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公開番号2025039766
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-21
出願番号2025003553,2023057752
出願日2025-01-09,2023-03-31
発明の名称感光性樹脂組成物、及び感光性エレメント
出願人旭化成株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20250313BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】密着性・解像性が良好なレジストパターンを実現可能であり、かつ、長期保管後であってもゲル化を抑制できる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】以下の成分:
(A)アルカリ可溶性高分子、
(B)エチレン性不飽和結合を有する化合物、及び
(C)ビイミダゾール光重合開始剤、
を含む感光性樹脂組成物であって、前記感光性樹脂組成物は、以下の成分:
(D)(d1)トリアゾール骨格と、(d2)長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格と、を有する成分、
を更に含み、そして、
上記(A)成分が、その構成単位のモノマー成分として、
(a)ヒドロキシ基を有する化合物、及び
(b)スチレン
を有する。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
以下の成分：
（Ａ）アルカリ可溶性高分子、
（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、及び
（Ｃ）光重合開始剤、
を含む感光性樹脂組成物であって、
前記感光性樹脂組成物は、以下の成分：
（Ｄ）（ｄ１）トリアゾール骨格と、（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格と、を有する成分、
を更に含み、そして、
上記（Ａ）成分が、その構成単位のモノマー成分として、
（ａ）ヒドロキシ基を有する化合物、及び
（ｂ）スチレン
を有する、感光性樹脂組成物。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
前記（Ａ）成分において、前記（ａ）ヒドロキシ基を有する化合物が２－ヒドロキシエチルメタクリレートである、請求項１に記載の感光性樹脂組成物
【請求項３】
前記（Ａ）成分において、前記（ｂ）スチレンを有するモノマー成分の比率が４０質量％以上である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記（Ａ）成分の重量平均分子量が５００００未満である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記（Ｄ）成分が、（ｄ１）トリアゾール骨格と、（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格とを１つの分子内に有する化合物である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記（Ｄ）成分が、（ｄ１）トリアゾール骨格を有する化合物と、（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格を有する化合物と、の混合物である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格が、炭素数が１６以上のアルキルアミン又はアルキルアルキレンジアミンである、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記（Ｄ）成分がカルボキシル基を有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記（ｄ１）トリアゾール骨格がカルボキシベンゾトリアゾール構造を有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記（Ｃ）成分が、ヘキサアリールビイミダゾール化合物を含む、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、及び感光性エレメントに関する。
続きを表示（約 3,100 文字）【背景技術】
【０００２】
プリント配線板は、一般的にはフォトリソグラフィープロセスを用いて製造される。フォトリソグラフィーとは、以下の工程によって、基板上に所望の配線パターンを形成する方法である。すなわち、まず、基板上に感光性樹脂組成物から成る層を形成し、該塗膜にパターン露光及び現像してレジストパターンを形成する。次いで、エッチング又はめっき処理により導体パターンを形成する。その後、基板上のレジストパターンを除去することによって、基板上に所望の配線パターンを形成する。
【０００３】
近年、電子機器の小型化・高密度化に伴い、配線基板にも従来よりも微細な配線の形成が求められている。このような要求を達成する配線板の製造方法として、ＭＳＡＰ（ＭｏｄｉｆｉｅｄＳｅｍｉＡｄｄｉｔｉｖｅＰｒｏｃｅｓｓ）及びＳＡＰ（ＳｅｍｉＡｄｄｉｔｉｖｅＰｒｏｃｅｓｓ）が注目されている。これらの方法において微細な配線を形成するためには、例えば、密着性・解像性がともに優れる硬化膜を用いて、ライン幅が１２μｍ以下のレジストパターンを形成することが必要とされている。
【０００４】
ここで、密着性・解像性等に優れた硬化膜を得ることが可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とし、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート単位を有するアルカリ可溶性高分子を含む、感光性樹脂組成物が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、レジストパターン形成後の基板の変色を防止すること、及び感光性樹脂組成物の保存安定性を向上させること等を目的として、ベンゾトリアゾール化合物を使用することが知られている（例えば、特許文献２～５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
