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公開番号2025016085
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-31
出願番号2023119123
出願日2023-07-21
発明の名称基板異常検知方法及び基板異常検知装置
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250124BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ピンアップ時の基板の異常を検出する。
【解決手段】基板が載置台に載置された状態からリフトピンによる離間が完了された状態までを撮影した第1の動画を取得し、第1の動画から抽出された試験フレームの画像に基づく入力画像を、予め学習済みの学習モデルに入力して、復元画像を出力し、入力画像と復元画像との差分が予め定めた基準を超えた場合に基板に異常があると判定する。上記学習モデルは、正常な基板が載置台に載置された状態からリフトピンによる離間が完了された状態までを撮影した第2の動画から抽出された複数の学習フレームの画像に基づく複数の学習データを用いた学習が行われた学習モデルであり、複数の学習フレームの画像は、正常な基板がリフトピンによって離間する時系列に沿った複数のフレームの画像である。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基板処理装置の処理容器に配置された載置台からリフトピンにより離間される基板の異常の有無を検知する基板異常検知方法であって、
前記基板が前記載置台に載置された状態から前記リフトピンによる離間が完了された状態までを撮影した第１の動画を取得する工程と、
前記第１の動画から抽出された試験フレームの画像に基づく入力画像を、予め学習済みの学習モデルに入力して、試験フレーム復元画像を出力する工程と、
前記入力画像と前記試験フレーム復元画像との差分が予め定めた基準を超えた場合に前記異常があると判定する工程と、を有し、
前記学習モデルは、正常な基板が前記載置台に載置された状態から前記リフトピンによる離間が完了された状態までを撮影した第２の動画から抽出された複数の学習フレームの画像に基づく複数の学習データを用いた学習が行われた学習モデルであり、
前記複数の学習フレームの画像は、前記正常な基板が前記リフトピンによって離間する時系列に沿った複数のフレームの画像である基板異常検知方法。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記異常は、前記基板の割れである請求項１に記載の基板異常検知方法。
【請求項３】
前記複数の学習フレームは、少なくとも、前記正常な基板が前記載置台から離間する途中の２つの中間フレームと、離間が完了した最終フレームとを含む請求項１に記載の基板異常検知方法。
【請求項４】
前記複数の学習フレームは、少なくとも６つのフレームを含む請求項３に記載の基板異常検知方法。
【請求項５】
前記学習モデルの学習では、異常な基板が前記載置台に載置された状態から前記リフトピンによる離間が完了された状態までを撮影した第３の動画から抽出される学習フレームの画像に基づく学習データを使用しない請求項１に記載の基板異常検知方法。
【請求項６】
前記学習モデルはＶＡＥである請求項１に記載の基板異常検知方法。
【請求項７】
前記学習データは、前記学習フレームの画像から前記基板を含む領域を切り取った画像に基づいて生成された画像である請求項１に記載の基板異常検知方法。
【請求項８】
前記学習データは、前記切り取った画像に縮小処理を施して得られた縮小画像である請求項７に記載の基板異常検知方法。
【請求項９】
前記入力画像は、前記試験フレームの画像に縮小処理を施して得られた縮小画像である請求項１に記載の基板異常検知方法。
【請求項１０】
前記第１の動画及び前記第２の動画は、前記処理容器に設けられた観察窓を通して撮影された動画である請求項１に記載の基板異常検知方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板異常検知方法及び基板異常検知装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
載置台に載置された基板にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置が知られている。プラズマ処理装置は、プラズマ処理中の発熱による基板の温度上昇を抑えるために、チラー装置によって温度が調整された冷媒を載置台内の冷媒通路に循環供給すると同時に、Ｈｅガス等の伝熱ガスを載置台の中を通して基板の裏面に供給する。このようにしてプラズマ処理装置は、基板の温度を一定に制御する。また、プラズマ処理装置は、基板を載置台に静電吸着させることで、基板を固定するとともに、伝熱ガスの不必要な漏れを防止している。
【０００３】
このようなプラズマ処理装置において、載置台に載置された基板の異常の有無を検知する技術が提案されている。例えば、特許文献１では、伝熱ガスの流量を監視して、基板の位置ズレや基板の割れ等といった基板の異常時に生じる伝熱ガスの漏れを検出する。このようにして基板の異常が検知された場合には、プラズマ処理装置を即座に停止させて、基板の異常に起因する被害の拡大を防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－９９６３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示に係る技術は、ピンアップ時の基板の異常を検出する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る技術の一態様は、基板処理装置の処理容器に配置された載置台からリフトピンにより離間される基板の異常の有無を検知する基板異常検知方法であって、前記基板が前記載置台に載置された状態から前記リフトピンによる離間が完了された状態までを撮影した第１の動画を取得する工程と、前記第１の動画から抽出された試験フレームの画像に基づく入力画像を、予め学習済みの学習モデルに入力して、試験フレーム復元画像を出力する工程と、前記入力画像と前記試験フレーム復元画像との差分が予め定めた基準を超えた場合に前記異常があると判定する工程と、を有し、前記学習モデルは、正常な基板が前記載置台に載置された状態から前記リフトピンによる離間が完了された状態までを撮影した第２の動画から抽出された複数の学習フレームの画像に基づく複数の学習データを用いた学習が行われた学習モデルであり、前記複数の学習フレームの画像は、前記正常な基板が前記リフトピンによって離間する時系列に沿った複数のフレームの画像である。
【発明の効果】
【０００７】
本開示に係る技術によれば、ピンアップ時の基板の異常を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示に係る技術の一実施の形態に係る基板異常検知装置である情報処理装置を含む基板異常検知システムの構成を概略的に示すブロック図である。
図１の成膜装置の構成を概略的に示す断面図である。
図２のカメラによって撮影された処理容器の内部の画像を説明するための図である。
図１の情報処理装置のハードウェア構成を概略的に示すブロック図である。
図１の情報処理装置の機能構成を概略的に示すブロック図である。
図１の情報処理装置によって実行される基板異常判定処理の手順を示すフローチャートである。
図６のＳ６５で行われる判定の内容を説明するための図である。
複数のカメラが学習データの生成に用いられる動画を異なる画角で撮影する構成を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
ところで、基板の割れが生じる工程の一例として、載置台に静電吸着している基板の除電のためのピンアップが挙げられる。例えば、ピンアップでは、基板が載置台に格納されているリフトピンによって持ち上げられる際に、載置台に過剰に残留電荷が存在して基板を引き付けるためにリフトピンの押し上げる力によって基板が割れることがある。また、持ち上げられている途中で基板の一部が引っ掛かって基板が割れてしまうことがある。
【００１０】
しかしながら、特許文献１の技術は、基板が載置台に静電吸着されていることを前提とするため、上述したようなピンアップ時の基板の割れを検出することができない。
（【００１１】以降は省略されています）

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