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公開番号2025018180
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-06
出願番号2023121672
出願日2023-07-26
発明の名称ガラス微粒子堆積体の製造方法およびガラス微粒子堆積体の製造装置
出願人住友電気工業株式会社
代理人弁理士法人信栄事務所
主分類C03B 8/04 20060101AFI20250130BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】製造設備全体の稼働率を向上させたガラス微粒子堆積体の製造方法およびガラス微粒子堆積体の製造装置を提供する。
【解決手段】
反応容器内でターゲットにバーナの火炎による加水分解反応によって生成されるガラス微粒子を堆積させる堆積工程と、堆積工程により製造されたガラス微粒子堆積体を反応容器から取り出してクリーンルームに運搬する取り出し工程と、を備えたガラス微粒子堆積体の製造方法であって、クリーンルームに、空気内の微粒子を取り除くクリーンルームフィルタを通過して空気を導入し、堆積工程において、クリーンルームとは異なる空間から反応容器フィルタを通過して反応容器に空気を導入させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
反応容器内でターゲットにバーナの火炎による加水分解反応によって生成されるガラス微粒子を堆積させる堆積工程と、
前記堆積工程により製造されたガラス微粒子堆積体を前記反応容器から取り出してクリーンルームに運搬する取り出し工程と、
を備えたガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記クリーンルームに、空気内の微粒子を取り除くクリーンルームフィルタを通過して空気を導入し、
前記堆積工程において、前記クリーンルームとは異なる空間から反応容器フィルタを通過して前記反応容器に空気を導入させる、
ガラス微粒子堆積体の製造方法。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記クリーンルームに、温度および湿度を調節可能な空調機を通過して空気を導入する、請求項１に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項３】
前記堆積工程において、屋外に開口した導入ダクトから吸い込まれた空気を前記反応容器に導入させる、請求項１に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項４】
前記堆積工程において、前記クリーンルームおよび前記反応容器とは異なる部屋に開口した導入ダクトから吸い込まれた空気を前記反応容器に導入させる、請求項１に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項５】
前記堆積工程において、前記反応容器に導入される空気は、前記クリーンルーム内の空気と全熱交換を行う、請求項１に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項６】
屋外に開口した吸気ダクトと、前記反応容器の排気口とを切り替えて排気管に接続し、
前記堆積工程開始時に、前記排気管を前記排気口に接続し、
前記堆積工程が終わると、前記排気管を前記吸気ダクトに接続して、前記排気口を封止する、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項７】
内部でターゲットに対してバーナの火炎による加水分解反応によって生成されるガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する反応容器と、
製造された前記ガラス微粒子堆積体を、クリーン度が調節されたクリーンルームに運搬する運搬機と、
を備えるガラス微粒子堆積体の製造装置であって、
前記反応容器は、
前記クリーンルームと異なる空間に開口し、前記反応容器に空気を導入する導入ダクトと、
前記導入ダクトに設けられ、前記反応容器に導入される空気中の粒子を取り除く反応容器フィルタと、を備える、
ガラス微粒子堆積体の製造装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ガラス微粒子堆積体の製造方法およびガラス微粒子堆積体の製造装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ガラス微粒子堆積体の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－１６６９９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には、ターゲットにガラス微粒子を堆積させる反応容器を覆う外部容器にクリーンエアを供給するガラス微粒子堆積体の製造方法が開示されている。外部容器にクリーンエアを供給することにより、ガラス微粒子堆積体への異物の付着を防ぐことができる。
【０００５】
ところで、ガラス微粒子堆積体の製造装置において、クリーンルームからクリーンエアが導入される場合がある。クリーンルームでは、フィルタによってクリーン度が調節される。また、複数の反応容器が、共通のクリーンルームに対して接続されている場合がある。
【０００６】
クリーンルーム内に空気を導入するために用いられるフィルタは適宜交換される。その際、クリーンルームと接続されたすべてのガラス微粒子堆積体の反応容器の稼働を停止させていた。
【０００７】
本開示は、製造設備全体の稼働率を向上させたガラス微粒子堆積体の製造方法およびガラス微粒子堆積体の製造装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一態様に係るガラス微粒子堆積体の製造方法は、
反応容器内でターゲットにバーナの火炎による加水分解反応によって生成されるガラス微粒子を堆積させる堆積工程と、
前記堆積工程により製造されたガラス微粒子堆積体を前記反応容器から取り出してクリーンルームに運搬する取り出し工程と、
を備えたガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記クリーンルームに、空気内の微粒子を取り除くクリーンルームフィルタを通過して空気を導入し、
前記堆積工程において、前記クリーンルームとは異なる空間から反応容器フィルタを通過して前記反応容器に空気を導入させる。
【０００９】
本開示の一態様に係るガラス微粒子堆積体の製造装置は、
内部でターゲットに対してバーナの火炎による加水分解反応によって生成されるガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する反応容器と、
製造された前記ガラス微粒子堆積体を、クリーン度が調節されたクリーンルームに運搬する運搬機と、
を備えるガラス微粒子堆積体の製造装置であって、
前記反応容器は、
前記クリーンルームと異なる空間に開口し、前記反応容器に空気を導入する導入ダクトと、
前記導入ダクトに設けられ、前記反応容器に導入される空気中の粒子を取り除く反応容器フィルタと、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、製造設備全体の稼働率を向上させたガラス微粒子堆積体の製造方法およびガラス微粒子堆積体の製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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