国際公開第２０１４／１２５８８４号
特開２０１３－２４６３８７号公報
特開２０１６－１３９１５４号公報
特開２０２０－０７６９４５号公報
特開２００９－１８０７９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の感光性樹脂組成物は、時間が経過すると組成物のゲル化が進行するため、塗布ができなくなるといった問題が発生することがある。このようなゲル化は、感光性エレメントの製造効率に悪影響を及ぼす。加えて、特許文献２～５においても、感光性樹脂組成物のゲル化については未検討であった。
更に、特許文献１～５は、レジストパターンの解像性の向上を図る観点、及びレジストパターンの基板（例えば、銅基板）に対する密着性の向上を図る観点でも検討の余地があった。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みて提案されたものである。すなわち、本発明の目的は、密着性・解像性が良好なレジストパターンを実現可能であり、かつ、長期保管後であってもゲル化を抑制できる感光性樹脂組成物を提供すること、及び、かかる感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性エレメントを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、以下のとおりである。
［１］
以下の成分：
（Ａ）アルカリ可溶性高分子、
（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、及び
（Ｃ）光重合開始剤、
を含む感光性樹脂組成物であって、
前記感光性樹脂組成物は、以下の成分：
（Ｄ）（ｄ１）トリアゾール骨格と、（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格と、を有する成分、
を更に含み、そして、
上記（Ａ）成分が、その構成単位のモノマー成分として、
（ａ）ヒドロキシ基を有する化合物、及び
（ｂ）スチレン
を有する、感光性樹脂組成物。
［２］
前記（Ａ）成分において、前記（ａ）ヒドロキシ基を有する化合物が２－ヒドロキシエチルメタクリレートである、項目１に記載の感光性樹脂組成物
［３］
前記（Ａ）成分において、前記（ｂ）スチレンを有するモノマー成分の比率が４０質量％以上である、項目１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
［４］
前記（Ａ）成分の重量平均分子量が５００００未満である、項目１～３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
［５］
前記（Ｄ）成分が、（ｄ１）トリアゾール骨格と、（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格とを１つの分子内に有する化合物である、項目１～４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
［６］
前記（Ｄ）成分が、（ｄ１）トリアゾール骨格を有する化合物と、（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格を有する化合物と、の混合物である、項目１～５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
［７］
前記（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格が、炭素数が１６以上のアルキルアミン又はアルキルアルキレンジアミンである、項目１～６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
［８］
前記（Ｄ）成分がカルボキシル基を有する、項目１～７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
［９］
前記（ｄ１）トリアゾール骨格がカルボキシベンゾトリアゾール構造を有する、項目１～８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
［１０］
前記（Ｃ）成分が、ヘキサアリールビイミダゾール化合物を含む、項目１～９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
［１１］
支持フィルムと、上記支持フィルム上に形成された、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層と、を備える感光性エレメントであって、
前記感光性樹脂組成物が、以下の成分：
（Ａ）アルカリ可溶性高分子、
（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、
（Ｃ）光重合開始剤、及び
（Ｄ）（ｄ１）トリアゾール骨格と、（ｄ２）長鎖アルキルアミン又は長鎖アルキルアルキレンジアミン骨格と、を有する成分、を含み、
前記（Ａ）成分が、その構成単位のモノマー成分として、
（ａ）ヒドロキシ基を有する化合物、及び
（ｂ）スチレン
を有する、感光性エレメント。
［１２］
前記（Ａ）成分において、前記（ａ）ヒドロキシ基を有する化合物が２－ヒドロキシエチルメタクリレートである、項目１１に記載の感光性エレメント。
［１３］
前記（Ａ）成分において、前記（ｂ）スチレンを有するモノマー成分の比率が４０質量％以上である、項目１１又は１２に記載の感光性エレメント。
［１４］
前記（Ａ）成分の重量平均分子量が５００００未満である、項目１１～１３のいずれか１項に記載の感光性エレメント。
［１５］
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、密着性・解像性が良好なレジストパターンを実現可能であり、かつ、長期保管後であってもゲル化を抑制できる感光性樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、かかる感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性エレメントを提供することができる。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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