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公開番号2025047708
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-03
出願番号2023156358
出願日2023-09-21
発明の名称ピックアップ部材、ピックアップ治具およびピックアップ部材の作製方法
出願人日亜化学工業株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/52 20060101AFI20250326BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】対象の素子のみを従来よりも容易にピックアップ可能なピックアップ部材を提供する。
【解決手段】基部と、基部の上面から延伸する凸部と、を有する、素子をピックアップする部材であって、凸部の先端面の一部の領域に形成された粘着面と、凸部の先端面の他の領域に形成された非粘着面と、を備えたピックアップ部材。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基部と、前記基部の上面から延伸する凸部と、を有する、素子をピックアップする部材であって、
前記凸部の先端面の一部の領域に形成された粘着面と、
前記凸部の先端面の他の領域に形成された非粘着面と、
を備えたピックアップ部材。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記粘着面は、前記粘着面の外周の一部が、前記凸部の先端面の外周の一部をなす、請求項１に記載のピックアップ部材。
【請求項３】
前記凸部の先端面の形状および前記粘着面の形状が多角形であり、
前記粘着面の角のうちの少なくとも一つが、前記凸部の先端面の角のうちの少なくとも一つと同じ位置に形成されている、請求項１に記載のピックアップ部材。
【請求項４】
前記凸部の先端面の面積は、ピックアップする素子の上面の面積よりも大きく、
前記粘着面の面積は、ピックアップする素子の上面の面積と略同一か、またはピックアップする素子の上面の面積よりも小さい、請求項１～３のいずれか１つに記載のピックアップ部材。
【請求項５】
前記凸部の先端面は、前記基部の上面に対して傾斜しており、
前記粘着面は、前記凸部が延伸する方向において、前記凸部の先端面のうち前記基部から最も離れた部位を含む領域に形成されている、請求項１～３のいずれか１つに記載のピックアップ部材。
【請求項６】
基部と、前記基部の上面から延伸する凸部と、を有する、基板に載置された複数の素子から対象の素子をピックアップする部材であって、前記凸部の先端面の一部の領域に形成された粘着面と、前記凸部の先端面の他の領域に形成された非粘着面と、を有するピックアップ部材と、
前記ピックアップ部材を支持する支持部と、
を備えたピックアップ治具。
【請求項７】
前記凸部の先端面の面積は、ピックアップする素子の上面の面積よりも大きく、
前記粘着面の面積は、ピックアップする素子の上面の面積と略同一か、またはピックアップする素子の上面の面積よりも小さい、請求項６に記載のピックアップ治具。
【請求項８】
粘着性の材料からなり、凸部を有する構造体を準備する工程と、
前記凸部の先端面の一部の領域を除く他の領域に粘着性低減処理を施すことにより非粘着面を形成する工程と、
を含む、ピックアップ部材の作製方法。
【請求項９】
前記粘着性低減処理は、前記凸部の先端面の他の領域にプラズマを照射することにより、前記他の領域の粘着性を低減する処理である、請求項８に記載のピックアップ部材の作製方法。
【請求項１０】
前記粘着性低減処理は、オゾンガスで前記凸部の先端面の他の領域の表面を酸化することにより、前記他の領域の粘着性を低減する処理である、請求項８に記載のピックアップ部材の作製方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピックアップ部材、ピックアップ治具およびピックアップ部材の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、発光素子のチップサイズの微細化が急速に進んでおり、数１０μｍ角のチップサイズを有するマイクロＬＥＤ（Light Emitting Diode）を画素として用いた画像表示装置の需要が高まりつつある。
【０００３】
このようなマイクロＬＥＤを用いた表示装置や発光装置は、素子を基板上に精度よく配列する必要があるが、位置ずれ等の実装不良が生じることがある。それゆえ、実装不良となった素子をピックアップして修復する必要がある。
【０００４】
従来、このような微小な素子のピックアップ方法として、粘着性を有する材質で構成された凸部がマトリックス状に形成されたスタンプ層を有するスタンプツールの凸部を基板の素子の上面に押し付けた後、当該スタンプツールを持ち上げることにより、対象の素子のみをピックアップする方法が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２２-９８２９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、ピックアップ対象の素子のみを従来よりも容易にピックアップ可能なピックアップ部材、ピックアップ治具およびピックアップ部材の作製方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基部と、基部の上面から延伸する凸部と、を有する、素子をピックアップする部材であって、凸部の先端面の一部の領域に形成された粘着面と、凸部の先端面の他の領域に形成された非粘着面と、を備えたピックアップ部材を提供する。
また、本発明は、基部と、基部の上面から延伸する凸部と、を有する、基板に載置された複数の素子から対象の素子をピックアップする部材であって、凸部の先端面の一部の領域に形成された粘着面と、凸部の先端面の他の領域に形成された非粘着面と、を有するピックアップ部材と、ピックアップ部材を支持する支持部と、を備えたピックアップ治具を提供する。
また、本発明は、粘着性の材料からなり、凸部を有する構造体を準備する工程と、凸部の先端面の一部の領域を除く他の領域に粘着性低減処理を施すことにより非粘着面を形成する工程と、を含む、ピックアップ部材の作製方法を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、対象の素子のみを従来よりも容易にピックアップ可能なピックアップ部材、ピックアップ治具およびピックアップ部材の作製方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の第１実施形態に係るピックアップ治具の搬送装置の概略構成を示す説明図である。
本発明の第１実施形態に係るピックアップ治具の概略構成を示す説明図である。
図１に示す基板に実装された状態の素子の配列の一例を示す説明図である。図３（Ａ）は、基板の面上にマトリックス状に配列された素子の配列を示す。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＹ軸方向から見た素子の配列を示す。
本発明の第１実施形態に係るピックアップ治具を素子の上に移動させた状態をＹ軸方向から見た説明図である。
本発明の第１実施形態に係るピックアップ治具のピックアップ部材の凸部の先端面の粘着面および非粘着面の形成例である。
本発明の第１実施形態に係るピックアップ治具のピックアップ部材の凸部の先端面の粘着面および非粘着面のその他の形成例である。
本発明の第１実施形態に係るピックアップ治具のピックアップ部材の作製方法の一例を示す説明図である。
本発明の第２実施形態に係るピックアップ治具の概略構成を示す説明図である。
本発明の第２実施形態に係るピックアップ治具のピックアップ部材の作製方法の一例を示す説明図である。
本発明の第２実施形態の変形例に係るピックアップ治具の概略構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を用いて本発明をさらに詳述する。以下の説明は、すべての点で例示であって、本発明を限定するものと解されるべきではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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