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公開番号2025031878
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2024227371,2023550909
出願日2024-12-24,2021-09-30
発明の名称光走査装置
出願人パイオニア株式会社,パイオニアスマートセンシングイノベーションズ株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20250228BHJP(光学)
要約【課題】枠体の不要な振動を抑制することが一例として挙げられる。
【解決手段】第1樹脂体(310)は、第1枠体(210)の少なくとも一部分に設けられている。第1樹脂体(310)は、第1枠体(210)の第3方向(Z)の正方向側の面の少なくとも一部分と、第1枠体(210)の第3方向(Z)の負方向側の面の少なくとも一部分と、第1枠体(210)の第3方向(Z)に垂直な方向側の内縁の少なくとも一部分と、第1枠体(210)の第3方向(Z)に垂直な方向側の外縁の少なくとも一部分と、を覆っている。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
可動反射体と、
前記可動反射体を囲む領域の少なくとも一部分に位置する金属製の第１枠体と、
前記可動反射体と前記第１枠体とに接続された金属製の第１トーションバーと、
前記第１枠体の少なくとも一部分に設けられた第１樹脂体と、
を備える光走査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査装置及びセンサ装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、様々な光走査装置が開発されている。光走査装置は、レーザダイオード（ＬＤ）等の発光素子から出射された光を反射する可動反射体を備えている。可動反射体は、ＳＯＩ（ＳｉｌｉｃｏｎＯｎＩｎｓｕｌａｔｏｒ）基板等の半導体基板を半導体製造技術によって加工して形成されることがある。これに対して、例えば特許文献１に記載されているように、金属を加工して可動反射体を形成することがある。また、特許文献１に記載されているように、金属を加工して、枠体及びトーションバーを形成することがある。枠体は、可動反射体を囲む領域の少なくとも一部分に設けられている。トーションバーは、可動反射体と枠体とに接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１０－２７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば特許文献１に記載されているように、金属を加工して、可動反射体、枠体及びトーションバーを形成することがある。しかしながら、この場合、可動反射体の回転運動、可動反射体の単振動、可動反射体の荷重、可動反射体、枠体及びトーションバーの少なくとも一部分の熱応力等の種々の条件によって、枠体に、塑性歪み、弾性歪み等の歪みが生じることがある。枠体に歪みが生じた場合、枠体に不要な振動が発生し得る。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題としては、枠体の不要な振動を抑制することが一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、
可動反射体と、
前記可動反射体を囲む領域の少なくとも一部分に位置する金属製の第１枠体と、
前記可動反射体と前記第１枠体とに接続された金属製の第１トーションバーと、
前記第１枠体の少なくとも一部分に設けられた第１樹脂体と、
を備える光走査装置。である。
【０００７】
第２の発明は、
前記光走査装置と、
発光素子と、
前記発光素子から出射され前記可動反射体によって反射されて前記光走査装置の外部に存在する物体によって反射又は散乱された光を検出する光検出素子と、
を備えるセンサ装置。である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態に係る光走査装置を可動反射体が位置する側から見た斜視図である。
実施形態に係る光走査装置を可動反射体が位置する側の反対側から見た斜視図である。
実施形態に係る光走査装置を可動反射体の回転軸に平行な方向から見た側面図である。
実施形態に係る光走査装置を第１枠体の回転軸に平行な方向から見た側面図である。
図３のＡ－Ａ断面図である。
実施形態に係る光走査装置の製造方法の一例を説明するための図である。
実施形態に係る光走査装置の製造方法の一例を説明するための図である。
変形例に係る光走査装置の斜視図である。
実施例に係るセンサ装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態、変形例及び実施例について、図面を用いて説明する。すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１０】
図１は、実施形態に係る光走査装置１０を可動反射体１００が位置する側から見た斜視図である。図２は、実施形態に係る光走査装置１０を可動反射体１００が位置する側の反対側から見た斜視図である。図３は、実施形態に係る光走査装置１０を可動反射体１００の回転軸に平行な方向から見た側面図である。図４は、実施形態に係る光走査装置１０を第１枠体２１０の回転軸に平行な方向から見た側面図である。図５は、図３のＡ－Ａ断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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