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公開番号2024031191
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-07
出願番号2022134595
出願日2022-08-26
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類B24B 7/04 20060101AFI20240229BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ウェーハの円形凹部と斜面との接点の角がR面にならないウェーハを形成する研削装置を提供する。
【解決手段】形成する斜面Wdの距離より薄い厚みの円板状の斜面研削砥石55の外側面で該円形凹部Waの内周面Wcを斜面Wdに研削する斜面研削機構と、を備え、斜面研削機構5は、斜面研削砥石55を先端に装着するスピンドル54と、形成する斜面Wdに平行な方向にスピンドル54を移動させる研削送り機構53と、研削送り機構53の移動方向に交差する方向に研削送り機構53を移動させる切り込み送り機構52と、を備える研削装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの中央部分を研削して円形凹部と該円形凹部の外側に環状凸部とを形成し該円形凹部の内周面に斜面を形成する研削装置であって、
保持面でウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、
ウェーハの半径より小さい外径の環状砥石を該保持面に垂直方向に移動させ該保持面に保持されたウェーハの中央部分を研削し円形凹部を形成する凹部研削機構と、
形成する斜面の距離より薄い厚みの円板状の斜面研削砥石の外側面で該円形凹部の内周面を斜面に研削する斜面研削機構と、を備え、
該斜面研削機構は、
該斜面研削砥石を先端に装着するスピンドルと、形成する斜面に平行な方向に該スピンドルを移動させる研削送り機構と、該研削送り機構の移動方向に交差する方向に該研削送り機構を移動させる切り込み送り機構と、を備える、研削装置。
続きを表示（約 84 文字）【請求項２】
形成する斜面の角度に対応して、該チャックテーブルと該斜面研削砥石とを相対的に角度を調整する角度調整機構を備える、請求項１記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されたウェーハはダイシング装置等によってデバイス毎に個々のチップに分割され、分割後のチップは各種電子機器に組み込まれて広く利用されている。電子機器の小型化、軽量化等を図るために、ウェーハの厚さが例えば５０μｍ～１００μｍになるように薄く形成される。
【０００３】
このようなウェーハは剛性が低下する上、反りが発生するため取り扱いが困難になっている。そこで、特許文献１では、ウェーハの外周にリング状補強部を形成してウェーハの剛性を高めている。リング状補強部は、ウェーハの中央部分を環状砥石で研削して内周面が斜面の円形凹部と円形凹部の外側に環状凸部とを形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－０５４８０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１において、外側に環状凸部を形成し、環状凸部の内周面で斜面になった円形凹部を形成している。この斜面は、環状砥石を下降させつつ、環状砥石をウェーハの中心方向に移動させて形成している。そのため、環状砥石の下面と外周面との接点の角は、摩耗してＲ面になっている。環状砥石のＲ面でウェーハの斜面を形成すると、環状砥石のＲ面と同型のＲ面が、ウェーハの円形凹部の底面と斜面との接点の角に形成される。そのため、円形凹部の底面の外周は、このＲ面によって、研削されない領域ができる。この研削されない領域がデバイスにかかるため、デバイスが生産できなくなる問題がある。
【０００６】
したがって、円形凹部の内周面を斜面にする研削装置は、円形凹部の底面と斜面との角がＲ面にならないようにする、という課題がある。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ウェーハの円形凹部の底面と斜面との接点の角がＲ面にならないウェーハを研削する研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様の研削装置は、ウェーハの中央部分を研削して円形凹部と該円形凹部の外側に環状凸部とを形成し該円形凹部の内周面に斜面を形成する研削装置であって、保持面でウェーハを保持し回転するチャックテーブルと、ウェーハの半径より小さい外径の環状砥石を該保持面に垂直方向に移動させ該保持面に保持されたウェーハの中央部分を研削し円形凹部を形成する凹部研削機構と、形成する斜面の距離より薄い厚みの円板状の斜面研削砥石の外側面で該円形凹部の内周面を斜面に研削する斜面研削機構と、を備え、該斜面研削機構は、該斜面研削砥石を先端に装着するスピンドルと、形成する斜面に平行な方向に該スピンドルを移動させる研削送り機構と、該研削送り機構の移動方向に交差する方向に該研削送り機構を移動させる切り込み送り機構と、を備える。
【０００９】
さらに、形成する斜面の角度に対応して、該チャックテーブルと該斜面研削砥石とを相対的に角度を調整する角度調整機構を備える、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の研削装置によれば、ウェーハの円形凹部と斜面との接点の角がＲ面にならないウェーハを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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