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公開番号2025022755
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2024097826
出願日2024-06-18
発明の名称アルミナ質焼結体、および静電チャック
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類C04B 35/111 20060101AFI20250206BHJP(セメント;コンクリート;人造石;セラミックス;耐火物)
要約【課題】アルミナ質焼結体においてパーティクルの発生を抑制する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】アルミナ質焼結体は、イットリウム(Y)を90ppm以上265ppm以下含み、カルシウム(Ca)を100ppm以下含み、アルミナ結晶粒子の平均粒径が6μm以下である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
Ａｌ
2
Ｏ
3
を主成分とするアルミナ質焼結体であって、
イットリウム（Ｙ）を９０ｐｐｍ以上２６５ｐｐｍ以下含み、
カルシウム（Ｃａ）を１００ｐｐｍ以下含み、
アルミナ結晶粒子の平均粒径が６μｍ以下であることを特徴とする、
アルミナ質焼結体。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
請求項１に記載のアルミナ質焼結体であって、
前記アルミナ質焼結体のＸ線回折法による測定結果において、格子面間隔２．６Å～２．９Åに対応するピークが存在しないことを特徴とする、
アルミナ質焼結体。
【請求項３】
請求項１に記載のアルミナ質焼結体であって、
前記アルミナ質焼結体の表面を走査電子顕微鏡で１．２ｍｍ
2
の面積を確認したときに、カルシウム（Ｃａ）とイットリウム（Ｙ）を含み面積１０μｍ
2
以上の相が１か所以下であることを特徴とする、
アルミナ質焼結体。
【請求項４】
請求項１に記載のアルミナ質焼結体であって、
密度が３．９６ｇ／ｃｍ
3
以上であることを特徴とする、
アルミナ質焼結体。
【請求項５】
対象物を保持する静電チャックであって、
前記対象物が載置される第１面と、前記第１面の裏面である第２面とを有する板状の第１層と、
前記第１層の前記第２面側に配置され、内部にチャック電極が配置される板状の第２層と、
を備え、
前記第１層の前記第１面の少なくとも一部は、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のアルミナ質焼結体で形成されることを特徴とする、
静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミナ質焼結体、および静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体の微細化に伴い、セラミックス部材に対する発塵（パーティクル）抑制の要求が厳しくなっている。セラミックスからのパーティクルは脱粒が原因のものも多く、脱粒抑制のために粒界強化元素を添加する方法がある（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４７４４８５５号公報
特開２０２１－０９３４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、セラミックス中に母材とは異なる組成の相が存在していると、プラズマ照射時のエッチングレートの違いから、その層のみが凸の状態となってしまい、母材から脱離した際にパーティクルとなってしまう可能性がある。
【０００５】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、アルミナ質焼結体においてパーティクルの発生を抑制する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、以下の形態として実現できる。
【０００７】
（１）本発明の一形態によればＡｌ
2
Ｏ
3
を主成分とするアルミナ質焼結体が提供される。このアルミナ質焼結体は、イットリウム（Ｙ）を９０ｐｐｍ以上２６５ｐｐｍ以下含み、カルシウム（Ｃａ）を１００ｐｐｍ以下含み、アルミナ結晶粒子の平均粒径が６μｍ以下である。
【０００８】
この形態のアルミナ質焼結体によれば、イットリウムが添加されているため、アルミナ粒界を強化することができる。また、アルミナ質焼結体のカルシウム濃度が低いため、カルシウムとイットリウムとを含む２次相の析出を抑制することができる。さらに、アルミナ結晶粒子の平均粒径が６μｍ以下に制御されているため、２次相の析出を抑制することができる。これらの結果、この形態のアルミナ質焼結体によれば、パーティクルの発生を抑制することができる。
【０００９】
（２）上記形態のアルミナ質焼結体において、前記アルミナ質焼結体のＸ線回折法による測定結果において、格子面間隔２．６Å～２．９Åに対応するピークが存在しなくてもよい。この形態のアルミナ質焼結体によれば、ＹＡＧ（Ｙ
3
Ａｌ
5
Ｏ
12
：イットリウムアルミニウムガーネット）がほとんど粒界３重点に析出していないため、パーティクルの発生を抑制することができる。
【００１０】
（３）上記形態のアルミナ質焼結体において前記アルミナ質焼結体の表面を走査電子顕微鏡で１．２ｍｍ
2
の面積を確認したときに、カルシウム（Ｃａ）とイットリウム（Ｙ）を含み面積１０μｍ
2
以上の相が１か所以下であってもよい。この形態のアルミナ質焼結体によれば、カルシウム（Ｃａ）とイットリウム（Ｙ）を含む相が検出されず、２次相の析出が抑制されているため、パーティクルの発生を抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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