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公開番号2025042735
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-28
出願番号2023149840
出願日2023-09-15
発明の名称被加工物の加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20250321BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】作業者の負担を軽減することができる被加工物の加工方法を提供する。
【解決手段】被加工物の加工方法であって、カセットから保持テーブルに搬送された被加工物の一方の面を撮像して撮像された画像から分割予定ラインの位置を検出するアライメントステップと、アライメントステップで分割予定ラインが検出できた被加工物を分割予定ラインに沿って加工する加工ステップと、加工ステップが実施された被加工物と、アライメントステップにおいて分割予定ラインを検出できず、加工ステップが実施されていないエラー被加工物と、を洗浄する洗浄ステップと、を制御ユニットが自動で実施する第一の自動処理と、第一の自動処理の実施後、洗浄ステップが実施されたエラー被加工物に対して少なくとも第一の自動処理のうち、アライメントステップと、加工ステップと、を制御ユニットが再度自動で実施する第二の自動処理と、を実施する。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を収容するカセットと、保持テーブルと、加工ユニットと、洗浄ユニットと、
各ユニットの間で被加工物を搬送する搬送アームと、を備える加工装置において、
一方の面に複数の分割予定ラインで区画された複数のデバイス領域が形成された被加工物を、該分割予定ラインに沿って加工する被加工物の加工方法であって、
該カセットから該保持テーブルに搬送された被加工物の一方の面を撮像して
撮像された画像から該分割予定ラインの位置を検出するアライメントステップと、
該アライメントステップで該分割予定ラインが検出できた被加工物を
該分割予定ラインに沿って加工する加工ステップと、
該加工ステップが実施された被加工物と、
該アライメントステップにおいて該分割予定ラインを検出できず、該加工ステップが実施されていないエラー被加工物と、を洗浄する洗浄ステップと、
を制御ユニットが自動で実施する第一の自動処理と、
該第一の自動処理の実施後、
該洗浄ステップが実施された該エラー被加工物に対して
少なくとも該第一の自動処理のうち、該アライメントステップと、該加工ステップと、を
該制御ユニットが再度自動で実施する第二の自動処理と、
を実施することを特徴とする被加工物の加工方法。
続きを表示（約 230 文字）【請求項２】
該制御ユニットは、
該第一の自動処理の該アライメントステップで該分割予定ラインを検出できなかった場合、他の被加工物に対して該第一の自動処理を継続することを特徴とする請求項１記載の被加工物の加工方法。
【請求項３】
該第二の自動処理は、
該カセットに収容される全ての被加工物に対して、
該第一の自動処理が実施された後に実施されることを特徴とする
請求項１または２に記載の被加工物の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の加工方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
被加工物の分割予定ラインを検出するアライメントステップ、被加工物を加工する加工ステップ、被加工物を洗浄する洗浄ステップ、及び洗浄後の被加工物をカセットに収容する収容ステップまでを加工装置の制御ユニットが自動で実施するフルオート運転が行われている。被加工物に付着した異物が原因でアライメントステップにおいてエラーが発生すると、その被加工物は加工ステップにおいて加工されないままカセットに収容される。このような加工方法においては、エラーにより加工されなかった被加工物の処理は、作業者が手動で行っていた。
【０００３】
また、被加工物の表面に形成されたパターンの位置に基づいて被加工物に形成された分割予定ラインを認識する加工位置検出方法が実施されていた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第５６０２５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の技術においては、アライメントステップでのエラーは、被加工物に付着した異物が原因であることがある。この場合、被加工物に付着した異物が洗浄ステップで除去された後、再度アライメントステップを実施するとアライメントに成功する場合がある。しかしながら、アライメントステップで失敗した被加工物に対し、作業者が手動で再度アライメントステップを適用するのは非効率的であった。したがって、作業者の負担を軽減する、という解決すべき課題がある。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、作業者の負担を軽減することができる被加工物の加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の被加工物の加工方法は、被加工物を収容するカセットと、保持テーブルと、加工ユニットと、洗浄ユニットと、各ユニットの間で被加工物を搬送する搬送アームと、を備える加工装置において、一方の面に複数の分割予定ラインで区画された複数のデバイス領域が形成された被加工物を、該分割予定ラインに沿って加工する被加工物の加工方法であって、該カセットから該保持テーブルに搬送された被加工物の一方の面を撮像して撮像された画像から該分割予定ラインの位置を検出するアライメントステップと、該アライメントステップで該分割予定ラインが検出できた被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ステップと、該加工ステップが実施された被加工物と、該アライメントステップにおいて該分割予定ラインを検出できず、該加工ステップが実施されていないエラー被加工物と、を洗浄する洗浄ステップと、を制御ユニットが自動で実施する第一の自動処理と、該第一の自動処理の実施後、該洗浄ステップが実施された該エラー被加工物に対して少なくとも該第一の自動処理のうち、該アライメントステップと、該加工ステップと、を該制御ユニットが再度自動で実施する第二の自動処理と、を実施する。
【０００８】
また、該制御ユニットは、該第一の自動処理の該アライメントステップで該分割予定ラインを検出できなかった場合、他の被加工物に対して該第一の自動処理を継続してもよい。
【０００９】
また、該第二の自動処理は、該カセットに収容される全ての被加工物に対して、該第一の自動処理が実施された後に実施されてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、作業者の負担を軽減することができる被加工物の加工方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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