TOP
|
特許
|
意匠
|
商標
特許ウォッチ
Twitter
他の特許を見る
10個以上の画像は省略されています。
公開番号
2025023309
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-02-14
出願番号
2024213764,2021155436
出願日
2024-12-06,2021-09-24
発明の名称
ガラス板
出願人
AGC株式会社
代理人
個人
,
弁理士法人ITOH
主分類
C03C
15/00 20060101AFI20250206BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約
【課題】所望の形状に近い孔を有するガラス板の製造方法。
【解決手段】第1および第2の表面を有するガラス基材を準備する工程と、前記ガラス基材の前記第1の表面にレーザを照射して、前記第1の表面に第1の初期開口を有する初期孔を形成する工程であって、前記初期孔は、初期貫通孔または初期非貫通孔であり、前記第1の初期開口は、最大寸法φ
1S
(μm)が5μm以上であり、各初期孔において、該初期孔の深さをd
1
(μm)としたとき、前記初期孔のアスペクト比(d
1
/φ
1S
)は、15以上である、工程と、前記ガラス基材をアルカリ溶液でエッチング処理して、前記初期孔から処理孔を形成する工程と、を有し、各処理孔は、前記第1の表面に第1の開口を有し、各第1の開口は、直径φ
1
(μm)と、真円度P
1
(μm)とを有し、各貫通孔における比P
1
/φ
1
が10%以下である、製造方法。
【選択図】図3
特許請求の範囲
【請求項1】
相互に対向する第1の表面および第2の表面を有し、前記第1の表面から前記第2の表面まで貫通する複数の貫通孔を有するガラス板であって、
各貫通孔は、前記第1の表面に第1の開口を有し、前記第2の表面に第2の開口を有し、前記第1の開口と前記第2の開口のうち、大きい方を特定開口と称し、
各特定開口は、該特定開口の外接円の直径と内接円の直径の平均として求められる直径φ
T
(μm)と、真円度P
T
(μm)とを有し、各貫通孔における比P
T
/φ
T
が10%以下であり、
各貫通孔における前記特定開口の直径φ
T
の平均値をφ
Tave
(μm)とし、直径φ
T
の標準偏差をσ(μm)としたとき、3σ/φ
Tave
は、4.6%以下であり、
前記貫通孔からランダムに選定された5個の貫通孔を選択貫通孔と称し、該選択貫通孔の断面におけるそれぞれの狭窄部の最小寸法をφ
N
(μm)としたとき、それぞれの選択貫通孔において、φ
N
/φ
T
は、0.5以上である、ガラス板。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、孔を有するガラス板の製造方法およびガラス板に関する。
続きを表示(約 800 文字)
【背景技術】
【0002】
例えば貫通孔のような孔を有するガラス板は、ガラスインターポーザなど、多くの用途にニーズがある。
【0003】
そのようなガラス板は、例えば、ガラス基材の一方の表面にレーザを照射して孔を形成した後、ガラス基材を湿式エッチング処理して孔の形状を整えることにより製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2006-176355号公報
特表2018-531205号公報
国際公開第2020/149040号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
一般に、前述のガラス基材の湿式エッチング処理には、フッ酸溶液が使用される。
【0006】
しかしながら、フッ酸溶液を使用して孔のエッチング処理を実施した場合、しばしば、孔の形状が所望の形状からずれてしまい、高精度で所望の形状の孔を形成することが難しいことが知られている。
【0007】
なお、特許文献1-3には、アルカリ溶液を使用して、ガラス基材の湿式エッチングを実施することが提案されている。
【0008】
これらの文献では、まずガラス基材にレーザを照射して、改質部が形成される。その後、ガラス基材に対してアルカリ溶液によるエッチング処理を実施して、改質部に孔が形成される。
【0009】
しかしながら、本願発明者らの経験では、そのような方法で孔を形成した場合、孔の開口部の形状が所望の形状からずれ、真円に近い開口部が得られないことが認められている。
【0010】
従って、特許文献1-3に記載の方法を採用しても、高精度に制御された孔を形成することは難しい。
(【0011】以降は省略されています)
この特許をJ-PlatPatで参照する
関連特許
日本板硝子株式会社
自動車用窓ガラス
4日前
個人
ガラス加工方法
2か月前
日東電工株式会社
ガラス樹脂複合体
12日前
日本電気硝子株式会社
粉末材料及び粉末材料ペースト
1か月前
株式会社住田光学ガラス
ガラス
1か月前
日本板硝子株式会社
調光合わせガラス
1か月前
株式会社オハラ
光学ガラスおよび光学素子
1か月前
信越石英株式会社
複合シリカガラス板の製造方法
1か月前
日本電気硝子株式会社
ガラス物品の製造方法
4日前
日本電気硝子株式会社
ガラス粉末、封着材料及び封着材料ペースト
4日前
信越石英株式会社
黒鉛電極、電極装置及び電極
1か月前
AGC株式会社
膜付き基材及びその製造方法
26日前
日本電気硝子株式会社
ガラス板及びその製造方法
1か月前
日本板硝子株式会社
機能性膜付きガラス基材
4日前
日本電気硝子株式会社
ガラス繊維の製造装置、及びガラス繊維の製造方法
4日前
信越石英株式会社
モールド及び石英るつぼの製造方法
1か月前
日本電気硝子株式会社
溶融炉及びガラス物品の製造方法
18日前
HOYA株式会社
光学ガラスおよび光学素子
13日前
日本電気硝子株式会社
ガラス
1か月前
国立大学法人京都工芸繊維大学
ガラス組成物
17日前
AGC株式会社
化学強化ガラスおよびその製造方法
1か月前
日本電気硝子株式会社
ガラス物品の製造装置及びその製造方法
18日前
日本電気硝子株式会社
ガラス繊維の製造方法及びガラス繊維の製造装置
1か月前
住友電気工業株式会社
光ファイバの製造方法および製造装置
1か月前
日本電気硝子株式会社
ガラス繊維の製造装置、及びガラス繊維の製造方法
1か月前
富喬工業股分有限公司
ガラス組成物、ガラス繊維及び電子製品
12日前
日本電気硝子株式会社
ガラス基板及びその製造方法
1か月前
日本電気硝子株式会社
ガラス基板及びその製造方法
1か月前
日本電気硝子株式会社
ガラス物品の製造方法及びガラス物品の製造装置
1か月前
AGC株式会社
合わせガラスのリサイクル方法
1か月前
古河電気工業株式会社
光ファイバ心線および光ファイバ心線の製造方法
1か月前
古河電気工業株式会社
光ファイバ心線および光ファイバ心線の製造方法
1か月前
住友電気工業株式会社
光ファイバの製造装置および光ファイバの製造方法
1か月前
日本電気硝子株式会社
ガラス物品の製造装置および製造方法、並びに搬送装置
14日前
AGC株式会社
ガラス
2か月前
日本電気硝子株式会社
ブッシング、ガラス繊維の製造装置及びガラス繊維の製造方法
1か月前
続きを見る
他の特許を見る