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公開番号2025038358
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-19
出願番号2023144912
出願日2023-09-07
発明の名称保持部材および保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250312BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】板状部材の表面の均熱性が向上する保持部材、および、この保持部材を有する保持装置を提供すること。
【解決手段】本開示の一態様は、セラミックス部材10において、第2ゾーンZO2にて、発熱回路43として、内側発熱回路62と、内側発熱回路62よりもヒータ電極41の外周側に配置される外側発熱回路61と、を備え、外側発熱回路61のヒータライン42の長さである外側ヒータ線長L1は、内側発熱回路62のヒータライン42の長さである内側ヒータ線長L2よりも大きく、かつ、外側発熱回路61のヒータライン42の線幅である外側ヒータ線幅b1は、内側発熱回路62のヒータライン42の線幅である内側ヒータ線幅b2よりも大きい。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
板状部材と、
前記板状部材に埋設される発熱体と、
を有する保持部材において、
前記発熱体は、線状の発熱ラインにより形成される発熱回路を複数備え、
複数の前記発熱回路は、接続する電源毎に複数のゾーンに分かれて配置されており、
少なくとも１つの前記ゾーンにて、前記発熱回路として、内側発熱回路と、前記内側発熱回路よりも前記発熱体の外周側に配置される外側発熱回路と、を備え、
前記内側発熱回路と前記外側発熱回路のうちの一方の発熱回路の前記発熱ラインの長さは、他方の発熱回路の前記発熱ラインの長さよりも大きく、
かつ、
前記一方の発熱回路の前記発熱ラインの線幅は、前記他方の発熱回路の前記発熱ラインの線幅よりも大きいこと、
を特徴とする保持部材。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
請求項１の保持部材において、
前記一方の発熱回路の前記発熱ラインの線幅は、前記他方の発熱回路の前記発熱ラインの線幅の５倍以下の大きさであること、
を特徴とする保持部材。
【請求項３】
請求項１または２の保持部材において、
前記一方の発熱回路の前記発熱ラインの長さは、前記他方の発熱回路の前記発熱ラインの長さの５倍以下であること、
を特徴とする保持部材。
【請求項４】
請求項１または２の保持部材において、
前記一方の発熱回路は、前記外側発熱回路であり、
前記他方の発熱回路は、前記内側発熱回路であること、
を特徴とする保持部材。
【請求項５】
請求項１または２の保持部材において、
前記一方の発熱回路は、前記内側発熱回路であり、
前記他方の発熱回路は、前記外側発熱回路であること、
を特徴とする保持部材。
【請求項６】
請求項１または２の保持部材を有することを特徴とする、対象物を保持する保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持部材、および、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、円盤状のセラミックス基板（板状部材）に埋設され同心円状に形成されたヒータ電極を有するセラミックスヒータ（保持部材）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１２６７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されるセラミックスヒータにおいては、ヒータ電極は複数のゾーン（すなわち、内周側ゾーンと外周側ゾーンの２つのゾーン）に分かれている。このようにヒータ電極が複数のゾーンに分かれている場合に、１つのゾーン内において、複数のヒータ回路が設けられているときに、各ヒータ回路の発熱密度が異なると、温度のバラつきが生じてしまう。そのため、セラミックス基板の表面にて温度のバラつきが生じて、セラミックス基板の表面の均熱性が低下するおそれがある。
【０００５】
そこで、本開示は上記した課題を解決するためになされたものであり、板状部材の表面の均熱性が向上する保持部材、および、この保持部材を有する保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、板状部材と、前記板状部材に埋設される発熱体と、を有する保持部材において、前記発熱体は、線状の発熱ラインにより形成される発熱回路を複数備え、複数の前記発熱回路は、接続する電源毎に複数のゾーンに分かれて配置されており、少なくとも１つの前記ゾーンにて、前記発熱回路として、内側発熱回路と、前記内側発熱回路よりも前記発熱体の外周側に配置される外側発熱回路と、を備え、前記内側発熱回路と前記外側発熱回路のうちの一方の発熱回路の前記発熱ラインの長さは、他方の発熱回路の前記発熱ラインの長さよりも大きく、かつ、前記一方の発熱回路の前記発熱ラインの線幅は、前記他方の発熱回路の前記発熱ラインの線幅よりも大きいこと、を特徴とする。
【０００７】
この態様によれば、内側発熱回路と外側発熱回路のうちの一方の発熱回路は、他方の発熱回路よりも、発熱ラインの長さを大きくしつつ、発熱ラインの線幅を大きくしている。これにより、内側発熱回路と外側発熱回路の発熱密度の差を抑制できる。そのため、１つのゾーン内での温度のバラつきを抑えることができる。したがって、板状部材の表面にて温度のバラつきを抑えて、板状部材の表面の均熱性を向上させることができる。
【０００８】
発熱ラインの線幅が大きくなり過ぎると、発熱ラインの抵抗値が非常に小さくなって発熱ラインの発熱密度が過剰に減少するおそれがある。
そこで、上記の態様においては、前記一方の発熱回路の前記発熱ラインの線幅は、前記他方の発熱回路の前記発熱ラインの線幅の５倍以下の大きさであること、が好ましい。
【０００９】
この態様によれば、一方の発熱回路の発熱ラインの線幅を、他方の発熱回路の発熱ラインの線幅の５倍以下の大きさに抑えている。これにより、一方の発熱回路について、発熱密度の過剰な減少を抑制できる。そのため、より効果的に、内側発熱回路と外側発熱回路の発熱密度の差を抑制できる。
【００１０】
発熱ラインの長さが大きくなり過ぎると、発熱ラインの発熱密度が過剰に増加するおそれがある。
そこで、上記の態様においては、前記一方の発熱回路の前記発熱ラインの長さは、前記他方の発熱回路の前記発熱ラインの長さの５倍以下であること、が好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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