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公開番号2024053521
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-15
出願番号2022212904
出願日2022-12-16
発明の名称ナノバブル液剤の利用方法
出願人睦月電機株式会社
代理人
主分類C02F 1/68 20230101AFI20240408BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約【課題】本発明は、帯電したナノバブル液剤により、種々の用途に利用できるナノバブル水を提供する。
【解決手段】本発明のナノバブル液剤1は、マイナスに帯電した第1のナノバブル水2とプラスに帯電した第2のナノバブル水3を含有しており、このナノバブル液剤1における第1のナノバブル水2と第2のナノバブル水3の双方を適用対象4に同時に用いて利用する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
マイナスに帯電した第１のナノバブル水とプラスに帯電した第２のナノバブル水を含有したことを特徴とするナノバブル液剤。
続きを表示（約 88 文字）【請求項２】
請求項１に記載のナノバブル液剤における第１のナノバブル水と第２のナノバブル水の双方を適用対象に同時に用いることを特徴とするナノバブル液剤の利用。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電したナノバブル水を含有するナノバブル液剤に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、オゾンマイクロナノバブル水を含有する処理液により半導体基板の表面に酸化膜を形成する半導体基板の製造において、段落番号００１４にマイクロナノバブルとは、直径が１ｎｍ以上１００μｍ未満の気泡と定義し、段落番号００３１にマイクロナノバブルは、その生成方法によりプラスおよびマイナスの電位を有することが可能であり、この電位をシリコンウェーハの持つ電位と逆の電位とすることで、処理液のウェーハに対する表面張力低下、つまり濡れ性が向上することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－１１１０９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１においては、マイクロナノバブルは、プラスおよびマイナスの電位を有することが可能であっても、プラス電位のマイクロナノバブル水とマイナス電位のマイクロバブル水との双方を同時に用いて静電相互作用もしくは静電的相互作用を適用して種々の用途に利用できるナノバブル水とすることは開示されていない。
【０００５】
そこで、本発明は、種々の用途に利用できる帯電したナノバブル液剤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に記載のナノバブル液剤は、マイナスに帯電した第１のナノバブル水とプラスに帯電した第２のナノバブル水を含有したことを特徴とする。また、請求項２に記載のナノバブル液剤の利用は、請求項１に記載のナノバブル液剤における第１のナノバブル水と第２のナノバブル水の双方を適用対象に同時に用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のナノバブル液剤は、マイナスに帯電した第１のナノバブル水とプラスに帯電した第２のナノバブル水を含有しており、その双方を同時に用いて、静電相互作用もしくは静電的相互作用を適用することにより、種々の用途に利用できるナノバブル水を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
ナノバブル液剤を適用対象に接触させて利用する概要図を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明のナノバブル液剤は、マイナスに帯電した第１のナノバブル水とプラスに帯電した第２のナノバブル水を含有しており、第１のナノバブル水と第２のナノバブル水は水道水、酸素水、オゾン水などの溶液で、その溶液中にはナノバブルの気泡が含まれており、そのナノバブルとしては、例えば、気泡径が１ｎｍ～３０ｎｍで、密度が１０
１６
個／ｍｌ以上である。
【００１０】
また、本発明のナノバブル液剤はプラスやマイナスに帯電した部位が存在する適用対象に対して静電相互作用もしくは静電的相互作用を有し、第１のナノバブル水と第２のナノバブル水の双方を同時に使用する帯電した液剤であって、第１のナノバブル水と第２のナノバブル水との配合量は、適用対象に用いて利用する目的により設定して運用する。
（【００１１】以降は省略されています）

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