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公開番号2025177202
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2024083808
出願日2024-05-23
発明の名称X線測定システム
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01N 23/205 20180101AFI20251128BHJP(測定;試験)
要約【課題】被測定物の表面の状態を反映しつつ低コストで測定できるX線測定システムを提供する。
【解決手段】X線測定システム(1)は、被測定物(2)の表面における複数の測定箇所に対してX線を照射する照射部(11)と、被測定物を回折したX線を検出する検出部(14)と、測定箇所毎に検出部による検出結果及び測定箇所に予め定められている仮中心位置から仮回折プロフィルを生成し、仮回折プロフィルからカメラ長を算出する第1算出部(211)と、表面におけるカメラ長の変化率から表面の傾きを算出し傾き及びカメラ長から測定箇所におけるX線の入射角を算出する第2算出部(212)と、検出結果及び入射角から測定箇所の測定値を算出する第3算出部(213)と、を備える。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
被測定物の表面における複数の測定箇所に対してＸ線を照射する照射部と、
前記被測定物を回折したＸ線を検出する検出部と、
前記測定箇所毎に、前記検出部による検出結果及び前記測定箇所に予め定められている仮中心位置から仮回折プロフィルを生成し、前記仮回折プロフィルからカメラ長を算出する第１算出部と、
前記表面における前記カメラ長の変化率から前記表面の傾きを算出し、前記傾きから前記測定箇所におけるＸ線の入射角を算出する第２算出部と、
前記検出結果及び前記入射角から前記測定箇所の測定値を算出する第３算出部と、
を備えるＸ線測定システム。
続きを表示（約 540 文字）【請求項２】
前記第３算出部は、前記カメラ長及び前記入射角から前記測定箇所の中心位置を算出し、前記中心位置及び前記検出結果から回折プロフィルを生成し、前記回折プロフィルから前記測定値を算出する請求項１に記載のＸ線測定システム。
【請求項３】
前記第３算出部は、前記カメラ長から前記測定箇所の中心位置を算出し、前記中心位置及び前記検出結果から回折プロフィルを生成し、前記回折プロフィルから仮測定値を算出し、前記仮測定値を前記入射角で補正することによって前記測定値を算出する請求項１に記載のＸ線測定システム。
【請求項４】
前記第３算出部は、動作モードが第１モードである場合に、前記カメラ長及び前記入射角から前記測定箇所の中心位置を算出し、前記中心位置から前記測定値を算出し、前記動作モードが前記第１モードと異なる第２モードである場合に、前記カメラ長から前記中心位置を算出し、前記中心位置から仮測定値を算出し、前記仮測定値を前記入射角で補正することによって前記測定値を算出する請求項１に記載のＸ線測定システム。
【請求項５】
前記測定値は、前記被測定物の応力値である請求項１～４のいずれか一項に記載のＸ線測定システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線測定システムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、Ｘ線の回折現象を利用して被測定物の残留応力や半価幅、残留オーステナイト量等を測定するＸ線測定システムが知られている。
【０００３】
これに関し、特許文献１には、被測定物の３次元形状データを作成し、３次元形状データとＸ線射出器を有する筐体の位置及び姿勢とを用いて、Ｘ線の照射点と照射点及び撮像面の距離とＸ線の入射方向とを計算するＸ線回折測定システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６６００９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、被測定物の３次元形状データの測定のために時間がかかり、さらに３次元形状データの測定器が筐体に搭載される分筐体のサイズの増大を招いていた。したがって、特許文献１に記載の技術では、被測定物に対してＸ線測定を行う際にかかるコストの増大を招いていた。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、被測定物の表面の状態を反映しつつ低コストで測定できるＸ線測定システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のＸ線測定システムは、被測定物の表面における複数の測定箇所に対してＸ線を照射する照射部と、前記被測定物を回折したＸ線を検出する検出部と、前記測定箇所毎に、前記検出部による検出結果及び前記測定箇所に予め定められている仮中心位置から仮回折プロフィルを生成し、前記仮回折プロフィルからカメラ長を算出する第１算出部と、前記表面における前記カメラ長の変化率から前記表面の傾きを算出し、前記傾きから前記測定箇所におけるＸ線の入射角を算出する第２算出部と、前記検出結果及び前記入射角から前記測定箇所の測定値を算出する第３算出部と、を備える。
【０００８】
また、前記第３算出部は、前記カメラ長及び前記入射角から前記測定箇所の中心位置を算出し、前記中心位置及び前記検出結果から回折プロフィルを生成し、前記回折プロフィルから前記測定値を算出する。
【０００９】
また、前記第３算出部は、前記カメラ長から前記測定箇所の中心位置を算出し、前記中心位置及び前記検出結果から回折プロフィルを生成し、前記回折プロフィルから仮測定値を算出し、前記仮測定値を前記入射角で補正することによって前記測定値を算出する。
【００１０】
また、前記第３算出部は、動作モードが第１モードである場合に、前記カメラ長及び前記入射角から前記測定箇所の中心位置を算出し、前記中心位置から前記測定値を算出し、前記動作モードが前記第１モードと異なる第２モードである場合に、前記カメラ長から前記中心位置を算出し、前記中心位置から仮測定値を算出し、前記仮測定値を前記入射角で補正することによって前記測定値を算出する。
（【００１１】以降は省略されています）

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