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公開番号2025175764
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-03
出願番号2024082013
出願日2024-05-20
発明の名称保護部材形成装置及び保護部材形成方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20251126BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保護部材剥離後のウェーハの外周縁の洗浄を廃して加工時間を短縮すること。
【解決手段】滴下テーブル50と、保持テーブル31と、昇降機構40と、硬化ユニット60を備え、滴下テーブル50に液状樹脂rを供給する前に、該滴下テーブル50の上面に、ウェーハWの直径と同径の円板状凸部50Aを突設した保護部材形成装置1において実施される保護部材形成方法は、少なくとも滴下テーブル50に液状樹脂rを供給する前に、円板状凸部50Aを含む滴下テーブル50の上面にシートSを供給するシート供給工程と、シートSに液状樹脂rを滴下する液状樹脂供給工程と、保持テーブル31にウェーハWを保持させるウェーハ保持工程と、滴下テーブル50と保持テーブル31とを相対的に接近させて液状樹脂rをウェーハWの一方の面の外周縁まで押し広げる拡張工程と、保持テーブル31をウェーハWから離してから液状樹脂rを硬化させる硬化工程を含む。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
液状樹脂が供給される滴下テーブルと、
該滴下テーブルの上方に対向配置されてウェーハを保持する保持テーブルと、
該保持テーブルと前記滴下テーブルとを相対的に昇降させて液状樹脂を拡張させる昇降機構と、
拡張した液状樹脂を硬化させる硬化ユニットと、
を備える保護部材形成装置であって、
少なくとも前記滴下テーブルに液状樹脂を供給する前に、該滴下テーブルの上面に、ウェーハの直径と同径の円板状凸部を突設することを特徴とする保護部材形成装置。
続きを表示（約 650 文字）【請求項２】
前記円板状凸部は前記滴下テーブルに一体に突設されていることを特徴とする請求項１記載の保護部材形成装置。
【請求項３】
前記円板状凸部は、前記滴下テーブルとは別体の円板で構成され、
前記滴下テーブルに液状樹脂を供給する前に、前記円板を前記滴下テーブルに搬送する搬送手段を備えることを特徴とする請求項１記載の保護部材形成装置。
【請求項４】
前記円板状凸部は、前記保持テーブルに保持されて前記滴下テーブルに搬送され、前記滴下テーブルに供給された液状樹脂の硬化によって前記滴下テーブルの上面に固定される円板で構成されることを特徴とする請求項１記載の保護部材形成装置。
【請求項５】
請求項１～４の何れかに記載の保護部材形成装置を用いてウェーハの一方の面に保護部材を形成する保護部材形成方法であって、
少なくとも前記滴下テーブルに液状樹脂を供給する前に、前記円板状凸部を含む前記滴下テーブルの上面にシートを供給するシート供給工程と、
前記シートに液状樹脂を滴下する液状樹脂供給工程と、
前記保持テーブルにウェーハを保持させるウェーハ保持工程と、
前記滴下テーブルと前記保持テーブルとを相対的に接近させて液状樹脂をウェーハの一方の面の外周縁まで押し広げる拡張工程と、
前記保持テーブルをウェーハから離してから液状樹脂を硬化させる硬化工程と、
を含むことを特徴とする保護部材形成方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの一方の面に保護部材を形成するための保護部材形成装置及び保護部材形成方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
インゴットから切り出されたスライスウェーハには、ワイヤーソーなどの切断装置による切断加工時に両面に発生する加工歪の大きさの違いによる反りと、両面の表層に生じるうねりを有している。このため、スライスウェーハの一方の面に紫外線硬化樹脂などの保護部材を形成してその表面を平坦化し、この保護部材の表面をチャックテーブルの保持面で保持した状態でスライスウェーハの他方の面を研削して該他方の面を平坦化した後、該スライスウェーハから保護部材を剥ぎ取り、平坦な他方の面をチャックテーブルの保持面で保持した状態で該スライスウェーハの一方の面を研削して平坦な面とする加工方法が実施されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
上記加工方法においては、スライスウェーハ（以下、単に「ウェーハ」と称する）の一方の面全面に液状樹脂を拡張させ、この拡張された液状樹脂を硬化させることによって保護部材を形成しているが、液状樹脂をウェーハの一方の面全面に拡張させる際には、拡張テーブル上にシートを配置し、このシートの上に液状樹脂を滴下し、拡張テーブルの上方に配置された保持テーブルをこれに保持されたウェーハと共に下降させ、シート上の液状樹脂にウェーハを押し付けることによって液状樹脂を拡張させている。そして、液状樹脂が紫外線硬化樹脂である場合、この紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して該紫外線硬化樹脂を硬化させている。
【０００４】
ところが、特許文献３に記載されているように、保護部材が剥離されたウェーハの外周縁に保護部材の一部が残ることがある。このため、特許文献４には、ウェーハの外周縁に残る保護部材をロールスポンジによって洗浄して除去するウェーハ洗浄装置及びウェーハ洗浄方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００６－２６９７６１号公報
特開２００９－２７２５５７号公報
特開２０１９－００９２００号公報
特開２０２０－２０２３２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献４において提案されたウェーハ洗浄方法によれば、洗浄に長時間を要するためにウェーハの加工時間が長くなって効率が悪いという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、保護部材剥離後のウェーハの外周縁の洗浄を廃して加工時間を短縮することができる保護部材形成装置及び保護部材形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための第１発明は、液状樹脂が供給される滴下テーブルと、該滴下テーブルの上方に対向配置されてウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルと前記滴下テーブルとを相対的に昇降させて液状樹脂を拡張させる昇降機構と、拡張した液状樹脂を硬化させる硬化ユニットと、を備える保護部材形成装置であって、少なくとも前記滴下テーブルに液状樹脂を供給する前に、該滴下テーブルの上面に、ウェーハの直径と同径の円板状凸部を突設することを特徴とする。
【０００９】
第２発明は、上記保護部材形成装置を用いてウェーハの一方の面に保護部材を形成する保護部材形成方法であって、少なくとも前記滴下テーブルに液状樹脂を供給する前に、前記円板状凸部を含む前記滴下テーブルの上面にシートを供給するシート供給工程と、前記シートに液状樹脂を滴下する液状樹脂供給工程と、前記保持テーブルにウェーハを保持させるウェーハ保持工程と、前記滴下テーブルと前記保持テーブルとを相対的に接近させて液状樹脂をウェーハの一方の面の外周縁まで押し広げる拡張工程と、前記保持テーブルをウェーハから離してから液状樹脂を硬化させる硬化工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る保護部材形成装置を用いて実施される本発明に係る保護部材形成方法によれば、液状樹脂供給工程においてシート上に給された液状樹脂を拡張工程においてウェーハの一方の面の外周縁まで押し広げる場合、滴下テーブルの上面に突設された円板状凸部による段差によってシートがウェーハの外周縁部分で下方に折り曲げられる。このため、ウェーハの外周縁まで押し広げられた液状樹脂が重力によってシートの上を流れ落ち、ウェーハの外周縁側に回り込むことがなく、ウェーハの外周縁への液状樹脂の付着が防がれる。
（【００１１】以降は省略されています）

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