特許ウォッチ

公開番号2025023309
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2024213764,2021155436
出願日2024-12-06,2021-09-24
発明の名称ガラス板
出願人AGC株式会社
代理人個人,弁理士法人ITOH
主分類C03C 15/00 20060101AFI20250206BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】所望の形状に近い孔を有するガラス板の製造方法。
【解決手段】第1および第2の表面を有するガラス基材を準備する工程と、前記ガラス基材の前記第1の表面にレーザを照射して、前記第1の表面に第1の初期開口を有する初期孔を形成する工程であって、前記初期孔は、初期貫通孔または初期非貫通孔であり、前記第1の初期開口は、最大寸法φ_1S(μm)が5μm以上であり、各初期孔において、該初期孔の深さをd₁(μm)としたとき、前記初期孔のアスペクト比(d₁/φ_1S)は、15以上である、工程と、前記ガラス基材をアルカリ溶液でエッチング処理して、前記初期孔から処理孔を形成する工程と、を有し、各処理孔は、前記第1の表面に第1の開口を有し、各第1の開口は、直径φ₁(μm)と、真円度P₁(μm)とを有し、各貫通孔における比P₁/φ₁が10%以下である、製造方法。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
相互に対向する第１の表面および第２の表面を有し、前記第１の表面から前記第２の表面まで貫通する複数の貫通孔を有するガラス板であって、
各貫通孔は、前記第１の表面に第１の開口を有し、前記第２の表面に第２の開口を有し、前記第１の開口と前記第２の開口のうち、大きい方を特定開口と称し、
各特定開口は、該特定開口の外接円の直径と内接円の直径の平均として求められる直径φ
Ｔ
（μｍ）と、真円度Ｐ
Ｔ
（μｍ）とを有し、各貫通孔における比Ｐ
Ｔ
／φ
Ｔ
が１０％以下であり、
各貫通孔における前記特定開口の直径φ
Ｔ
の平均値をφ
Ｔａｖｅ
（μｍ）とし、直径φ
Ｔ
の標準偏差をσ（μｍ）としたとき、３σ／φ
Ｔａｖｅ
は、４．６％以下であり、
前記貫通孔からランダムに選定された５個の貫通孔を選択貫通孔と称し、該選択貫通孔の断面におけるそれぞれの狭窄部の最小寸法をφ
Ｎ
（μｍ）としたとき、それぞれの選択貫通孔において、φ
Ｎ
／φ
Ｔ
は、０．５以上である、ガラス板。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、孔を有するガラス板の製造方法およびガラス板に関する。
続きを表示（約 800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば貫通孔のような孔を有するガラス板は、ガラスインターポーザなど、多くの用途にニーズがある。
【０００３】
そのようなガラス板は、例えば、ガラス基材の一方の表面にレーザを照射して孔を形成した後、ガラス基材を湿式エッチング処理して孔の形状を整えることにより製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００６－１７６３５５号公報
特表２０１８－５３１２０５号公報
国際公開第２０２０／１４９０４０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、前述のガラス基材の湿式エッチング処理には、フッ酸溶液が使用される。
【０００６】
しかしながら、フッ酸溶液を使用して孔のエッチング処理を実施した場合、しばしば、孔の形状が所望の形状からずれてしまい、高精度で所望の形状の孔を形成することが難しいことが知られている。
【０００７】
なお、特許文献１－３には、アルカリ溶液を使用して、ガラス基材の湿式エッチングを実施することが提案されている。
【０００８】
これらの文献では、まずガラス基材にレーザを照射して、改質部が形成される。その後、ガラス基材に対してアルカリ溶液によるエッチング処理を実施して、改質部に孔が形成される。
【０００９】
しかしながら、本願発明者らの経験では、そのような方法で孔を形成した場合、孔の開口部の形状が所望の形状からずれ、真円に近い開口部が得られないことが認められている。
【００１０】
従って、特許文献１－３に記載の方法を採用しても、高精度に制御された孔を形成することは難しい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許