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公開番号2025176550
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-04
出願番号2024082785
出願日2024-05-21
発明の名称MEMSミラー駆動回路、走査型投影システム及びMEMSミラー駆動方法
出願人スタンレー電気株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20251127BHJP(光学)
要約【課題】MEMS駆動データが受信できない等の異常事象が発生しても、異常事象の影響を極力避ける。
【解決手段】MEMSミラー駆動回路は、制御回路210からMEMS駆動データを受信し、MEMS駆動データに基づいて生成した駆動信号をMEMSミラーデバイス260に出力する駆動回路120と、制御回路210からステータス情報及びMEMS駆動データを受信して、制御回路210とのデータ通信が正常か否かを判定し、データ通信が正常ならステータス情報及びMEMS駆動データに基づいて駆動信号の代替となる代替駆動信号を生成するための駆動信号情報を取得し、データ通信が正常でないなら駆動信号情報に基づいて生成した代替駆動信号を駆動信号の代わりにMEMSミラーデバイス260に出力する安全回路110と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
制御回路からＭＥＭＳ駆動データを受信し、前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて生成した駆動信号をＭＥＭＳミラーデバイスに出力する駆動回路と、
前記制御回路からステータス情報及び前記ＭＥＭＳ駆動データを受信して、前記制御回路とのデータ通信が正常か否かを判定し、前記データ通信が正常なら前記ステータス情報及び前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて前記駆動信号の代替となる代替駆動信号を生成するための駆動信号情報を取得し、前記データ通信が正常でないなら前記駆動信号情報に基づいて生成した前記代替駆動信号を前記駆動信号の代わりに前記ＭＥＭＳミラーデバイスに出力する安全回路と、
を備える、
ＭＥＭＳミラー駆動回路。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記ステータス情報は、前記ＭＥＭＳ駆動データの値の昇降状態を示す昇降状態情報を含む、
請求項１に記載のＭＥＭＳミラー駆動回路。
【請求項３】
前記安全回路は、
前記駆動信号情報として、前記昇降状態情報に基づいて、前記ＭＥＭＳ駆動データの値が上昇している期間である上昇期間と前記ＭＥＭＳ駆動データの値が下降している期間である下降期間とを取得し、
前記制御回路とのデータ通信が正常でなくなったタイミング並びに前記上昇期間及び前記下降期間に基づいて前記代替駆動信号を生成する、
請求項２に記載のＭＥＭＳミラー駆動回路。
【請求項４】
前記安全回路は、
前記駆動信号情報として、前記昇降状態情報及び前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて、前記ＭＥＭＳ駆動データの一周期分のデータである周期分駆動データを取得し、
前記制御回路とのデータ通信が正常でなくなったタイミング及び前記周期分駆動データに基づいて前記代替駆動信号を生成する、
請求項２に記載のＭＥＭＳミラー駆動回路。
【請求項５】
前記安全回路は、
光源の発光状態を示す発光状態データを受信し、
前記発光状態データが消灯を示していた場合、
前記ＭＥＭＳミラーデバイスが備えるＭＥＭＳミラーの特性に合わせた減衰量に従って、所定の周期毎に前記代替駆動信号の振幅を徐々に０まで減少させる、
請求項３又は４に記載のＭＥＭＳミラー駆動回路。
【請求項６】
光を放射する光源と、
前記光源から放射された光を反射して投影面に照射するＭＥＭＳミラーと前記ＭＥＭＳミラーを揺動させるアクチュエータとを備えるＭＥＭＳミラーデバイスと、
前記アクチュエータを駆動させる駆動信号を生成するためのＭＥＭＳ駆動データを出力する制御回路と、
前記制御回路から前記ＭＥＭＳ駆動データを受信して前記駆動信号を出力するＭＥＭＳミラー駆動回路と、
を備える走査型投影システムであって、
前記ＭＥＭＳミラー駆動回路は、
前記制御回路から前記ＭＥＭＳ駆動データを受信し、前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて生成した前記駆動信号を前記ＭＥＭＳミラーデバイスに出力する駆動回路と、
前記制御回路からステータス情報及び前記ＭＥＭＳ駆動データを受信して、前記制御回路とのデータ通信が正常か否かを判定し、前記データ通信が正常なら前記ステータス情報及び前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて前記駆動信号の代替となる代替駆動信号を生成するための駆動信号情報を取得し、前記データ通信が正常でないなら前記駆動信号情報に基づいて生成した前記代替駆動信号を前記駆動信号の代わりに前記ＭＥＭＳミラーデバイスに出力する安全回路と、
を備える、
走査型投影システム。
【請求項７】
