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公開番号2025100912
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2025072678,2022557462
出願日2025-04-24,2021-10-14
発明の名称熱伝導シート保持体及び放熱装置の製造方法
出願人株式会社レゾナック
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類B32B 7/027 20190101AFI20250626BHJP(積層体)
要約【課題】効率的に放熱装置を製造することが可能な熱伝導シート保持体を提供する。
【解決手段】長尺状のキャリアフィルムと、複数の熱伝導シートと、前記複数の熱伝導シートを覆う長尺状のカバーフィルムと、をこの順で備え、隣接する前記熱伝導シートの最短距離は2mm以上であり、前記複数の熱伝導シートは、前記キャリアフィルム及び前記カバーフィルムの長手方向に間隔を空けて配置され、前記複数の熱伝導シートは、前記カバーフィルム及び前記キャリアフィルムから剥離可能である熱伝導シート保持体。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
長尺状のキャリアフィルムと、複数の熱伝導シートと、前記複数の熱伝導シートを覆う長尺状のカバーフィルムと、をこの順で備え、
隣接する前記熱伝導シートの最短距離は２ｍｍ以上であり、
前記複数の熱伝導シートは、前記キャリアフィルム及び前記カバーフィルムの長手方向に間隔を空けて配置され、前記複数の熱伝導シートは、前記カバーフィルムから剥離可能であり、
前記キャリアフィルムと前記複数の熱伝導シートとの間に離型層をさらに備え、前記離型層を介して前記複数の熱伝導シートは前記キャリアフィルムから剥離可能であり、
前記キャリアフィルムの長手方向に沿って配置された複数の前記離型層を備え、
前記複数の離型層の各々に１個以上の前記熱伝導シートが配置されており、
前記カバーフィルムが鉛直方向下側、前記キャリアフィルムが鉛直方向上側となるように配置した際に、隣り合う前記離型層及び、隣り合う前記離型層にそれぞれ配置されることで隣り合う前記熱伝導シートによって形成される隙間の形状が、熱伝導シート保持体の幅方向から見て凸形状である熱伝導シート保持体。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
前記カバーフィルムと前記熱伝導シートとの間の剥離力よりも前記キャリアフィルムと前記熱伝導シートとの間の剥離力の方が大きい請求項１に記載の熱伝導シート保持体。
【請求項３】
前記熱伝導シートの平均厚さは、５０μｍ～５００μｍである請求項１又は請求項２に記載の熱伝導シート保持体。
【請求項４】
前記熱伝導シートは、熱伝導フィラと、樹脂とを含有する請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の熱伝導シート保持体。
【請求項５】
長手方向に沿ってロール状に巻き取られている請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の熱伝導シート保持体。
【請求項６】
前記キャリアフィルム及び前記カバーフィルムの長手方向と直交する幅方向において、前記キャリアフィルムの幅及び前記カバーフィルムの幅は、前記熱伝導シートの幅よりも大きい請求項１～請求項５のいずれか１項に記載の熱伝導シート保持体。
【請求項７】
請求項１～請求項６のいずれか１項に記載の熱伝導シート保持体を用いて前記熱伝導シートを発熱体と放熱体の間に介在させてなる放熱装置を製造する放熱装置の製造方法であって、
前記熱伝導シート保持体から前記カバーフィルムを剥離する工程と、
前記カバーフィルムが剥離された前記熱伝導シート保持体において、前記熱伝導シートを発熱体及び放熱体の一方に圧着させる工程と、
前記発熱体及び前記放熱体の一方が接着した前記熱伝導シートから前記キャリアフィルムを剥離する工程と、
前記熱伝導シートの前記発熱体及び前記放熱体の一方が接着した側とは反対側に前記発熱体及び前記放熱体の他方を圧着させる工程と、
を備える放熱装置の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱伝導シート保持体及び放熱装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、多層配線板を用いた半導体パッケージにおける配線及び電子部品の搭載密度の高密度化による発熱量が増大し、半導体素子の高集積化による単位面積当たりの発熱量が増大しており、半導体パッケージからの熱放散性を高めることが望まれている。
【０００３】
半導体パッケージ等の発熱体とアルミニウム、銅等の放熱体との間に、熱伝導グリース又は熱伝導シートを挟んで密着させることにより熱を放散する放熱装置が一般に簡便に使用されている。通常、熱伝導グリースよりも熱伝導シートの方が、放熱装置を組み立てる際の作業性に優れている。
【０００４】
熱伝導シートとして、熱伝導フィラを充填した樹脂シートが知られている。熱伝導フィラを充填した熱伝導性に優れる樹脂シートとして、熱伝導性の高い無機粒子を熱伝導フィラとして選択し、さらに無機粒子をシート面に対し垂直に配向させた樹脂シートが種々提案されている。
