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公開番号2025128481
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025148
出願日2024-02-22
発明の名称センサ及びセンサを備えるロボット
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01D 5/241 20060101AFI20250827BHJP(測定;試験)
要約【課題】高精度で検出物を検出できるセンサを提供する。
【解決手段】センサは、検出物を検出するための検出面に対して垂直な検出方向に沿って延在するように設けられる検出電極と、検出電極に並列して検出方向に沿って延在するように設けられる補正電極と、検出信号を生成し、生成した検出信号を検出電極に送信する信号生成回路と、検出電極の電位に従って前記検出物を検出する検出回路と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
検出物を検出するための検出面に対して垂直な検出方向に沿って延在するように設けられる検出電極と、
前記検出電極に並列して前記検出方向に沿って延在するように設けられる補正電極と、
検出信号を生成し、生成した前記検出信号を前記検出電極に送信する信号生成回路と、
前記検出電極の電位に従って前記検出物を検出する検出回路と、
を備えるセンサ。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
前記検出電極は、当該検出電極の部位の少なくとも一部が前記検出方向に対して垂直な方向に向かって湾曲又は屈曲するように形成されており、
前記補正電極は、当該補正電極の部位の少なくとも一部が前記検出電極の湾曲方向又は屈曲方向と同じ方向に湾曲又は屈曲するように形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】
前記検出電極及び前記補正電極に並列して前記検出方向に沿って延在するように設けられ、前記検出信号と同電位の信号が供給されるアクティブシールド電極をさらに備え、
前記検出電極は、前記補正電極に対して前記検出方向に沿って右側に設けられ、
前記アクティブシールド電極は、前記検出電極に対して前記検出方向に沿って右側に設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項４】
前記検出電極及び前記補正電極は、前記検出方向における位置のうち少なくとも一部が隣接する電極同士で等間隔になるように複数設けられている、
ことを特徴とする請求項１～３のうちいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項５】
補正モード及び検出モードの２つの動作モードを有し、前記動作モードが前記補正モードである場合に前記検出電極及び前記補正電極の間の静電容量を検出させ、前記動作モードが前記検出モードである場合に前記検出物を検出させるように前記検出回路の動作を制御する制御回路、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項６】
検出物を検出するための検出面に対して垂直な検出方向に沿って延在するように設けられる検出電極、前記検出電極に並列して前記検出方向に沿って延在するように設けられる補正電極、検出信号を生成し、生成した前記検出信号を前記検出電極に送信する信号生成回路、及び前記検出電極の電位に従って前記検出物を検出する検出回路を有するセンサと、
前記センサが設けられる可動式のアーム部と、
前記アーム部に接続されワークに対して作業を行う手首部と、
を備えるロボット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ及びセンサを備えるロボットに関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、検出物を検出するためのセンサを備えるロボットが知られている。
【０００３】
これに関し、特許文献１には、他の物体との接近又は接触を検出するセンサであり、ロボットなどの可動装置の外装部材の外表面又は内表面に電極部が形成されているセンサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－８９１６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、静電容量が検出物及びセンサの間にある大気の温度及び湿度変化の影響を受け易く、高精度で検出物の接近を検出できないという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、高精度で検出物を検出できるセンサ及びセンサを備えるロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のセンサは、検出物を検出するための検出面に対して垂直な検出方向に沿って延在するように設けられる検出電極と、前記検出電極に並列して前記検出方向に沿って延在するように設けられる補正電極と、検出信号を生成し、生成した前記検出信号を前記検出電極に送信する信号生成回路と、前記検出電極の電位に従って前記検出物を検出する検出回路と、を備えるセンサ。
【０００８】
また、前記検出電極は、当該検出電極の部位の少なくとも一部が前記検出方向に対して垂直な方向に向かって湾曲又は屈曲するように形成されており、前記補正電極は、当該検出電極の部位の少なくとも一部が前記検出電極の湾曲方向又は屈曲方向と同じ方向に湾曲又は屈曲するように形成されている。
【０００９】
また、前記検出電極及び前記補正電極に並列して前記検出方向に沿って延在するように設けられ、前記検出信号と同電位の信号が供給されるアクティブシールド電極をさらに備え、前記検出電極は、前記補正電極に対して前記検出方向に沿って右側に設けられ、前記アクティブシールド電極は、前記検出電極に対して前記検出方向に沿って右側に設けられる。
【００１０】
また、前記検出電極及び前記補正電極は、前記検出方向における位置のうち少なくとも一部が隣接する電極同士で等間隔になるように複数設けられている。
（【００１１】以降は省略されています）

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