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公開番号2024037577
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-19
出願番号2022142504
出願日2022-09-07
発明の名称研磨パッド
出願人富士紡ホールディングス株式会社
代理人個人
主分類B24B 37/26 20120101AFI20240312BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ワークを好適に研磨加工できる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッドは、金属により構成されるワークを遊離砥粒を用いて研磨加工するための研磨パッドである。研磨パッドは、弾性シートによって構成されるパッド本体を有し、前記パッド本体は、円環状の基部と、前記基部と繋がり、平面視において前記基部の径方向に対して傾斜するように延びる突出部と、を含み、前記突出部は、前記ワークに追従するような先細り形状である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
金属により構成されるワークを遊離砥粒を用いて研磨加工するための研磨パッドであって、
弾性シートによって構成されるパッド本体を有し、
前記パッド本体は、
円環状の基部と、
前記基部と繋がり、平面視において前記基部の径方向に対して傾斜するように延びる突出部と、を含み、
前記突出部は、前記ワークに追従するような先細り形状である
研磨パッド。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記突出部は、
先端部を含むワーク接触部と、
前記ワーク接触部と前記基部とを繋ぐワーク非接触部と、を含む
請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項３】
前記ワーク接触部は、前記先端部を含む第１部分、および、前記第１部分と前記ワーク非接触部とを繋ぐ第２部分を含み、
前記第１部分の研磨力は、前記第２部分の研磨力よりも弱い
請求項２に記載の研磨パッド。
【請求項４】
前記突出部の外縁は、円弧であり、
前記ワーク接触部の外縁の曲率半径は、前記ワーク非接触部の外縁の曲率半径よりも大きい
請求項２または３に記載の研磨パッド。
【請求項５】
前記ワーク接触部の外縁に沿う仮想円において、前記ワーク接触部の外縁の長さは、前記仮想円の円周の３０％以上７０％以下の範囲に含まれる
請求項４に記載の研磨パッド。
【請求項６】
前記弾性シートを構成する材料は、
Ａ硬度が、５０°以上９５°以下の範囲に含まれ、
密度が、０，２０ｇ/ｃｍ
3
以上０．８０ｇ/ｃｍ
3
以下の範囲に含まれる
請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨パッド。
【請求項７】
前記パッド本体は、複数重ねられており、
前記基部の中央に配置され、複数の前記パッド本体を保持する軸部を有し、
前記軸部は、前記基部に形成される凹部または凸部と噛み合う凸部または凹部を有する
請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨パッド。
【請求項８】
前記パッド本体に取り付けられる円盤状の治具を有し、
前記治具は、
重ねられた前記パッド本体のうちの最も上のパッド本体に重ねられる上部プレートと、
重ねられた前記パッド本体のうちの最も下のパッド本体に重ねられる下部プレートと、を含み、
前記治具が前記パッド本体に取り付けられた状態において、前記突出部は、前記上部プレートおよび前記下部プレートから露出している
請求項７に記載の研磨パッド。
【請求項９】
前記上部プレートは、前記最も上の前記パッド本体に面する上部対向面を有し、
前記下部プレートは、前記最も下の前記パッド本体に面する下部対向面を有し、
前記上部対向面は、周方向に沿って厚み方向の凹部および厚み方向の凸部を有し、
前記下部対向面は、前記上部対向面の前記凹部に対応する凸部、および、前記上部対向面の前記凸部に対応する凹部を有する
請求項８に記載の研磨パッド。
【請求項１０】
前記上部対向面の前記凹部および前記凸部の１組と、前記下部対向面の前記凸部および前記凹部の１組との間には、前記突出部が２～８個存在する
請求項９に記載の研磨パッド。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨パッドに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ワークを研磨加工する研磨パッドを開示している。この研磨パッドは、円環状の基部と、基部の径方向に突出する複数の突出部と、を有する。突出部の先端面は、長方形である。この研磨パッドは、回転しながら先端面とワークとが接触することによってワークの表面を研磨加工する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭５５－０５８９８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記研磨パッドは、突出部の厚さが根本から先端まで概ね一定であり、曲面を有するワークを研磨しているときに突出部の形状が変形しにくく、ほぼ平面状態で角Ｒ面に接触する。このため、ワークに対する追従性が低く平面部と角Ｒ面を連続した面に仕上げることが難しく、ワークを好適に研磨加工できない。
【０００５】
本発明の目的は、曲面および平面を有するワークを好適に研磨加工できる研磨パッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１観点に係る研磨パッドは、金属により構成されるワークを遊離砥粒を用いて研磨加工するための研磨パッドであって、弾性シートによって構成されるパッド本体を有し、前記パッド本体は、円環状の基部と、前記基部と繋がり、平面視において前記基部の径方向に対して傾斜するように延びる突出部と、を含み、前記突出部は、前記ワークに追従するような先細り形状である。
【０００７】
本発明の第２観点に係る研磨パッドは、第１観点に係る研磨パッドであって、前記突出部は、先端部を含むワーク接触部と、前記ワーク接触部と前記基部とを繋ぐワーク非接触部と、を含む。
【０００８】
本発明の第３観点に係る研磨パッドは、第２観点に係る研磨パッドであって、前記ワーク接触部は、前記先端部を含む第１部分、および、前記第１部分と前記ワーク非接触部とを繋ぐ第２部分を含み、前記第１部分の研磨力は、前記第２部分の研磨力よりも弱い。
【０００９】
本発明の第４観点に係る研磨パッドは、第２観点または第３観点に係る研磨パッドであって、前記突出部の外縁は、円弧であり、前記ワーク接触部の外縁の曲率半径は、前記ワーク非接触部の外縁の曲率半径よりも大きい。
【００１０】
本発明の第５観点に係る研磨パッドは、第４観点に係る研磨パッドであって、前記ワーク接触部の外縁に沿う仮想円において、前記ワーク接触部の外縁の長さは、前記仮想円の円周の３０％以上７０％以下の範囲に含まれる。
（【００１１】以降は省略されています）

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