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公開番号2025141385
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024041286
出願日2024-03-15
発明の名称X線回折測定装置及びプログラム
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01N 23/207 20180101AFI20250919BHJP(測定;試験)
要約【課題】測定対象物における所定の相の体積率に対する測定値の信頼性の向上を図ることができるX線回折測定装置を提供する。
【解決手段】γ相とα相とを含む測定対象物又はγ相とα相とを含む標準試料に対してX線を照射し、当該測定対象物又は当該標準試料の回折X線を検出する測定ユニット2と、測定ユニット2による標準試料の回折X線の検出値に基づいて求めた当該標準試料のγ相の体積率を、標準試料の実際のγ相の体積率に補正する補正式を求め、測定ユニット2による測定対象物の回折X線の検出値に基づいて求めたγ相の体積率を、当該補正式に基づいて補正する制御装置3と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第一の相と第二の相とを含む測定対象物に対してＸ線を照射し、当該測定対象物の回折Ｘ線を検出するとともに、当該第一の相と当該第二の相とを含む標準試料に対してＸ線をその照射範囲の相対位置を変更してそれぞれ照射し、各照射範囲における当該標準試料の回折Ｘ線を検出する測定ユニットと、
前記測定ユニットによる前記標準試料の各照射範囲における回折Ｘ線の各検出値に基づいて求めた当該標準試料の前記第一の相の体積率を、当該標準試料の各照射範囲における実際の当該体積率にそれぞれ補正する補正式を求め、当該測定ユニットによる前記測定対象物の回折Ｘ線の検出値に基づいて求めた前記第一の相の体積率を、当該補正式に基づいて補正する解析部と、
を備えることを特徴とするＸ線回折測定装置。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
前記標準試料は、前記第一の相の領域と前記第二の相の領域とが一つの境界によって分かれており、
前記標準試料に対する各照射範囲は、前記境界を含むことを特徴とする請求項１に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項３】
前記照射範囲の相対位置の変更は、前記境界に対して垂直方向に為されることを特徴とする請求項２に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項４】
前記照射範囲の相対位置の変更は、更に前記境界に対して平行に為されることを特徴とする請求項３に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項５】
前記標準試料は、前記第一の相と前記第二の相の実際の前記体積率が互いに異なる複数であり、各標準試料は、それぞれ当該第一の相と当該第二の相とが混合された状態であり、
前記制御装置は、前記測定ユニットによる各標準試料に対する複数の前記検出値に基づいて、前記補正式を求めることを特徴とする請求項１に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項６】
前記第一の相はオーステナイト相であり、前記第二の相はフェライト及びマルテンサイト相であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項７】
コンピュータを、
第一の相と第二の相とを含む測定対象物に対してＸ線を照射し、当該測定対象物の回折Ｘ線を検出するとともに、当該第一の相と当該第二の相とを含む標準試料に対してＸ線をその照射範囲の相対位置を変更してそれぞれ照射し、各照射範囲における当該標準試料の回折Ｘ線を検出する測定ユニットから、各検出値を受信する受信部、
前記受信部が受信した前記標準試料の各照射範囲における回折Ｘ線の各検出値に基づいて求めた当該標準試料の前記第一の相の体積率を、当該標準試料の各照射範囲における実際の当該体積率にそれぞれ補正する補正式を求め、当該受信部が受信した前記測定対象物の回折Ｘ線の検出値に基づいて求めた前記第一の相の体積率を、当該補正式に基づいて補正する解析部、
として機能させることを特徴とするプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線回折測定装置及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
オーステナイト相（以下、「γ相」と呼称する。）とフェライト及びマルテンサイト相（以下、「α相」と呼称する。）を有する測定対象物に対してＸ線を照射し、回折したＸ線（以下、「回折Ｘ線」と呼称する。）を検出することで、測定対象物のγ相の体積率を算出するＸ線回折測定装置が知られている。
【０００３】
例えば下記特許文献１には、γ相の回折Ｘ線の検出値から、そのピーク値の積分強度を求めることにより、γ相の体積率を算出する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平０７－１４００９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のように回折Ｘ線の検出値に基づいて算出（測定）したγ相の体積率は、Ｘ線回折測定装置の仕様等によって値が変わってしまい、試料のγ相体積率の絶対値に対して、上述のように測定して得たγ相体積率の値を保証できないという問題があった。
【０００６】
上記問題に鑑み、本発明は、測定対象物における所定の相の体積率に対する測定値の信頼性を向上することができる、Ｘ線回折測定装置及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るＸ線回折測定装置は、第一の相と第二の相とを含む測定対象物に対してＸ線を照射し、当該測定対象物の回折Ｘ線を検出するとともに、当該第一の相と当該第二の相とを含む標準試料に対してＸ線をその照射範囲の相対位置を変更してそれぞれ照射し、各照射範囲における当該標準試料の回折Ｘ線を検出する測定ユニットと、前記測定ユニットによる前記標準試料の各照射範囲における回折Ｘ線の各検出値に基づいて求めた当該標準試料の前記第一の相の体積率を、当該標準試料の各照射範囲における実際の当該体積率にそれぞれ補正する補正式を求め、当該測定ユニットによる前記測定対象物の回折Ｘ線の検出値に基づいて求めた前記第一の相の体積率を、当該補正式に基づいて補正する解析部と、を備える。
【０００８】
また、前記標準試料は、前記第一の相の領域と前記第二の相の領域とが一つの境界によって分かれており、前記標準試料に対する各照射範囲は、前記境界を含む。
【０００９】
また、前記照射範囲の相対位置の変更は、前記境界に対して垂直方向に為される。
【００１０】
また、前記照射範囲の相対位置の変更は、更に前記境界に対して平行に為される。
（【００１１】以降は省略されています）

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