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公開番号2025070800
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023181353
出願日2023-10-20
発明の名称ローラモールド
出願人旭化成株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/027 20060101AFI20250424BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】検査マークに対応するパターンを印刷体等から除去するための後工程を省いて生産効率を向上させるとともに、検査効率をも向上させることができるローラモールドを提供する。
【解決手段】ローラモールド1は、所定の軸を中心に回転するように構成された円筒状又は円柱状の回転体10と、回転体10の表面に形成された微細パターン20と、を備えるものである。回転体10の表面には、微細パターン20のパターンずれ30が形成されており、パターンずれ30は、不可視なサイズを有している。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
所定の軸を中心に回転するように構成された円筒状又は円柱状の回転体と、前記回転体の表面に形成された微細パターンと、を備えるローラモールドであって、
前記回転体の表面には、前記微細パターンのパターンずれが形成されており、
前記パターンずれは、不可視なサイズを有している、ローラモールド。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
前記パターンずれは、前記回転体の周方向に周期的に形成されている、請求項１に記載のローラモールド。
【請求項３】
前記回転体の周方向における前記パターンずれの長さは、前記回転体の軸方向に沿って変化する、請求項２に記載のローラモールド。
【請求項４】
前記回転体の周方向における前記パターンずれの間隔は、５００μｍ以上１０ｍｍ以下である、請求項３に記載のローラモールド。
【請求項５】
前記パターンずれの前記回転体の周方向における位置は、前記回転体の軸方向における位置に関わらず略一定である、請求項１に記載のローラモールド。
【請求項６】
前記パターンずれの前記回転体の周方向における長さは、１μｍ以上１００μｍ以下である、請求項１に記載のローラモールド。
【請求項７】
前記パターンずれの前記回転体の軸方向における長さは、１μｍ以上１００μｍ以下である、請求項１に記載のローラモールド。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ローラモールドに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来より、所定の基板の表面に微細な周期構造（パターン）を形成する技術が提案され、実用化されている。かかる微細パターン形成技術においては、回転する可撓性基板に微細パターンを連続的に転写することが可能なローラ状の押し型（以下、「ローラモールド」と称する）の開発が進められている。
【０００３】
近年においては、所定のパターンを開口配列したマスクを、電子線露光用レジストを塗布したローラモールドの表面に近接配置し、ローラモールドを連続回転させながらマスク表面に電子ビームを照射し、マスクを透過した電子ビームによりレジストを露光し、これを現像してエッチングを行うことによってローラモールド表面にパターン形成用の凹凸を形成する技術が提案されている（特許文献１参照）。かかる技術を採用すると、簡易かつ低コストでローラモールドを製作することができる、とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－１２６８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ローラモールドには、位置合わせ等のために機能する検査マークが設けられるのが一般的である。しかし、このような検査マークに対応するパターンが、ローラモールドを使用して製作した印刷体や転写フィルムにも形成されてしまうため、従来は、このような検査マークに対応するパターンを印刷体等から除去するための工程（後工程）が必要になり、作業効率が低下するという問題があった。また、従来の検査マークは、主たるパターン群とは異なる位置に配置されることから、肝心の検査の際に検出し難い場合があった。
【０００６】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、検査マークに対応するパターンを印刷体等から除去するための後工程を省いて生産効率を向上させるとともに、検査効率をも向上させることができるローラモールドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するための本発明に係るローラモールドは、所定の軸を中心に回転するように構成された円筒状又は円柱状の回転体と、回転体の表面に形成された微細パターンと、を備えるものであって、回転体の表面には、微細パターンのパターンずれが形成されており、パターンずれは、不可視なサイズを有しているものである。パターンずれは、回転体の周方向に周期的に形成され得る。また、パターンずれの回転体の周方向及び軸方向における長さは、１μｍ以上１００μｍ以下に設定され得る。さらに、回転体の周方向におけるパターンずれの間隔は、５００μｍ以上１０ｍｍ以下に設定され得る。
【０００８】
かかる構成を採用すると、ローラモールドを構成する回転体の表面に微細パターンのパターンずれが形成されており、このパターンずれが不可視なサイズを有しているため、パターンずれを不可視の検査マークとして機能させることができる。このように不可視の検査マークとして機能するパターンずれは、ローラモールドを使用して製作した印刷体や転写フィルムにおいても認識されないため、後工程で除去する必要がないことから、生産効率の向上に寄与することができる。また、パターンずれは不可視であることから、検査に適した位置（例えばローラモールドの中央部）に配置することもできるため、検査効率の向上にも寄与することができる。
【０００９】
本発明に係るローラモールドにおいて、回転体の周方向におけるパターンずれの長さを、回転体の軸方向に沿って変化させることができる。
【００１０】
かかる構成を採用すると、回転体の周方向におけるパターンずれの長さを、回転体の軸方向に沿って変化させるため、干渉縞が発生し難いという利点がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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