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公開番号2025042958
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-28
出願番号2023150181
出願日2023-09-15
発明の名称異方導電性シート、電気検査装置及び電気検査方法
出願人三井化学株式会社
代理人弁理士法人鷲田国際特許事務所
主分類H01R 11/01 20060101AFI20250321BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】押し込み荷重を繰り返し受けても導電層の破断等が少なく、電気抵抗値が増大しにくい異方導電性シートを提供する。
【解決手段】異方導電性シートは、厚み方向の一方の側に位置し、検査対象物が配置される第1面と、他方の側の第2面と、前記第1面から前記第2面まで貫通する複数の貫通孔とを有する絶縁層と、前記複数の貫通孔のそれぞれの内壁面に配置された複数の導電部と、を含む。絶縁層は、第1エラストマー層と、前記第1エラストマー層よりも前記第2面側に配置された第2エラストマー層と、を含み、前記第2エラストマー層の硬度は、前記第1エラストマー層の硬度よりも低い。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
厚み方向の一方の側の第１面と、他方の側の第２面と、前記第１面から前記第２面まで貫通する複数の貫通孔とを有する絶縁層と、
前記複数の貫通孔のそれぞれの内壁面に配置された複数の導電部と、
前記絶縁層の前記第１面上に配置され、１又は２以上の前記導電部と接続された複数の第１導電層と、
前記絶縁層の前記第２面上に配置され、１又は２以上の前記導電部と接続された複数の第２導電層と、
を含み、
前記絶縁層は、
第１エラストマー層と、
前記第１エラストマー層よりも前記第２面側に配置された第２エラストマー層と、
を含み、
前記第２エラストマー層の硬度は、前記第１エラストマー層の硬度よりも低い、
異方導電性シート。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記第２エラストマー層を挟んで前記第１エラストマー層とは反対側に配置された第３エラストマー層をさらに含み、
前記第２エラストマー層の硬度は、前記第３エラストマー層の硬度よりも低い、
請求項１に記載の異方導電性シート。
【請求項３】
前記第１面側に、検査対象物が配置される、
請求項１又は２に記載の異方導電性シート。
【請求項４】
前記第１エラストマー層の硬度は、５０以上である、
請求項１又は２に記載の異方導電性シート。
【請求項５】
前記第２エラストマー層の硬度は、１０以上５０未満である、
請求項１又は２に記載の異方導電性シート。
【請求項６】
前記第１エラストマー層の硬度と前記第２エラストマー層の硬度の差は、１０以上である、
請求項１又は２に記載の異方導電性シート。
【請求項７】
前記第２エラストマー層の厚みは、前記第１エラストマー層の厚みよりも大きい、
請求項１又は２に記載の異方導電性シート。
【請求項８】
前記第２エラストマー層の厚みＴ２の、前記第１エラストマー層の厚みＴ１に対する比Ｔ２／Ｔ１は、１．５～５である、
請求項１に記載の異方導電性シート。
【請求項９】
前記絶縁層に含まれるエラストマー層のうち最も硬度が高いエラストマー層の合計厚みＺ１に対する、前記最も硬度が高いエラストマー層以外のエラストマー層の合計厚みＺ２の比Ｚ２／Ｚ１は、１．５～５である、
請求項２に記載の異方導電性シート。
【請求項１０】
前記第１エラストマー層及び前記第２エラストマー層は、それぞれシリコーンゴム組成物の架橋物を含む、
請求項１又は２に記載の異方導電性シート。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、異方導電性シート、電気検査装置及び電気検査方法に関する。
続きを表示（約 3,200 文字）【背景技術】
【０００２】
電子製品に搭載されるプリント配線板等の半導体デバイスは、通常、電気検査に供される。電気検査は、通常、電気検査装置の、電極を有する基板と、半導体デバイス等の検査対象物の端子とを電気的に接続させ、検査対象物の端子間に所定の電圧を印加したときの電流を読み取ることにより行われる。そして、電気検査装置の基板の電極と、検査対象物の端子との電気的接続を確実に行うために、電気検査装置の基板と検査対象物との間に、異方導電性シートが配置される。
【０００３】
異方導電性シートは、厚み方向に導電性を有し、面方向に絶縁性を有するシートであり、電気検査におけるプローブ（接触子）として用いられる。このような異方導電性シートは、電気検査装置の基板と検査対象物との間の電気的接続を確実に行うために、押し込み荷重を加えて使用される。
【０００４】
異方性導電シートとしては、種々のものが知られている。図１Ａ及び１Ｂは、特許文献１の異方導電性シートの模式図である。特許文献１では、複数の貫通孔１２を有する絶縁層１１と、複数の貫通孔１２のそれぞれに対応して配置された複数の導電層１３とを有する異方導電性シート１０が開示されている（図１Ａ及び１Ｂ参照）。絶縁層１１は、エラストマー層１１Ａを含む（図１Ｂ参照）。このように、絶縁層１１は、エラストマー層１１Ａを含むことで、押し込み荷重を受けることによって弾性変形できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２０２１／１００８２４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の通り、電気検査を行う場合、電気検査装置の基板の電極と、検査対象物の端子とを電気的に確実に接続させるために、異方導電性シート上に検査対象物を載せた状態で、押し込み荷重を加える。しかしながら、上記のような異方導電性シートでは、押し込み荷重が加わる表層部分に負荷が集中しやすく、表層部分が他の部分と比べて歪みやすい。それにより、異方導電性シートの表層部分の導電層に亀裂が入ったり、導電層が破断したりしやすく、電気抵抗値が増大しやすいという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、押し込み荷重を繰り返し受けても導電層の破断等が少なく、電気抵抗値が増大しにくい異方導電性シート、電気検査装置及び電気検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題は、以下の構成によって解決することができる。
