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公開番号2025157723
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-16
出願番号2024059914
出願日2024-04-03
発明の名称X線測定システム
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01N 23/2055 20180101AFI20251008BHJP(測定;試験)
要約【課題】被測定物の形状にばらつきがある場合にも容易に測定できるX線測定システムを提供する。
【解決手段】X線測定システム(1)は、X軸に沿って延在するレール部(30)と、レール部に移動可能に接続されZ軸方向に向かって被測定物(2)との距離を測定し、Z軸方向にX線を照射し被測定物を回折したX線を検出する測定部(40)とを備える。また、X線測定システムは、位置及び傾きが可変な、被測定物の一端を把持する把持部(11)と、被測定物の他端を把持する把持部(21)とを備える。また、X線測定システムは、2つの把持部のY軸方向に対する傾きと距離の測定結果とを取得し、取得した内容から位置及び傾きを決定する制御装置(50)を備える。また、制御装置は、決定した位置及び傾きになるように2つの把持部の動作を制御し、X線の照射及び検出を行うように測定部の動作を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１方向に沿って延在するレール部と、
前記第１方向に移動可能に前記レール部に接続され、前記第１方向に垂直な第２方向に向かってばね状の被測定物との距離を測定する距離センサ、及び前記第２方向にＸ線を照射し前記被測定物を回折したＸ線を検出する検出部を有する測定部と、
位置及び傾きが可変であり、前記被測定物の一端を把持する第１把持部と、
位置及び傾きが可変であり、前記被測定物の他端を把持する第２把持部と、
前記第１把持部及び前記第２把持部の前記第２方向に対する傾き並びに前記距離センサの測定結果を取得し、取得した傾き及び測定結果から位置及び傾きを決定し、決定した位置及び傾きになるように前記第１把持部及び前記第２把持部の動作を制御し、Ｘ線の照射及び検出を行うように前記検出部の動作を制御する制御装置と、
を備えるＸ線測定システム。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記制御装置は、取得した傾き及び測定結果から前記被測定物の胴曲がりの程度を示す湾曲度を算出し、算出した湾曲度から前記位置及び傾きを決定する請求項１に記載のＸ線測定システム。
【請求項３】
前記制御装置は、前記被測定物の一端から他端までに定められている複数の測定箇所に対して、前記傾き及び前記測定結果の取得、前記位置及び前記傾きの決定、並びにＸ線の照射及び検出を含む測定工程を実行するように、前記第１把持部、前記第２把持部及び前記測定部の動作を制御する請求項２に記載のＸ線測定システム。
【請求項４】
前記制御装置は、前記測定工程において、前記被測定物の前記測定箇所が前記測定部に向かうように、把持面の法線方向を回転軸として回転させるように前記第１把持部及び前記第２把持部の動作を制御し、前記測定部の移動の動作を制御する請求項３に記載のＸ線測定システム。
【請求項５】
前記第１把持部は、多関節型の第１アームの先端に設けられており、
前記第２把持部は、前記第１アームと異なる多関節型の第２アームの先端に設けられている請求項１～４のいずれか一項に記載のＸ線測定システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線測定システムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、Ｘ線の回折現象を利用して被測定物の残留応力や半価幅、残留オーステナイト量等を測定するＸ線測定システムが知られている。
【０００３】
これに関し、特許文献１には、コイルばねの両端が軸上に位置するように保持する保持治具と、保持治具に保持されたコイルばねの表面形状を計測可能な非接触式変位計とを備えるばねの形状測定装置が開示されている。また、特許文献１には、ばねの形状測定装置が、非接触式変位計をコイルばねの軸方向に沿って直線移動させると共にコイルばねの前記軸周りをコイルばねに対して相対的に回転させる相対位置調整機構をさらに備えることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６６１３１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、ばね状の被測定物が曲がっている可能性を何ら考慮していなかった。したがって、特許文献１に記載の技術では、被測定物が曲がっているなど形状のばらつきがある場合、被測定物の測定に誤差がでてしまうという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、被測定物の形状にばらつきがある場合にも容易に測定できるＸ線測定システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のセンサシステムは、第１方向に沿って延在するレール部と、前記第１方向に移動可能に前記レール部に接続され、前記第１方向に垂直な第２方向に向かってばね状の被測定物との距離を測定する距離センサ、及び前記第２方向にＸ線を照射し前記被測定物を回折したＸ線を検出する検出部を有する測定部と、位置及び傾きが可変であり、前記被測定物の一端を把持する第１把持部と、位置及び傾きが可変であり、前記被測定物の他端を把持する第２把持部と、前記第１把持部及び前記第２把持部の前記第２方向に対する傾き並びに前記距離センサの測定結果を取得し、取得した傾き及び測定結果から位置及び傾きを決定し、決定した位置及び傾きになるように前記第１把持部及び前記第２把持部の動作を制御し、Ｘ線の照射及び検出を行うように前記検出部の動作を制御する制御装置と、を備える。
【０００８】
また、前記制御装置は、取得した傾き及び測定結果から前記被測定物の胴曲がりの程度を示す湾曲度を算出し、算出した湾曲度から前記位置及び傾きを決定する。
【０００９】
また、前記制御装置は、前記被測定物の一端から他端までに定められている複数の測定箇所に対して、前記傾き及び前記測定結果の取得、前記位置及び前記傾きの決定、並びにＸ線の照射及び検出を含む測定工程を実行するように、前記第１把持部、前記第２把持部及び前記測定部の動作を制御する。
【００１０】
また、前記制御装置は、前記測定工程において、前記被測定物の前記測定箇所が前記測定部に向かうように、把持面の法線方向を回転軸として回転させるように前記第１把持部及び前記第２把持部の動作を制御し、前記測定部の移動の動作を制御する。
（【００１１】以降は省略されています）

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