例えば、シート面に関してほぼ垂直な方向に熱伝導フィラ（窒化ホウ素）が配向した熱伝導シート（例えば、特許文献１参照）、及びゲル状物質に分散された炭素繊維がシート面に対して垂直に配向した構造の熱伝導シート（例えば、特許文献２参照）が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－２６２０２号公報
特開２００１－２５０８９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体パッケージ等の発熱体とアルミニウム、銅等の放熱体との間に、特許文献１及び２に記載されている熱伝導シートを挟んで密着させることで放熱装置を製造することが可能であるが、放熱装置の需要が高まっていることから、効率的に放熱装置を製造可能な方法、そのような方法に用いられる熱伝導シート等が求められている。
【０００７】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであり、効率的に放熱装置を製造することが可能な熱伝導シート保持体、及びこの熱伝導シート保持体を用いた放熱装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための具体的手段は、以下の態様を含む。
＜１＞長尺状のキャリアフィルムと、複数の熱伝導シートと、前記複数の熱伝導シートを覆う長尺状のカバーフィルムと、をこの順で備え、前記複数の熱伝導シートは、前記キャリアフィルム及び前記カバーフィルムの長手方向に間隔を空けて配置され、前記複数の熱伝導シートは、前記カバーフィルム及び前記キャリアフィルムから剥離可能である熱伝導シート保持体。
＜２＞前記キャリアフィルムと前記複数の熱伝導シートとの間に離型層をさらに備え、前記離型層を介して前記複数の熱伝導シートは前記キャリアフィルムから剥離可能である
＜１＞に記載の熱伝導シート保持体。
＜３＞前記キャリアフィルムの長手方向に沿って配置された複数の前記離型層を備え、前記複数の離型層の各々に１個以上の前記熱伝導シートが配置されている＜２＞に記載の熱伝導シート保持体。
＜４＞前記カバーフィルムが鉛直方向下側、前記キャリアフィルムが鉛直方向上側となるように配置した際に、隣り合う前記離型層及び、隣り合う前記離型層にそれぞれ配置されることで隣り合う前記熱伝導シートによって形成される隙間の形状が、熱伝導シート保持体の幅方向から見て凸形状である＜３＞に記載の熱伝導シート保持体。
＜５＞前記カバーフィルムと前記熱伝導シートとの間の剥離力よりも前記キャリアフィルムと前記熱伝導シートとの間の剥離力の方が大きい＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の熱伝導シート保持体。
＜６＞前記熱伝導シートの平均厚さは、５０μｍ～５００μｍである＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の熱伝導シート保持体。
＜７＞前記熱伝導シートは、熱伝導フィラと、樹脂とを含有する＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の熱伝導シート保持体。
＜８＞長手方向に沿ってロール状に巻き取られている＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の熱伝導シート保持体。
＜９＞前記キャリアフィルム及び前記カバーフィルムの長手方向と直交する幅方向において、前記キャリアフィルムの幅及び前記カバーフィルムの幅は、前記熱伝導シートの幅よりも大きい＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の熱伝導シート保持体。
＜１０＞隣接する前記熱伝導シートの最短距離は２ｍｍ以上である＜１＞～＜９＞のいずれか１つに記載の熱伝導シート保持体。
＜１１＞前記キャリアフィルムの表面に切れ込みが発生していない＜１＞～＜１０＞のいずれか１つに記載の熱伝導シート保持体。
【０００９】
＜１２＞＜１＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の熱伝導シート保持体を用いて前記熱伝導シートを発熱体と放熱体の間に介在させてなる放熱装置を製造する放熱装置の製造方法であって、前記熱伝導シート保持体から前記カバーフィルムを剥離する工程と、前記カバーフィルムが剥離された前記熱伝導シート保持体において、前記熱伝導シートを発熱体及び放熱体の一方に圧着させる工程と、前記発熱体及び前記放熱体の一方が接着した前記熱伝導シートから前記キャリアフィルムを剥離する工程と、前記熱伝導シートの前記発熱体及び前記放熱体の一方が接着した側とは反対側に前記発熱体及び前記放熱体の他方を圧着させる工程と、を備える放熱装置の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、効率的に放熱装置を製造することが可能な熱伝導シート保持体、及びこの熱伝導シート保持体を用いた放熱装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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