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公開番号2025050495
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023159320
出願日2023-09-25
発明の名称真空封止弁
出願人株式会社エー・アンド・デイ
代理人弁理士法人あお葉国際特許事務所
主分類F16K 1/24 20060101AFI20250328BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】パーティクルの発生を抑制した真空封止弁を提供する。
【解決手段】壁体に形成される開口部を封止/封止解除する弁体と、前記壁体に略平行に進退移動可能なシャフト部材と、前記弁体と前記シャフト部材とを互いに変位可能に接続するリンク機構と、前記シャフト部材または前記弁体に当接して、前記弁体を前記開口部へと移動させるローラと、を備え、前記ローラは、両端部が縮径した軸部を有する円柱状の回転体であり、前記軸部を軸孔に軸支されて回動可能に支持され、前記軸孔には前記軸部を押し返すように付勢された弾性部材が配置されている真空封止弁を提供する。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
壁体に形成される開口部を封止／封止解除する弁体と、
前記壁体に略平行に進退移動可能なシャフト部材と、
前記弁体と前記シャフト部材とを互いに変位可能に接続するリンク機構と、
前記シャフト部材または前記弁体に当接して、前記弁体を前記開口部へと移動させるローラと、
を備え、
前記ローラは、両端部が縮径した軸部を有する円柱状の回転体であり、前記軸部を軸孔に軸支されて回動可能に支持され、
前記軸孔には前記軸部を押し返すように付勢された弾性部材が配置されている、
ことを特徴とする真空封止弁。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記ローラの前記軸部の端面は、外側に突出する曲面であり、
前記弾性部材は板バネであり、前記軸孔は貫通孔に構成され、前記貫通孔の外側開口部を塞いで配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空封止弁。
【請求項３】
前記ローラには、当接する前記シャフト部材または前記弁体の移動を案内する案内溝が設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空封止弁。
【請求項４】
前記開口部は、前記壁体に設けられた段差部に形成されており、
前記軸孔が設けられ、前記ローラを支持する支持部材が、前記段差部とは離間して、前記壁体に取り付けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空封止弁。
【請求項５】
前記ローラは、前記弁体の前方に配置され、前記シャフト部材の進退移動により、前記弁体の前面に当接して、前記シャフト部材の進退移動を、前記リンク機構を介して、前記弁体の前記開口部への移動へと変換する下ローラ、または／および、前記開口部に対して前記シャフト部材を挟んで対向する位置に配置され、前記弁体の封止状態で前記シャフト部材と当接して、前記シャフト部材の変形を抑制する上ローラである、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空封止弁。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空室を仕切る仕切壁に設けられた開口部の開閉を行う真空封止弁に関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡等、真空室を有する装置には、真空室内を仕切るための仕切壁と、その仕切壁に設けられた開口部を封止する真空封止弁とが設けられている。
【０００３】
例えば特許文献１では、開口部を気密に封止するための弁体と、リンク機構を介してこの弁体を保持する基体と、この基体の一端に連結されて、前記基体を移動させるシャフト部材とを備えているゲートバルブ（真空封止弁）が公開されている。シャフトが移動すると、固定手段の受孔に基体の挿入部が係合され、弁体が開口部を気密に封止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００６－２００７０９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献１では、受孔に挿入部が係合する際に、金属同士が摺動して、パーティクルが発生する。特に、特許文献１での係合方法は螺合であるため、雄螺子と雌螺子が摺動して摩擦によりパーティクルが多数発生しやすい。パーティクルは開口部近傍に落下すると、開口部の気密な封止を阻害する。
本発明は、前記問題に鑑みてなされたものであり、パーティクルの発生を抑制した真空封止弁を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するため、壁体に形成される開口部を封止／封止解除する弁体と、前記壁体に略平行に進退移動可能なシャフト部材と、前記弁体と前記シャフト部材とを互いに変位可能に接続するリンク機構と、前記シャフト部材または前記弁体に当接して、前記弁体を前記開口部へと移動させるローラと、を備え、前記ローラは、両端部が縮径した軸部を有する円柱状の回転体であり、前記軸部を軸孔に軸支されて回動可能に支持され、前記軸孔には前記軸部を押し返すように付勢された弾性部材が配置されているように構成した。
【０００７】
また、ある態様においては、前記ローラの前記軸部の端面は、外側に突出する曲面であり、前記弾性部材は板バネであり、前記軸孔は貫通孔に構成され、前記貫通孔の外側開口部を塞いで配置されているものとした。
【０００８】
また、ある態様においては、前記ローラには、当接する前記シャフト部材または前記弁体の移動を案内する案内溝が設けられているものとした。
【０００９】
また、ある態様においては、前記開口部は、前記壁体に設けられた段差部に形成されており、前記軸孔が設けられ、前記ローラを支持する支持部材が、前記段差部とは離間して、前記壁体に取り付けられているものとした。
【００１０】
また、ある態様においては、前記ローラは、前記弁体の前方に配置され、前記シャフト部材の進退移動により、前記弁体の前面に当接して、前記シャフト部材の進退移動を、前記リンク機構を介して、前記弁体の前記開口部への移動へと変換する下ローラ、または／および、前記開口部に対して前記シャフト部材を挟んで対向する位置に配置され、前記弁体の封止状態で前記シャフト部材と当接して、前記シャフト部材の変形を抑制する上ローラであるものとした。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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