【０００９】
［１］厚み方向の一方の側の第１面と、他方の側の第２面と、前記第１面から前記第２面まで貫通する複数の貫通孔とを有する絶縁層と、前記複数の貫通孔のそれぞれの内壁面に配置された複数の導電部と、前記絶縁層の前記第１面上に配置され、１又は２以上の前記導電部と接続された複数の第１導電層と、前記絶縁層の前記第２面上に配置され、１又は２以上の前記導電部と接続された複数の第２導電層と、を含み、前記絶縁層は、第１エラストマー層と、前記第１エラストマー層よりも前記第２面側に配置された第２エラストマー層と、を含み、前記第２エラストマー層の硬度は、前記第１エラストマー層の硬度よりも低い、異方導電性シート。
［２］前記第２エラストマー層を挟んで前記第１エラストマー層とは反対側に配置された第３エラストマー層をさらに含み、前記第２エラストマー層の硬度は、前記第３エラストマー層の硬度よりも低い、［１］又は［２］に記載の異方導電性シート。
［３］前記第１面側に、検査対象物が配置される、［１］又は［２］に記載の異方導電性シート。
［４］前記第１エラストマー層の硬度は、５０以上である、［１］～［３］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［５］前記第２エラストマー層の硬度は、１０以上５０未満である、［１］～［４］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［６］前記第１エラストマー層の硬度と前記第２エラストマー層の硬度の差は、１０以上である、［１］～［５］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［７］前記第２エラストマー層の厚みは、前記第１エラストマー層の厚みよりも大きい、［１］～［６］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［８］前記第２エラストマー層の厚みＴ２の、前記第１エラストマー層の厚みＴ１に対する比Ｔ２／Ｔ１は、１．５～５である、［１］～［７］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［９］前記絶縁層に含まれるエラストマー層のうち最も硬度が高いエラストマー層の合計厚みＺ１に対する、前記最も硬度が高いエラストマー層以外のエラストマー層の合計厚みＺ２の比Ｚ２／Ｚ１は、１．５～５である、［１］～［８］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［１０］前記第１エラストマー層及び前記第２エラストマー層は、それぞれシリコーンゴム組成物の架橋物を含む、［１］～［９］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［１１］前記絶縁層は、前記第１エラストマー層の、前記第２エラストマー層とは反対側の面上に配置され、前記第１面を構成する１又は複数の第１表層樹脂層と、前記第２エラストマー層の、前記第１エラストマー層とは反対側の面上に配置され、前記第２面を構成する１又は複数の第２表層樹脂層と、をさらに有し、前記１又は複数の第１表層樹脂層及び前記１又は複数の第２表層樹脂層の２５℃での貯蔵弾性率は、前記第１エラストマー層及び前記第２エラストマー層の２５℃での貯蔵弾性率よりも高い、［１］～［１０］のいずれかに記載の異方導電性シート。
［１２］前記絶縁層は、前記第１エラストマー層と前記第２エラストマー層との間に配置された中間樹脂層をさらに有し、前記中間樹脂層の２５℃での貯蔵弾性率は、前記第１エラストマー層及び前記第２エラストマー層の２５℃での貯蔵弾性率よりも高い、［１１］に記載の異方導電性シート。
［１３］前記１又は複数の第１表層樹脂層は、複数の第１表層樹脂層であり、前記１又は複数の第２表層樹脂層は、複数の第２表層樹脂層であり、前記複数の第１表層樹脂層上にそれぞれ配置され、前記複数の第１導電層は、前記複数の第１表層樹脂層上にそれぞれ配置され、前記複数の第２導電層は、前記複数の第２表層樹脂層上にそれぞれ配置されている、［１１］又は［１２］に記載の異方導電性シート。
［１４］複数の電極を有する検査用基板と、前記検査用基板の前記複数の電極が配置された面上に配置された、［１］～［１３］のいずれかに記載の異方導電性シートと、を有し、検査対象物は、前記第１面側に配置される、電気検査装置。
［１５］複数の電極を有する検査用基板と、端子を有する検査対象物とを、［１］～［１３］のいずれかに記載の異方導電性シートを介して積層して、前記検査用基板の前記電極と、前記検査対象物の前記端子とを、前記異方導電性シートを介して電気的に接続する工程を有し、検査対象物は、前記第１面側に配置される、電気検査方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、押し込み荷重を繰り返し受けても導電層の破断等が少なく、電気抵抗値が増大しにくい異方導電性シート、電気検査装置及び電気検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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