TOP特許意匠商標
特許ウォッチ Twitter
10個以上の画像は省略されています。
公開番号2025029307
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-06
出願番号2023133850
出願日2023-08-21
発明の名称保持具
出願人ローム株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/52 20060101AFI20250227BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】 より適切に対象物を保持することが可能な保持具を提供すること。
【解決手段】 保持具A1は、第1方向zに延びる貫通孔11と、第1方向zのz1側を向く1以上の当接面121と、を有する外筒部1と、貫通孔11に少なくとも一部が挿通されており、第1方向zのz1側を向く保持面22を有する保持部2と、保持部2を外筒部1に対して第1方向zに相対動させることにより、保持面22が当接面121よりも第1方向zのz1側に位置するか、または前記第1方向において前記当接面と同じ位置にある、初期状態と、保持面22が当接面121よりも第1方向zのz2側に位置する陥没状態と、を保持部2にとらせる相対動機構3と、を備える。
【選択図】 図5
特許請求の範囲【請求項1】
第1方向に延びる貫通孔と、前記第1方向の第1側を向く1以上の当接面と、を有する外筒部と、
前記貫通孔に少なくとも一部が挿通されており、前記第1方向の前記第1側を向く保持面を有する保持部と、
前記保持部を前記外筒部に対して前記第1方向に相対動させることにより、前記保持面が前記当接面よりも前記第1方向の前記第1側に位置するか、または前記第1方向において前記当接面と同じ位置にある、初期状態と、前記保持面が前記当接面よりも前記第1方向の第2側に位置する陥没状態と、を前記保持部にとらせる相対動機構と、を備える、保持具。
続きを表示(約 630 文字)【請求項2】
前記保持部は、前記保持面に開口する吸引孔を有する、請求項1に記載の保持具。
【請求項3】
前記吸引孔は、前記貫通孔に通じている、請求項2に記載の保持具。
【請求項4】
前記外筒部は、前記第1方向の前記第1側を向く主面と、前記主面から前記第1方向の前記第1側に突出する1以上の凸部と、を有し、
前記凸部は、前記当接面を含む、請求項1ないし3のいずれかに記載の保持具。
【請求項5】
前記貫通孔は、前記主面に開口している、請求項4に記載の保持具。
【請求項6】
前記主面は、前記貫通孔と前記凸部との間に位置する部分を有する、請求項5に記載の保持具。
【請求項7】
前記外筒部は、前記第1方向と直交する第2方向において前記貫通孔を挟んで両側に位置する2つの前記当接面を有する、請求項6に記載の保持具。
【請求項8】
前記外筒部は、前記第1方向および前記第2方向と直交する第3方向において前記貫通孔を挟んで両側に位置する2つの前記当接面をさらに有することにより、4つの前記当接面を有する、請求項7に記載の保持具。
【請求項9】
前記4つの当接面は、互いに離れている、請求項8に記載の保持具。
【請求項10】
前記4つの当接面は、互いに繋がっている、請求項8に記載の保持具。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、保持具に関する。
続きを表示(約 1,600 文字)【背景技術】
【0002】
特許文献1には、従来のダイボンディング装置の一例が開示されている。同文献に開示されたダイボンディング装置は、コレットを有する。このコレットは、半導体チップをボンディングする際に、半導体チップを保持するために用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2021-048201号公報
【0004】
[概要]
保持される対象物によっては、コレットによる保持が適切に行えない場合がある。
【0005】
本開示は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、より適切に対象物を保持することが可能な保持具を提供することをその課題とする。
【0006】
本開示によって提供される保持具は、第1方向に延びる貫通孔と、前記第1方向の第1側を向く1以上の当接面と、を有する外筒部と、前記貫通孔に少なくとも一部が挿通されており、前記第1方向の前記第1側を向く保持面を有する保持部と、前記保持部を前記外筒部に対して前記第1方向に相対動させることにより、前記保持面が前記当接面よりも前記第1方向の前記第1側に位置するか、または前記第1方向において前記当接面と同じ位置にある、初期状態と、前記保持面が前記当接面よりも前記第1方向の第2側に位置する陥没状態と、を前記保持部にとらせる相対動機構と、を備える。
【0007】
本開示のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【0008】
図1は、本開示の第1実施形態に係る保持具を示す斜視図である。
図2は、本開示の第1実施形態に係る保持具を示す斜視図である。
図3は、本開示の第1実施形態に係る保持具を示す正面図である。
図4は、本開示の第1実施形態に係る保持具を示す底面図である。
図5は、図4のV-V線に沿う断面図である。
図6は、図4のV-V線に沿う断面図である。
図7は、本開示の第1実施形態に係る保持具を示す部分拡大断面図である。
図8は、本開示の第1実施形態に係る保持具を用いて製造される半導体装置の一例を示す平面図である。
図9は、本開示の第1実施形態に係る保持具を用いて製造される半導体装置の一製造工程を示す平面図である。
図10は、図9のX-X線に沿う断面図である。
図11は、本開示の第1実施形態に係る保持具を用いて製造される半導体装置の一製造工程を示す平面図である。
図12は、図11のXII-XII線に沿う断面図である。
図13は、本開示の第1実施形態に係る保持具の第1変形例を示す底面図である。
図14は、本開示の第1実施形態に係る保持具の第2変形例を示す底面図である。
図15は、本開示の第1実施形態に係る保持具の第3変形例を示す底面図である。
図16は、本開示の第1実施形態に係る保持具の第4変形例を示す底面図である。
図17は、本開示の第1実施形態に係る保持具の第5変形例を示す斜視図である。
図18は、本開示の第1実施形態に係る保持具の第5変形例を示す断面図である。
図19は、本開示の第2実施形態に係る保持具を示す断面図である。
図20は、本開示の第2実施形態に係る保持具を示す要部拡大断面図である。
【0009】
[詳細な説明]
以下、本開示の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。
【0010】
本開示における「第1」、「第2」、「第3」等の用語は、単に識別のために用いたものであり、それらの対象物に順列を付することを意図していない。
(【0011】以降は省略されています)

