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公開番号2025150960
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024052136
出願日2024-03-27
発明の名称ベッセル
出願人日新電機株式会社
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類H01L 21/673 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】真空搬送用容器の開閉の自動化を、動作の不具合の発生を低減しつつ実現する。
【解決手段】真空処理装置の被処理物を真空中に保持した状態で収容する可搬のベッセル(90)は、シール部材が嵌め込まれた溝(912)の周回形状の少なくとも隅部に隣接する凸部(914)が上面に設けられた板状の基体(91)と、側壁部(923)が溝の直上に位置するように構成されている蓋体(92)とを備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
真空処理装置により処理される被処理物を、真空中に保持した状態で収容する可搬のベッセルであって、
基体と蓋体とを備え、
前記基体は板状であり、
前記基体の上面には、
角丸正方形または角丸長方形をなすように周回し、シール部材が嵌め込まれた溝と、
前記溝の周回形状の少なくとも隅部に隣接する凸部と、が設けられており、
前記蓋体は、板状の天井部と、前記天井部から下方に向けて延伸し、平面視において周回する側壁部と、を有し、
前記基体の上に装着された前記蓋体の前記側壁部が、前記溝の直上に位置するように構成されているベッセル。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
前記溝の周回形状の少なくとも隅部において、
前記凸部の前記溝に対向する外縁が、前記溝に沿うように構成されている、請求項１に記載のベッセル。
【請求項３】
前記凸部は、外縁が前記溝に沿うように、前記溝の周回形状の内側および/または外側に配置されている、請求項２に記載のベッセル。
【請求項４】
前記溝の周回形状の内側に複数の前記凸部が、前記溝の周回形状の４つの隅部それぞれについて設けられている、請求項２に記載のベッセル。
【請求項５】
前記溝の周回形状の外側に複数の前記凸部が、前記溝の周回形状の４つの隅部それぞれについて設けられている、請求項１に記載のベッセル。
【請求項６】
前記凸部の前記溝に対向する側面は、上方に向かうにつれて前記溝から離れるように傾斜している、請求項１から５のいずれか１項に記載のベッセル。
【請求項７】
前記凸部の表面が樹脂からなる、請求項１から５のいずれか１項に記載のベッセル。
【請求項８】
前記凸部は、前記基体の本体部分に対して着脱可能に設けられている、請求項１から５のいずれか１項に記載のベッセル。
【請求項９】
前記基体に装着された前記蓋体の上面における、前記溝の周回形状の対角線の上方に位置する線に沿って、前記蓋体を前記基体から引き離すための機構が係合する係合部が、前記蓋体の上面に複数設けられている、請求項１から５のいずれか１項に記載のベッセル。
【請求項１０】
前記基体と前記基体に装着された前記蓋体により区画される内部空間の圧力を検知する圧力計を更に備えた、請求項１から５のいずれか１項に記載のベッセル。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、真空処理装置に適用されるベッセルに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
プラズマ処理装置等の、真空室内で被処理物に対する所要の処理を行う真空処理装置が知られている。また、被処理物を真空に保った状態で収容し、真空処理装置本体に搬出入し得る搬送用容器を、真空処理装置に適用することも提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００５－１７０６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術において搬送用容器は、蓋の無い箱状の形態をした箱部と、蓋部とから主に構成されており、箱部と蓋部との間にシール部材が挟み込まれることで、内部空間を真空に保つことができる。しかし、被処理物の取り出し／収容が行いにくく、真空処理装置内でのこれらの動作の確実性の点で課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本開示の一側面は、真空処理装置により処理される被処理物を、真空中に保持した状態で収容する可搬のベッセルであって、基体と蓋体とを備え、前記基体は板状であり、前記基体の上面には、角丸正方形または角丸長方形をなすように周回し、シール部材が嵌め込まれた溝と、前記溝の周回形状の少なくとも隅部に隣接する凸部と、が設けられており、前記蓋体は、板状の天井部と、前記天井部から下方に向けて延伸し、平面視において周回する側壁部と、を有し、前記基体の上に装着された前記蓋体の前記側壁部が、前記溝の直上に位置するように構成されている。
【発明の効果】
【０００６】
本開示の一態様によれば、真空搬送用容器の開閉の自動化を、動作の不具合の発生を低減しつつ実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本開示の実施形態１に係るベッセルが適用される真空処理装置の概要を示す図である。
上記真空処理装置の機能構成を示すブロック図である。
上記ベッセルの概要を示すための、正面方向から視た断面を表した図である。
上記ベッセルの基体を示す平面図である。
上記ベッセルの蓋体を示す平面図である。
上記ベッセルの断面を示す図であり、隅部を拡大して示す。
上記真空処理装置のロードロック室の概要を示す図である。開閉機構部の昇降ロッドが上昇している状態を示す。
上記真空処理装置のロードロック室の概要を示す図である。開閉機構部が上記ベッセルの蓋体を基体から離脱させた状態を示す。
本開示の実施形態２に係るベッセルの基体を示す平面図である。
本開示の実施形態３に係るベッセルの基体を示す平面図である。
本開示の実施形態４に係るベッセルの概要を示すための、正面方向から視た断面を表した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
〔実施形態１〕
以下、本発明の一実施形態について詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明に係るベッセルおよび当該ベッセルが適用される真空処理装置１の一例を説明するものであり、本発明の技術的範囲は、以下の説明および図の内容に限定されるものではない。なお以下では、鉛直線上向きをＺ軸の正の向き、Ｘ軸およびＹ軸が水平面内にあるものとして、方向および向きを表す。
【０００９】
＜真空処理装置１の構成概要＞
図１は、本開示の実施形態１に係るベッセル９０が適用される真空処理装置１の要部構成を説明する図である。図１にはベッセル９０も表されており、ベッセル９０が真空処理装置１内に導入されている場面の一例が示されている。図２は、真空処理装置１の機能構成を示すブロック図である。
【００１０】
真空処理装置１は、ロードロック室１０、中間室２０、真空処理室３０、搬送機構部４０、および、真空処理装置１の各部を制御する制御部６０を備えている。ロードロック室１０と真空処理室３０とは、中間室２０を介して気密に接続されている。ロードロック室１０、中間室２０、真空処理室３０は、Ｘ軸方向に並んで配置されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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