制御回路からステータス情報及びＭＥＭＳ駆動データを受信して、前記制御回路とのデータ通信が正常か否かを判定し、
前記データ通信が正常なら、前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて生成した駆動信号をＭＥＭＳミラーデバイスに出力するとともに、前記ステータス情報及び前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて前記駆動信号の代替となる代替駆動信号を生成するための駆動信号情報を取得し、
前記データ通信が正常でないなら、前記駆動信号情報に基づいて生成した前記代替駆動信号を前記駆動信号の代わりに前記ＭＥＭＳミラーデバイスに出力する、
ＭＥＭＳミラー駆動方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳミラー駆動回路、走査型投影システム及びＭＥＭＳミラー駆動方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
光源から出射された光をＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）ミラーで走査して映像を投射する照明装置や映像投射装置が知られている。このような装置においては、ＭＥＭＳミラーが適切に動作しているかを確認する必要があり、例えば特許文献１には、簡易な構成でＭＥＭＳミラーの動作を検出することができる光偏光器を備える照明装置等が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７３４３４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載されているような従来の装置では、ＭＥＭＳミラーを駆動するＭＥＭＳドライバーが制御回路からのＭＥＭＳ駆動データを確実に受信できることを前提として設計されている。このため、ＭＥＭＳドライバーが制御回路からのＭＥＭＳ駆動データを受信できない等の異常事象が発生した場合に問題が生じる可能性があった。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ＭＥＭＳ駆動データが受信できない等の異常事象が発生しても、異常事象の影響を極力避けることができるＭＥＭＳミラー駆動回路、走査型投影システム及びＭＥＭＳミラー駆動方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るＭＥＭＳミラー駆動回路は、
制御回路からＭＥＭＳ駆動データを受信し、前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて生成した駆動信号をＭＥＭＳミラーデバイスに出力する駆動回路と、
前記制御回路からステータス情報及び前記ＭＥＭＳ駆動データを受信して、前記制御回路とのデータ通信が正常か否かを判定し、前記データ通信が正常なら前記ステータス情報及び前記ＭＥＭＳ駆動データに基づいて前記駆動信号の代替となる代替駆動信号を生成するための駆動信号情報を取得し、前記データ通信が正常でないなら前記駆動信号情報に基づいて生成した前記代替駆動信号を前記駆動信号の代わりに前記ＭＥＭＳミラーデバイスに出力する安全回路と、
を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ＭＥＭＳ駆動データが受信できない等の異常事象が発生しても、異常事象の影響を極力避けることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態１に係る走査型投影システムの構成例を示す図である。
実施形態１に係る安全回路の内部ブロックの構成例を示す図である。
レーザーを水平方向に走査させるときのＭＥＭＳミラーの駆動電圧信号の波形の一例を示す図である。
レーザーを垂直方向に走査させるときのＭＥＭＳミラーの駆動電圧信号の波形の一例を示す図である。
実施形態１に係るステータス情報受信処理のフローチャートの一例である。
実施形態１に係るタイムアウト時処理のフローチャートの一例である。
実施形態１に係るデータ途絶時処理のフローチャートの一例である。
ＭＥＭＳミラーの停止シーケンスを説明するための図である。
バイポーラ駆動の場合の上側ピーク値と下側ピーク値を説明するための図である。
ユニポーラ駆動の場合の上側ピーク値を説明するための図である。
実施形態２に係る駆動データ保存処理のフローチャートの一例である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、図中同一又は相当する部分には同一符号を付す。
【００１０】
（実施形態１）
本発明の実施形態１に係る走査型投影システム１０００は、図１に示すように、ＭＥＭＳドライバー１００と、制御回路２１０と、ＬＤＤ（ＬａｓｅｒＤｉｏｄｅＤｒｉｖｅｒ）２２０と、ＬＤ（ＬａｓｅｒＤｉｏｄｅ）２３０と、ビームスプリッター２４０と、ＰＤ（Ｐｈｏｔｏ－Ｄｉｏｄｅ）モジュール２５０と、ＭＥＭＳミラーデバイス２６０と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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