この特許をJ-PlatPatで参照する
Flag Counter

関連特許

個人
超音波接合
12日前
日星電気株式会社
平型電線
21日前
株式会社GSユアサ
蓄電設備
20日前
株式会社FLOSFIA
半導体装置
18日前
株式会社村田製作所
電池
18日前
株式会社村田製作所
電池
19日前
トヨタ自動車株式会社
二次電池
20日前
日星電気株式会社
ケーブルの接続構造
18日前
トヨタ自動車株式会社
二次電池
11日前
シチズン電子株式会社
発光装置
11日前
キヤノン株式会社
無線通信装置
13日前
株式会社村田製作所
電池
18日前
株式会社村田製作所
電池
18日前
住友電装株式会社
コネクタ
4日前
TDK株式会社
コイル部品
25日前
住友電装株式会社
コネクタ
19日前
日本電気株式会社
光学モジュール
25日前
TDK株式会社
コイル部品
4日前
株式会社東京精密
ワーク保持装置
24日前
住友電装株式会社
コネクタ
18日前
トヨタバッテリー株式会社
組電池
5日前
ローム株式会社
半導体装置
19日前
株式会社アイシン
電池
11日前
KDDI株式会社
伸展マスト
20日前
株式会社東芝
半導体装置
24日前
オムロン株式会社
スイッチング素子
19日前
芝浦メカトロニクス株式会社
基板処理装置
19日前
富士電機株式会社
半導体モジュール
19日前
三菱電機株式会社
半導体装置
5日前
株式会社村田製作所
二次電池
19日前
TDK株式会社
電子部品
24日前
トヨタ自動車株式会社
電池モジュール
4日前
日東電工株式会社
スイッチ装置
19日前
日本電気株式会社
高周波スイッチ回路
4日前
日東電工株式会社
スイッチ装置
19日前
株式会社SUBARU
電池モジュール
20日前
続きを見る