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公開番号2025056674
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-08
出願番号2023166286
出願日2023-09-27
発明の名称加熱装置及び磁気記録媒体の製造方法
出願人株式会社レゾナック・ハードディスク,ウシオ電機株式会社
代理人弁理士法人ITOH,個人,個人
主分類G11B 5/84 20060101AFI20250401BHJP(情報記憶)
要約【課題】中心部に孔が形成された円盤形状を有するワークの表面を高い生産性かつ高い均一性で加熱することができる加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ワークに光を照射することにより、前記ワークを加熱する加熱装置であって、被照射面は、前記ワークの孔が形成されている第1領域と、前記第1領域を外から囲む第2領域と、前記第2領域の外周から前記ワークの外周まで及ぶ第3領域とを含み、前記孔の半径をR_H、前記ワークの外周の半径をR_W、前記第2領域の外周の半径を0.30R_H+0.70R_W、前記第3領域の外周の半径をR_Wとし、前記第1領域への前記光の平均照射量をI₁、前記第2領域への前記光の平均照射量をI₂、前記第3領域への前記光の平均照射量をI₃とすると、I₁/I₂は、1.00以下であり、I₃/I₂は、0.90以上1.50以下であることを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
中心部に孔が形成された円盤形状を有し、互いに対向する１対の主表面を有するワークに光を照射することにより、前記ワークを加熱する加熱装置であって、
前記１対の主表面のうち少なくとも一方の主表面に対向し、前記ワークに前記光を照射する照射部を有し、
前記照射部は、前記ワークの少なくとも一方の前記主表面に対向する面に複数の発光素子を備え、
前記ワークの前記主表面が含まれる平面を被照射面とすると、前記被照射面は、前記ワークの前記孔が形成されている第１領域と、前記第１領域を外から囲む第２領域と、前記第２領域の外周から前記ワークの外周まで及ぶ第３領域とを含み、
前記孔の半径をＲ
Ｈ
、前記ワークの外周の半径をＲ
Ｗ
、前記第２領域の外周の半径を０．３０Ｒ
Ｈ
＋０．７０Ｒ
Ｗ
、前記第３領域の外周の半径をＲ
Ｗ
とし、
前記第１領域への前記光の平均照射量をＩ
１
、前記第２領域への前記光の平均照射量をＩ
２
、前記第３領域への前記光の平均照射量をＩ
３
とすると、
Ｉ
１
／Ｉ
２
は、１．００以下であり、Ｉ
３
／Ｉ
２
は、０．９０以上１．５０以下であることを特徴とする加熱装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第２領域及び前記第３領域の各々における前記光の照射強度の最小値は、その領域内における前記光の平均照射量の０．８０倍以上１．５０倍以下である請求項１に記載の加熱装置。
【請求項３】
前記第２領域は、前記第１領域に隣接する第２１領域と、前記第２１領域の外側に位置する第２２領域とを含み、
前記第１領域の外周の半径をＲ
Ｗ１
、前記第２領域の外周の半径をＲ
Ｗ２
としたとき、前記第２１領域の半径を０．５０Ｒ
Ｗ１
＋０．５０Ｒ
Ｗ２
とし、
前記第２１領域における前記光の平均照射量をＩ
２１
、前記第２２領域における前記光の平均照射量をＩ
２２
とすると、
Ｉ
２１
／Ｉ
２２
は、０．７０以上１．５０以下あることを特徴とする請求項１に記載の加熱装置。
【請求項４】
前記照射部と前記ワークとの間の距離は、前記ワークの外周の半径の０．０５０倍以上２．０倍以下である請求項１に記載の加熱装置。
【請求項５】
中心部に孔が形成された円盤形状を有し、互いに対向する１対の主表面を有するワークに磁性層を形成する磁性層形成工程を含む磁気記録媒体の製造方法であって、
前記磁性層形成工程の後に、前記ワークに光を照射することにより、前記ワークを加熱する加熱工程を有し、
前記加熱工程は、前記ワークの前記１対の主表面のうち少なくとも一方の主表面に対向する面に複数の発光素子を備えた照射部により、前記ワークの少なくとも一方の前記主表面に光を照射することにより行われ、
前記ワークの前記主表面が含まれる平面を被照射面とすると、前記被照射面は、前記ワークの前記孔が形成されている第１領域と、前記第１領域を外から囲む第２領域と、前記第２領域の外周から前記ワークの外周まで及ぶ第３領域とを含み、
前記孔の半径をＲ
Ｈ
、前記ワークの外周の半径をＲ
Ｗ
、前記第２領域の外周の半径を０．３０Ｒ
Ｈ
＋０．７０Ｒ
Ｗ
、前記第３領域の外周の半径をＲ
Ｗ
とし、
前記第１領域への前記光の平均照射量をＩ
１
、前記第２領域への前記光の平均照射量をＩ
２
、前記第３領域への前記光の平均照射量をＩ
３
とすると、
Ｉ
１
／Ｉ
２
は、１．００以下であり、Ｉ
３
／Ｉ
２
は、０．９０以上１．５０以下であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱装置及び磁気記録媒体の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
各種データを記録して保管するための記録媒体として、磁気記録媒体が広く使用されている。磁気記録媒体の構成としては、例えば、基板上に形成された軟磁性層及び下地層等の上に、磁性層が形成されている。
【０００３】
記録密度の向上の要求に対して、磁性層の構造の微細化が検討されている。また、記録品質の向上のために、磁性層にはＦｅＰｔ合金等の熱揺らぎ耐性の高い材料が用いられる。このような材料を用いる場合、磁気記録媒体の製造工程において、磁性層の形成後、この磁性層の規則化のため、加熱処理が行われることが多い。
【０００４】
例えば、特許文献１には、基板を保持する１又は複数の基板ホルダと、薄膜材料源と、基板ホルダと薄膜材料源との間に退避可能に配置されるシャッタと、が成膜室内に配置された成膜装置において、シャッタに、基板に対応して基板加熱用の面状ヒータを１又は複数個、設置した成膜装置が記載されている。
【０００５】
例えば、特許文献２には、複数の発光素子及び冷却部材を備えた複数の加熱用光源モジュールが複数配置された加熱用光源装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００２－１２９３２６号公報
特開２０２２－１７２７７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
磁気記録媒体は、製造コストの低減が求められる。また、中心部に孔が形成された円盤形状を有する磁気記録媒体が広く用いられている。そのため、製造工程におけるワークも同様の形状を有していることが多い。
【０００８】
特許文献１では、面状ヒータとして、熱分解窒化ホウ素（ＰＢＮ）のような絶縁性基板上に熱分解グラファイト（ＰＧ）のような抵抗体が所定のパターンに形成された構成が記載されている。このようなヒータはコストが非常に高く、磁気記録媒体の製造コストの上昇につながる。また、面内での加熱量の分布をコントロールすることが難しい。そのため、過剰な加熱により不良品が発生する場合がある。また、中心部に孔が形成されたワークを加熱する際に、孔を通り抜ける赤外線の量により、装置内の部品が加熱されやすく、装置を保護するための手間がかかり、コストも高くなる。
【０００９】
特許文献２では、発光素子としてＬＥＤ素子を用いる構成が記載されている。しかし、加熱中は、基板の外周端部から熱が逃げるため、特許文献２に開示されている発光素子の配置では、基板外周付近は内側に比べて温度が低くなる。
【００１０】
そこで本発明の一実施形態は、中心部に孔が形成された円盤形状を有するワークの表面を高い生産性かつ高い均一性で加熱することができる加熱装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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