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公開番号2025120001
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-15
出願番号2024015182
出願日2024-02-02
発明の名称温度調節装置
出願人株式会社KELK
代理人弁理士法人志賀国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250807BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】載置面の平面度及び平行度を改善することができる温度調節装置を提供する。
【解決手段】温度調節装置は、温調対象物が載置される載置面を有する載置部と、載置部と第1方向に対向する底部と、載置部と底部との間に配置され、温調対象物の加熱及び冷却が可能な熱源と、底部の外周部に設けられ、載置部を支持する支持部と、載置部と底部との間に配置され、載置部の中心と底部の中心とを位置決めする位置決め部材と、を備え、位置決め部材は、載置部に設けられた第1位置決め部と、底部に設けられた第2位置決め部と、篏合部と、を備え、篏合部は、第1位置決め部に設けられ、第1方向に凹み形成された篏合溝と、第2位置決め部に設けられ、第1方向で篏合溝に向けて突出し、篏合溝に嵌め込まれる篏合突起部と、を備え、篏合突起部は、最大幅部から第1方向で篏合溝の底面側に向かうにしたがって第2方向の幅が小さくなる先細り部を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
温調対象物が載置される載置面を有する載置部と、
前記載置部と第１方向に対向する底部と、
前記第１方向で前記載置部と前記底部との間に配置され、前記載置部を介して前記温調対象物の加熱及び冷却が可能な熱源と、
前記底部の外周部に設けられ、前記第１方向で前記載置部側に延びるとともに、前記載置部を支持する支持部と、
前記第１方向で前記載置部と前記底部との間に配置され、前記載置部の中心と前記底部の中心とを位置決めする位置決め部材と、
を備え、
前記位置決め部材は、
前記載置部の中心に設けられた第１位置決め部と、
前記底部の中心に設けられ、前記第１位置決め部と前記第１方向に対向する第２位置決め部と、
前記第１位置決め部と前記第２位置決め部とを篏合する篏合部と、
を備え、
前記篏合部は、
前記第１位置決め部及び前記第２位置決め部の一方に設けられ、前記第１方向に凹み形成された篏合溝と、
前記第１位置決め部及び前記第２位置決め部の他方に設けられ、前記第１方向で前記篏合溝に向けて突出し、前記篏合溝に嵌め込まれる篏合突起部と、
を備え、
前記篏合突起部は、
前記第１方向と直交する第２方向の幅が最も大きい最大幅部を有するとともに、前記最大幅部から前記第１方向で前記篏合溝の底面側に向かうにしたがって前記第２方向の幅が小さくなる先細り部を備える、温度調節装置。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
前記先細り部は、前記第１方向の軸線に沿って延び、前記軸線方向で前記篏合溝の底面側に向かうにしたがって、縮径するテーパ状に形成されている、
請求項１に記載の温度調節装置。
【請求項３】
前記篏合溝は、球面状に形成され、
前記篏合突起部の前記篏合溝内に位置する部分の外面は、球面状に形成されている、
請求項１に記載の温度調節装置。
【請求項４】
前記篏合突起部は、球体であり、
前記篏合突起部の前記第１方向で前記篏合溝とは反対側の端部は、前記第１位置決め部及び前記第２位置決め部の他方に埋め込まれている、
請求項３に記載の温度調節装置。
【請求項５】
前記篏合突起部の前記外面の曲率半径は、前記篏合溝の曲率半径よりも小さい、
請求項３又は４に記載の温度調節装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度調節装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体の製造装置および検査装置では、ウエハの温度調節を行う温度調節装置が用いられる。
例えば特許文献１には、温度調節装置の一例が開示されている。この温度調節装置は、ウエハを支持する天板と、天板との間において内部空間を形成するように天板に接続されるベース板と、内部空間に配置される熱電モジュールと、を有する。熱電モジュールは、天板の載置面上に載置されるウエハの温度を調節する。天板は、裏面からベース板に突出した凸部を有する。この天板側の凸部の下端面は、ベース板に設けられた凸部の上端面に断熱材を介して接触している。天板は、これらの凸部によって支持され、ベース板に対して固定されている。ウエハの品質を良好に維持するため、ウエハが載置される載置面は、高い精度の平面度及び平行度が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－７７８１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような温度調節装置では、高温又は低温でウエハの温度を調節する際に、天板とベース板とを位置決め、固定する箇所の部品が熱変形する場合がある。この場合、それらの部品が、熱変形により噛み込んでしまい、天板が斜め方向に持ち上がるような状態となる。これにより、載置面の平面度及び平行度が悪化することが課題とされていた。
【０００５】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであって、載置面の平面度及び平行度を改善することができる温度調節装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る温度調節装置は、温調対象物が載置される載置面を有する載置部と、前記載置部と第１方向に対向する底部と、前記第１方向で前記載置部と前記底部との間に配置され、前記載置部を介して前記温調対象物の加熱及び冷却が可能な熱源と、前記底部の外周部に設けられ、前記第１方向で前記載置部側に延びるとともに、前記載置部を支持する支持部と、前記第１方向で前記載置部と前記底部との間に配置され、前記載置部の中心と前記底部の中心とを位置決めする位置決め部材と、を備え、前記位置決め部材は、前記載置部の中心に設けられた第１位置決め部と、前記底部の中心に設けられ、前記第１位置決め部と前記第１方向に対向する第２位置決め部と、前記第１位置決め部と前記第２位置決め部とを篏合する篏合部と、を備え、前記篏合部は、前記第１位置決め部及び前記第２位置決め部の一方に設けられ、前記第１方向に凹み形成された篏合溝と、前記第１位置決め部及び前記第２位置決め部の他方に設けられ、前記第１方向で前記篏合溝に向けて突出し、前記篏合溝に嵌め込まれる篏合突起部と、を備え、前記篏合突起部は、前記第１方向と直交する第２方向の幅が最も大きい最大幅部を有するとともに、前記最大幅部から前記第１方向で前記篏合溝の底面側に向かうにしたがって前記第２方向の幅が小さくなる先細り部を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、載置面の平面度及び平行度を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の第１実施形態に係る温度調節装置の平面図である。
本発明の第１実施形態に係る温度調節装置の断面図である。
本発明の第１実施形態に係る位置決め部材の拡大断面図である。
本発明の第１実施形態に係る位置決め部材の拡大斜視図である。
本発明の第１実施形態の変形例に係る位置決め部材の拡大断面図である。
本発明の第２実施形態に係る温度調節装置の断面図である。
本発明の第２実施形態に係る位置決め部材の拡大断面図である。
本発明の第２実施形態に係る位置決め部材の拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜第１実施形態＞
（温度調節装置の構成）
以下、本発明の第１実施形態に係る温度調節装置１について、図１から図４を参照して説明する。図１に示す温度調節装置１は、半導体ウエハ（以下、単にウエハＡと称する。）を温度調節しながら、ウエハＡに成膜、露光、及びエッチング等を行う。このウエハＡは、温調対象物の一例である。
【００１０】
図１及び、図２に示すように、温度調節装置１は、例えば円盤状に形成されている。温度調節装置１は、トッププレート１０（載置部）と、ボトムプレート２０（底部）と、ペルチェモジュール２（熱源）と、クーリングプレート３と、支持部３０と、位置決め部材４０と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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