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公開番号2025030471
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023135793
出願日2023-08-23
発明の名称リソグラフィー装置および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250228BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】リソグラフィー装置においてランプを定格に従って使用するために有利な技術を提供する。
【解決手段】ランプからの光を使って原版のパターンを基板に転写するリソグラフィー装置は、前記ランプを駆動する電源部と、前記電源部によって駆動される前記ランプの状態を計測する計測器と、前記計測器の出力に基づいて前記ランプの種類を判別する制御部と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ランプからの光を使って原版のパターンを基板に転写するリソグラフィー装置であって、
前記ランプを駆動する電源部と、
前記電源部によって駆動される前記ランプの状態を計測する計測器と、
前記計測器の出力に基づいて前記ランプの種類を判別する制御部と、
を備えることを特徴とするリソグラフィー装置。
続きを表示（約 860 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記計測器の出力に基づいて特定される前記ランプの電気特性に基づいて前記ランプの種類を判別する、
ことを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィー装置。
【請求項３】
前記ランプの前記電気特性は、前記ランプの起動電圧を含む、
ことを特徴とする請求項２に記載のリソグラフィー装置。
【請求項４】
前記ランプの前記電気特性は、前記ランプの過渡電気特性を含む、
ことを特徴とする請求項２に記載のリソグラフィー装置。
【請求項５】
前記過渡電気特性は、一定期間における、前記ランプに供給される電圧の変化量を含む、
ことを特徴とする請求項４に記載のリソグラフィー装置。
【請求項６】
前記過渡電気特性は、一定期間における、前記ランプに供給される電流の変化量を含む、
ことを特徴とする請求項４に記載のリソグラフィー装置。
【請求項７】
前記ランプの前記電気特性は、前記ランプの起動電圧、および、前記ランプの過渡電気特性を含む、
ことを特徴とする請求項２に記載のリソグラフィー装置。
【請求項８】
前記計測器は、前記ランプに供給される電圧および電流を計測する、
ことを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィー装置。
【請求項９】
前記制御部は、利用可能なランプ候補として予め登録されたランプ候補のそれぞれの定格電力の中で最小の定格電力で前記ランプを駆動したときの前記計測器の出力に基づいて特定される前記ランプの電気特性に基づいて前記ランプの種類を判別する、
ことを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィー装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記ランプの交換に応じて、前記ランプの種類を判別する処理を実行する、
ことを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィー装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、リソグラフィー装置および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
露光装置は、半導体デバイスまたは表示デバイスなど物品の製造には、リソグラフィー工程が利用される。リソグラフィー工程では、ランプからの光を使って原版のパターンを基板に転写するリソグラフィー装置が使用されうる。特許文献１では、露光光源の光源ユニットに１次元及び２次元のバーコードあるいはＩＣチップを備え、バーコードあるいはＩＣチップに記録された情報を読み出し、搭載されるランプの仕様に応じた制御を行う装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１０－１６０２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
生産性を向上するため、リソグラフィー装置は、ランプの長寿命化によりランプの交換サイクルを伸ばすことで稼働時間の向上が図られている。また、ランプの出力を向上することで、照度を向上させ、単位時間あたりの基板処理枚数の増加が図られている。このように長寿命化、高照度化に応じて、複数種類のランプが提供されている。ランプは、その種類に応じた定格電力、寿命時間を有し、定格電力以内の電力、寿命時間内でランプを使用する必要がある。ランプを定格電力以外の電力で点灯させたり、寿命時間を超えて点灯させたりすると、劣化、破損する可能性がある。
【０００５】
本発明は、リソグラフィー装置においてランプを定格に従って使用するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の１つの側面は、ランプからの光を使って原版のパターンを基板に転写するリソグラフィー装置に係り、前記リソグラフィー装置は、前記ランプを駆動する電源部と、前記電源部によって駆動される前記ランプの状態を計測する計測器と、前記計測器の出力に基づいて前記ランプの種類を判別する制御部と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、リソグラフィー装置においてランプを定格に従って使用するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態のリソグラフィー装置としての露光装置の構成を示す図。
図１の露光装置の構成の一部を抜き出して示した図。
ランプの種類を例示する図。
ランプの電圧特性および電流特性を例示する図。
第１実施形態におけるランプの交換作業に伴う初期設定処理の流れを示す図。
記憶部に格納されたランプ種類ごとの判定範囲を例示する図。
ランプ種類ごとの仕様を例示する図。
第２実施形態のリソグラフィー装置としての露光装置の構成を示す図。
第２実施形態におけるランプの交換作業に伴う初期設定処理の流れを示す図。
ランプの種類の判別用の条件を例示する図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
図１には、第１実施形態のリソグラフィー装置としての露光装置１の構成が示されている。ここでは、リソグラフィー装置の一例として露光装置１に関して説明するが、リソグラフィー装置は、ランプからの光を用いて原版のパターンを基板に転写するように構成されたインプリント装置であってもよい。インプリント装置は、基板の上のインプリント材に原版としてのモールドを接触させた後、ランプからの光をインプリント材に照射することによってインプリント材を硬化させる。これによってモールドのパターンが転写されたインプリント材の硬化物が基板に形成される。
（【００１１】以降は省略されています）

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