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公開番号2025154475
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057500
出願日2024-03-29
発明の名称検査装置及び検査方法
出願人マークテック株式会社
代理人個人
主分類G01N 29/04 20060101AFI20251002BHJP(測定;試験)
要約【課題】指向性に優れ、複雑形状にも対応可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置1は、インパクタ3と2個以上の受信部4を備え、インパクタ3と2個以上の受信部4の組み合わせをN個備えて、これらインパクタ3の一部または全部を同時に被検査物10に対し衝突動作をすることが可能なように構成されることで平面波Qが形成される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
インパクタと、受信部とを備えた衝撃弾性波法または打音法用の検査装置において、
前記インパクタは被検査物に対し衝突する動作をさせることで弾性波を加振可能であり、
前記受信部は受振子またはマイクからなり、
前記インパクタと、２個以上の前記受信部との組み合わせを、
２～Ｘ個配置することを特徴とする、検査装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記インパクタを少なくとも複数備え、
複数の前記インパクタの前記衝突する動作は、同時に行うことが可能であることを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記インパクタを少なくとも複数備え、
複数の前記インパクタを１～Ｎのグループに分け、前記１のグループに属する前記インパクタの前記衝突する動作は、同時に行うことが可能であり、前記Nのグループに属する前記インパクタの前記衝突する動作は、同時に行うことが可能であり、
前記１のグループに属する前記インパクタ同士はそれぞれ一定の距離を開けて配置され、
前記Ｎのグループに属する前記インパクタ同士はそれぞれ一定の距離を開けて配置され、
前記１のグループに属する前記インパクタと、前記Ｎのグループに属する前記インパクタの前記衝突する動作は、別々のタイミングで実施可能であることを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記検査装置が対象とする前記被検査物はいずれも同型であり、さらに、前記被検査物を保持する保持装置を備え、前記保持装置は、前記インパクタが、同型のどの前記被検査物においても、前記被検査物の部位の同じ位置にくるように位置を合わせて前記被検査物を保持可能であることを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記検査装置は、さらに情報処理部を備え、
前記情報処理部は、健全性が確認された被検査物を検査することにより前記受信部より得た正常データ又はこれを解析して変換処理したデータと、前記被検査物を検査することで前記受信部より取得したデータ又はこれを変換処理したデータを比較することできずの有無を確認することが可能であることを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項６】
インパクタによる衝突動作を行い被検査物に弾性波を生じさせる衝突工程と、
受信部により前記弾性波を受信して、きずの有無及びその深さや方向を推定し、推定位置情報を発信する受信工程と、
前記インパクタによる衝突動作を再度行い被検査物に弾性波を生じさせるビームフォーミング衝突工程と、
前記推定位置情報に示される深さ、方向の周辺に対し、収音の感度を高くし、それ以外の深さ、方向では収音の感度を低くするように、前記受信部を制御して前記ビームフォーミング衝突工程により生じた前記弾性波を受信するビームフォーミング工程とを備え、
少なくとも前記衝突工程及び受信工程を経た後に、前記ビームフォーミング衝突工程及び前記ビームフォーミング工程を実施することを特徴とする、検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、非破壊検査、とくに製品内部にできる空洞等の欠陥を検査するために用いられる、衝撃弾性波法または打音法の検査装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
工業用材料や部品においては、従来から知られている非破壊検査法としては、Ｘ線装置や超音波探傷装置が知られている。例えばＸ線装置では、被検査物にＸ線を照射し、透過したＸ線の強度を検出することで物体の内部構造を可視化する。透過率は物質の密度や厚さによって変化し、これを計測して画像化することで、異常や欠陥を検出する。また、超音波検査装置においては、超音波を出力する探触子から発信された超音波は、被検査物表面で一部が反射し、残りが被検査物の中を進む。超音波は通過する媒質が変わると、一部が反射する。反射する強さは変化する媒体で異なる。これが空気の場合、ほぼ全部が反射する。このため、被検査物の中に空洞がある欠陥品の場合、空洞からの反射量が合格品の場合と異なることから空隙の存在が分かることとなる。
【０００３】
特許文献１では、被測定材料に衝撃を与え、この材料に発生する振動を測定し、フーリエ変換により得た振動の周波数スペクトルから被測定材料の欠陥を検出する材料欠陥検出方法が開示されている。
【０００４】
特開平４―９５８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に開示されるような従来知られている打音法においては、きずの位置を１回で特定することができないという問題があった。また、Ｘ線装置は高価で検査時間もかかるため、採算を合わせることが困難であった。また、超音波探傷装置は、超音波を入射するための面積がある程度必要であるため、単純な形状部品は問題ないが、表面が凹凸等があるような複雑形状の部品には適用が困難で、検査時間が多くかかるため、問題となっていた。特に大型のダイキャスト品においては、その傾向が大きかった。本発明は、これらの問題を解決するための検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで本発明は、インパクタと、受信部とを備えた衝撃弾性波法または打音法用の検査装置において、前記インパクタは被検査物に対し衝突する動作をさせることで弾性波を加振可能であり、前記受信部は受振子またはマイクからなり、前記インパクタと、２個以上の前記受信部との組み合わせを、２～Ｘ個配置することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、前記インパクタを少なくとも複数備え、複数の前記インパクタの前記衝突する動作は、同時に行うことが可能であることを特徴とする。
【０００８】
前記インパクタを少なくとも複数備え、
複数の前記インパクタを１～Ｎのグループに分け、前記１のグループに属する前記インパクタの前記衝突する動作は、同時に行うことが可能であり、前記Nのグループに属する前記インパクタの前記衝突する動作は、同時に行うことが可能であり、前記１のグループに属する前記インパクタ同士はそれぞれ一定の距離を開けて配置され、前記Ｎのグループに属する前記インパクタ同士はそれぞれ一定の距離を開けて配置され、前記１のグループに属する前記インパクタと、前記Ｎのグループに属する前記インパクタの前記衝突する動作は、別々のタイミングで実施可能であることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、前記検査装置が対象とする前記被検査物はいずれも同型であり、さらに、前記被検査物を保持する保持装置を備え、前記保持装置は、前記インパクタが、同型のどの前記被検査物においても、前記被検査物の部位の同じ位置にくるように位置を合わせて前記被検査物を保持可能であることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明では、前記検査装置は、さらに情報処理部を備え、前記情報処理部は、健全性が確認された被検査物を検査することにより前記受信部より得た正常データ又はこれを解析して変換処理したデータと、前記被検査物を検査することで前記受信部より取得したデータ又はこれを変換処理したデータを比較することできずの有無を確認することが可能であることを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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