸方向に相対的に加工送りして該保持面を研削して平坦化する修正工程と、
を含み構成されるチャックテーブルの修正方法。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
該中心通過調整工程において、
該Ｙ軸送り手段を作動して該チャックテーブルの回転中心のＹ座標に該研削用ブレードを位置付け、
該修正工程において、
該Ｘ軸送り手段を作動して該チャックテーブルの外周から該研削用ブレードを該チャックテーブルの回転中心を通過するように加工送りする請求項１に記載のチャックテーブルの修正方法。
【請求項３】
該中心通過調整工程において、
該Ｘ軸送り手段を作動して該チャックテーブルの回転中心のＸ座標に該研削用ブレードを位置付け、
該修正工程において、
該Ｙ軸送り手段を作動して該チャックテーブルの外周から該研削用ブレードを該チャックテーブルの回転中心を通過するように加工送りする請求項１に記載のチャックテーブルの修正方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置のチャックテーブルの保持面を修正するチャックテーブル修正方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、ウエーハを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削ブレードを位置付けて切削加工を施す切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に加工送りするＹ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向に加工送りするＺ軸送り手段と、を含み構成されている。
【０００４】
そして、切削手段に装着された切削ブレードの先端とチャックテーブルの保持面との接触によって原点位置を求める際に、チャックテーブルの保持面を構成するポーラス部を囲繞するＳＵＳで構成された枠体の上面に切削ブレードを接触させて、電気的導通を検出している（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－２５１５７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した特許文献１に記載の技術では、電気的導通を検出する際に高速回転させた切削ブレードを枠体の表面に接触させるため、電気的導通を繰り返すことで該枠体に多数の切削痕が形成されて表面が劣化し、電気的導通によって切削手段の原点位置を正確に検出するのが困難になるという問題がある。また、切削加工を繰り返し実施することでチャックテーブルのポーラス部の表面に切削屑（コンタミ）が付着して汚染されるという問題がある。このような問題に対処すべく、定期的に、又は任意のタイミングで、チャックテーブルの保持面を研削して平坦化する修正作業が実施されているが、従来においては、切削装置から該チャックテーブルを取り外し、別途用意した研削装置を使用して上記した修正作業を実施している。しかし、この修正方法では、切削装置におけるチャックテーブルの脱着作業があることに加え、別途用意された研削装置に搬送して表面を研削する必要があり、煩に堪えないという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、切削装置からチャックテーブルを取り外すことなくチャックテーブルの保持面を再生できるチャックテーブルの修正方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削ブレードを位置付けて切削加工を施す切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に加工送りするＹ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向に加工送りするＺ軸送り手段と、を含み構成された切削装置の該チャックテーブルの保持面を修正するチャックテーブル修正方法であって、研削用ブレードを切削手段に装着し、該Ｚ軸送り手段を作動して切削手段をＺ軸方向に相対的に加工送りして該研削用ブレードの先端のＺ軸方向の位置を該チャックテーブルの保持面を研削して修正する研削位置に調整する先端位置調整工程と、該研削用ブレードが該チャックテーブルの回転中心を通過する位置に該Ｙ軸送り手段又は該Ｘ軸送り手段を作動して調整する中心通過調整工程と、該チャックテーブルを回転すると共に、該研削用ブレードをＸ軸方向又はＹ軸方向に相対的に加工送りして該保持面を研削して平坦化する修正工程と、を含み構成されるチャックテーブルの修正方法が提供される。
【０００９】
該中心通過調整工程において、該Ｙ軸送り手段を作動して該チャックテーブルの回転中心のＹ座標に該研削用ブレードを位置付け、該修正工程において、該Ｘ軸送り手段を作動して該チャックテーブルの外周から該研削用ブレードを該チャックテーブルの回転中心を通過するように加工送りすることができる。また、該中心通過調整工程において、該Ｘ軸送り手段を作動して該チャックテーブルの回転中心のＸ座標に該研削用ブレードを位置付け、該修正工程において、該Ｙ軸送り手段を作動して該チャックテーブルの外周から該研削用ブレードを該チャックテーブルの回転中心を通過するように加工送りするようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のチャックテーブルの修正方法は、研削用ブレードを切削手段に装着し、Ｚ軸送り手段を作動して切削手段をＺ軸方向に相対的に加工送りして該研削用ブレードの先端のＺ軸方向の位置をチャックテーブルの保持面を研削して修正する研削位置に調整する先端位置調整工程と、該研削用ブレードが該チャックテーブルの回転中心を通過する位置にＹ軸送り手段又はＸ軸送り手段を作動して調整する中心通過調整工程と、該チャックテーブルを回転すると共に、該研削用ブレードをＸ軸方向又はＹ軸方向に相対的に加工送りして該保持面を研削して平坦化する修正工程と、を含み構成されることから、チャックテーブルを切削装置に装着したままコンタミ等が付着したポーラス部の上面、及び経年劣化した枠体の上面を研削して再生することができることから、チャックテーブルの脱着作業があることに加え、別途用意された研削装置に搬送して表面を研削する必要があり煩に堪えないという問題が解消される。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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